传感器装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及传感器装置，且更确切地说，涉及能够感测多个感测目标的气体传感器。
【背景技术】
[0002]随着近期对生活环境污染及健康的关注增多，感测各种环境有毒气体的必要性大大增加。由于对感测有毒气体及爆炸性气体的需求而已经开发的有毒气体传感器归因于对卫生保健、生活环境监测、工业安全、家用器具及智能家居的需要以及出于国防及恐怖主义来改善人类生活质量而被高度需求。因此，气体传感器变成用于实现无灾难社会的构件，且为此目的，需要比以前更精确地对环境有毒气体进行测量及控制。
[0003]可根据形式、结构及材料将气体传感器归类为半导体型气体传感器、固体电解质气体传感器及催化燃气传感器。其中的半导体型气体传感器在低浓度下具有大输出变化以具有高灵敏度及耐久性。由于是在大约100°C到500°C下操作，所以半导体型气体传感器包含用于感测电阻变化的感测电极、涂布于感测电极上的感测材料及用于升高感测材料的温度的加热器(加热元件)。当通过加热器加热半导体型气体传感器且气体被吸附至感测材料时，半导体型气体传感器测量由于所吸附的气体而发生在感测电极与感测材料之间的电特性变化。此类气体传感器的实例揭示于韩国专利申请案特许公开的公开案第10-2004-016605 号中。
[0004]然而，典型半导体型气体传感器形成有一个加热器、感测电极及感测材料，且因此仅可感测一种特定气体。因此，不能使用一个气体传感器感测多种气体，且需要多个气体传感器来分别感测多种气体。
【发明内容】
[0005]本发明提供一种能够同时感测多个感测目标的传感器装置。
[0006]本发明还提供一种传感器装置，其中分别感测多种气体的多个单位气体传感器实施于相同衬底上。
[0007]本发明还提供一种能够同时驱动在不同温度下驱动的多个单位气体传感器的传感器装置。
[0008]根据示范性实施例，传感器装置包含:垂直堆叠的多个衬底；多个加热器，其形成于至少一个所选衬底上且在水平方向上彼此分开；多个感测电极，其在至少一个所选衬底的形成有所述多个加热器的顶部部分上形成于所述衬底上且在所述水平方向上分开；以及多种感测材料，其经配置以分别接触所述多个感测电极且彼此分开地形成。
[0009]所述传感器装置可还包含制备在所述多个加热器的底部部分上的底座式加热器。
[0010]所述多个加热器可加热至少两个温度。
[0011]所述多个感测电极中的每一个可包含至少一个切口部分。
[0012]所述多种感测材料可由至少两种材料形成。
[0013]所述传感器装置可还包含多个第一暴露电极及第二暴露电极，其经形成以在外部暴露于所述多个衬底上的预定区域且经配置以分别将电力供应到所述多个加热器及所述多个感测电极。
[0014]所述第一暴露电极及所述第二暴露电极中的至少任一个可为其中内埋有导电材料的垂直连接通孔。
[0015]所述传感器装置可还包含:多个水平互连件，其从所述第一暴露电极及所述第二暴露电极中的至少任一个起形成于水平方向中；以及多个垂直互连件，其与所述水平互连件垂直地形成以待分别连接到所述多个加热器。
[0016]所述垂直互连件可用形成于所述衬底中的其中内埋有导电材料的孔洞形成。
[0017]所述传感器装置可还包含以下各个中的至少任一个:顶盖，其制备于所述衬底的所述顶部部分上且经配置以覆盖所述多种感测材料；以及散热片，其制备于所述衬底的所述底部部分上。
[0018]所述顶盖可由至少两个堆叠式陶瓷板或金属或塑料形成，且包括形成于其中的开口或网孔中的至少一个。
[0019]所述散热片可由至少两个堆叠式陶瓷板形成，且所述陶瓷板中的至少一个中可包含开口。
[0020]所述传感器装置可还包含制备于所述散热片的底部部分上的底盖。
[0021]根据另一示范性实施例，传感器装置包含:多个单位气体传感器，每一气体传感器包含形成于多个垂直堆叠的衬底中的每一个上以感测至少一种气体的加热器、感测电极及感测材料，其中所述加热器、感测电极及感测材料中的每一个水平地安置为多个以感测多个不同受试者。
[0022]所述传感器装置可还包含制备在所述衬底的底部部分上的底座式加热器。
[0023]所述多个加热器可加热至少两个温度。
[0024]所述多个感测电极中的每一个可包含至少一个切口部分。
【附图说明】
[0025]通过结合附图进行的以下描述可以更详细地理解示范性实施例。
[0026]图1是根据示范性实施例的气体传感器的组合横截面图。
[0027]图2是根据示范性实施例的气体传感器的分解透视图。
[0028]图3是根据另一示范性实施例的气体传感器的组合横截面图。
[0029]图4是根据示范性实施例的气体传感器的分解透视图。
[0030]图5及图6是根据实施例的经修改实例的气体传感器的组合横截面图及部分分解透视图。
[0031]图7是根据实施例的经修改实例的气体传感器的组合横截面图。
[0032]图8是根据实施例的经修改实例的气体传感器的组合横截面图。
[0033]元件符号说明:
[0034]110:第一衬底
[0035]120:第二衬底
[0036]130:第三衬底
[0037]140:第四衬底
[0038]150:第五衬底
[0039]210:加热器
[0040]220:加热器
[0041]230:加热器
[0042]240:加热器
[0043]310:感测电极
[0044]320:感测电极
[0045]330:感测电极
[0046]340:感测电极
[0047]410:感测材料
[0048]420:感测材料
[0049]500:第一暴露电极
[0050]510a:第一暴露电极
[0051]510b:第一暴露电极
[0052]520a:第一暴露电极
[0053]520b:第一暴露电极
[0054]530a:第一暴露电极
[0055]530b:第一暴露电极
[0056]540a:第一暴露电极
[0057]540b:第一暴露电极
[0058]600:互连件
[0059]610a:第一水平互连件
[0060]610b:第二水平互连件
[0061]620a:第一水平互连件
[0062]630b:第二水平互连件
[0063]640b:第二水平互连件
[0064]650a:第一垂直互连件
[0065]650b:第二垂直互连件
[0066]660a:第一垂直互连件
[0067]660b:第二垂直互连件
[0068]670a:第一垂直互连件
[0069]670b:第二垂直互连件
[0070]680a:第一垂直互连件
[0071]680b:第二垂直互连件
[0072]710a:第二暴露电极
[0073]710b:第二暴露电极
[0074]720a:第二暴露电极
[0075]720b:第二暴露电极
[0076]730a:第二暴露电极
[0077]730b:第二暴露电极
[0078]740a:第二暴露电极
[0079]740b:第二暴露电极
[0080]800:底座式加热器
[0081]900:第三暴露电极
[0082]900a:第三暴露电极
[0083]900b:第三暴露电极
[0084]1000:顶盖
[0085]1010:板
[0086]1011:开口
[0087]1020:板
[0088]1021:开口
[0089]1030:板
[0090]1031:开口
[0091]1040:板
[0092]1041:开口
[0093]1050:板
[0094]1051:网孔
[0095]1100:散热片
[0096]1110:开口
[0097]1120:外部电极图案
[0098]1051:网孔
【具体实施方式】
[0099]在下文中，将参考附图详细地描述特定实施例。然而，本发明可以用不同形式体现且不应被解释为限于本文中所阐述的实施例。确切地说，提供这些实施例是为了使得本发明将是透彻并且完整的，且将把本发明的范围完整地传达给所属领域的技术人员。
[0100]图1是根据示范性实施例的气体传感器的组合横截面图，且图2是分解透视图。
[0101]参考图1及图2，根