误差补偿方法与应用此方法的自动测试设备的制造方法
【技术领域】
[0001] 本发明关于一种误差补偿方法与应用此方法的自动测试设备，特别关于一种利用 环形振荡器特性而实现的误差补偿方法与应用此方法的自动测试设备。
【背景技术】
[0002] 在集成电路生产流程中，自动测试是非常重要的一个环节。利用自动测试可以找 出功能不正常的集成电路芯片，从而避免让客户拿到这样不正常的集成电路芯片。一般而 言，自动测试以自动测试设备来完成。自动测试设备可以用多种预设的测试条件以及测试 信号来同时对一个或多个待测物（deviceundertest，DUT)进行测试。
[0003] 然而，当自动测试设备运行时，自动测试设备的电源电压与环境温度可能会因为 多个电路同时操作而不稳定。举例来说，电源电压可能会较预设的电压值为低，而环境温度 可能会较预设的温度值为高。这些环境因子的变异，都可能使自动测试设备所送出的测试 信号或时钟信号不正确，如何能正确的补偿这些信号的误差，是一个待解决的问题。
【发明内容】
[0004] 有鉴于以上的问题，本发明提出一种误差补偿方法与应用此方法的自动测试设 备，利用环形振荡器去模拟自动测试设备中的控制电路的传播延迟（propagationdelay) 因为温度或电压变异所产生的误差，从而以环形振荡器所输出的时钟信号的变异量产生一 个补正率。并利用所计算出来的补正率，调整送给延迟线路的控制信号送出的时间点，藉以 使延迟线路所输出的信号的信号边缘发生的时间点与预期的时间点相同。
[0005] 依据本发明一个或多个实施例所实现的一种误差补偿方法，适于一自动测试设 备，此方法包含以环形振荡器依据至少一个环境因子，产生第一时钟信号。并依据系统时钟 信号与第一时钟信号，得到周期测定值。再依据周期测定值与周期预期值，得到补正率。而 后依据补正率，补偿测试信号的误差。
[0006] 而依据本发明一个或多个实施例所实现一种自动测试设备，至少包含环形振荡 器、周期测定单元与除法演算单元。环形振荡器用以依据至少一个环境因子产生第一时钟 信号。周期量测单元电性连接至环形振荡器，用以依据系统时钟信号与第一时钟信号，得到 周期测定值。而除法演算单元电性连接至周期量测单元，用以依据周期测定值与一个周期 预期值，得到补正率。补正率用以补偿测试信号的误差。
[0007] 依据本发明一个或多个实施例所公开的误差补偿方法与应用此方法的自动测试 设备，利用环形振荡器所产生的第一时钟信号会因为环境温度与电源电压而变的特性，去 模拟自动测试设备中的控制电路的传播延迟因为环境温度与电源电压而发生的变异。从而 补偿送给延迟线路的控制信号的变异，而使延迟线路所输出的测试信号的信号边缘发生的 时间点符合所设定的时间点。
[0008] 以上之关于本
【发明内容】
的说明及以下之实施方式的说明系用以示范与解释本发 明之精神与原理，并且提供本发明的权利要求保护范围更进一步之解释。
【附图说明】
[0009] 图1为依据本发明一实施例的自动测试设备功能方块图。
[0010] 图2为依据本发明一实施例中图1的变动量演算线路功能方块图。
[0011] 图3为依据本发明一实施例的环形振荡器电路示意图。
[0012] 图4为依据本发明一实施例中图2的周期量测单元功能方块图。
[0013] 图5为依据本发明一实施例中周期量测单元中多个信号的时序图。
[0014] 图6A为依据本发明一实施例的误差补偿方法流程图。
[0015] 图6B为依据本发明一实施例中，于图6A之前的方法流程图。
[0016] 其中，附图标记：
[0017] 1 自动测试设备 11 变动量演算线路
[0018] 111 环形振荡器 INV1~INV2N+7反相器
[0019] 1113 多工器 113 周期量测单元
[0020] 1131 周期设定线路
[0021] 1133 计数器
[0022]115 除法演算单元
[0023] 13 校正回路
[0024] 15 时间计算模块
[0025]17 控制模块
[0026]19 延迟线路
[0027] 00、01、10、11 输入接脚
【具体实施方式】
[0028] 以下在实施方式中详细叙述本发明之详细特征以及优点，其内容足以使任何本领 域的技术人员了解本发明的技术内容并据以实施，且根据本说明书所公开的内容、权利要 求保护范围及附图，任何本领域的技术人员可轻易地理解本发明相关目的及优点。以下之 实施例进一步详细说明本发明的观点，但非以任何观点限制本发明的范畴。
[0029] 关于本发明一个实施例中的自动测试设备，请参照图1，其为依据本发明一实施例 的自动测试设备功能方块图。如图1所示，自动测试设备1可以包含变动量演算线路11、校 正回路13、时间计算模块15、控制模块17与延迟线路19。其中变动量演算线路11与校正 回路13电性连接，控制模块17分别电性连接至校正回路13与时间计算模块15,而延迟线 路19电性连接至控制模块17。
[0030] 变动量演算线路11用以产生一个补正率，以补偿自动测试设备1之中其他模块及 线路因为环境因子（例如环境温度或是电源电压）的变异而产生的误差。关于变动量演算 线路11的构造及运作原理，请参照图2,其为依据本发明一实施例中图1的变动量演算线路 功能方块图。如图2所示，变动量演算线路11可以包含环形振荡器111(ringoscillator)、 周期量测单元113与除法演算单元115。其中周期量测单元113电性连接于环形振荡器111 与除法演算单元115之间。
[0031]环形振荡器111用以依据至少一个环境因子产生第一时钟信号。实作上，环形振 荡器111可以由2k+l个反相器（inverter,NOT-gate)串连接成一个环状而形成，依据巴 克豪生准则（Barkhausen'scriterion)可以知道环形振荡器111不是一个稳定收敛的回 授电路（feedbackloopcircuit)因此会发生振荡的现象。并且由于电路学基本原理可 以推定环形振荡器111所产生的第一时钟信号的周期大致等于2k+l个反相器的传播延迟 (propagationdelay)的两倍。因此，可以藉由特定的架构，设计出可调整输出的时钟信号 的周期的环形振荡器111。并且，可以在环境温度等于预设温度且电源电压等于预设电压 时，调整环形振荡器111所输出的第一时钟信号的的周期至一个周期设定值。而后可以用 周期设定值跟系统时钟信号来计算出周期预期值。
[0032] 于本发明一实施例中，关于前述的环形振荡器111，可以参照图3,其系依据本发 明一实施例的环形振荡器电路示意图。如图3所示，环形振荡器111可以包含2N+7个反相 器INV1 至INV2N+7 与一个四对一多工器 1113 (four-to-onemultiplexer, 4-1MUX)。并且第 2N+1个反相器INV2N+1、第2N+3个反相器INV2N+3、第2N+5个反相器INV2N+5与第2N+7个反相 器INV2N+7的输出端分别连接至多工器1113的四个输入接脚，也就是输入接脚00、输入接脚 01、输入接脚10与输入接脚11。而多工器1113依据周期设定信号来将其中一个