X射线分析用试样保持器及试样设置用夹具的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及在用X射线分析装置将试样(试料)进行X射线分析时、用来保持试样而安设到X射线分析装置中的X射线分析用试样保持器及为了对该保持器安设试样而使用的试样设置用夹具。
【背景技术】
[0002]一般而言，在用荧光X射线分析装置等X射线分析装置将试样进行X射线分析时，使用保持试样的保持器，将该保持器安设到X射线分析装置中而进行分析。例如，以往为了分析、测量微小的试样，作为保持器而使用带有薄膜的容器。即，将试样放置到张设于容器内的较薄的薄膜上，实施测量。
[0003]在这样测量薄膜上的试样时，由于试样是微小而轻量的，所以有下述情况:因装置的门的开闭或试样的更换时的机械振动等，而发生该试样上的照射X射线的目标位置与实际的照射位置不一致的试样的偏移。为了改善该试样的偏移，还提出了使用缓冲件保持试样的方法。但是，有缓冲件的材质有时给X射线测量结果带来影响的不良状况。
[0004]因此，提出了使用专用的测量容器的技术。例如，在专利文献I中，提出了一种X射线分析用试料保持器，其具备:有底筒形状的主体；1个以上的棒状的支承部件，立设在该主体的底壁上，用前端面支承试料；和薄膜，将主体的开口部覆盖，将试料在与支承部件之间支承。该X射线分析用试料保持器为，在作为专用容器的容器盖的内部上表面上设有插入口，从该插入口插入试样或插入在端部带有试样的棒而使用。
[0005]专利文献1:特开2000 - 230912号公报。
[0006]在上述以往的技术中，留有以下的课题。
[0007]S卩，X射线强度依存于试样与X射线管的距离，但在以往的试料保持器中，需要将试样插入到容器内而安设，有难以将试样总是保持为最优的距离、给测量结果带来影响的问题。此外，对于插入的试料的大小有限制，必须将试料加工成能够从插入口插入的大小及形状，也有在试料的制作中花费工夫、较麻烦的不良状况。
【发明内容】
[0008]本发明是鉴于上述课题而做出的，目的是提供一种能够消除试样的偏移并使试样与X射线管的距离为一定、进而能够对应于各种各样的形状的试样的X射线分析用试样保持器及在将试样向该保持器安设时使用的试样设置用夹具。
[0009]本发明为了解决上述课题而采用以下的结构。即，有关第I发明的X射线分析用试样保持器，其特征在于，具备第I环状部件、第2环状部件和第3环状部件；所述第2环状部件在与上述第I环状部件之间夹着第I薄膜的状态下嵌入插入在上述第I环状部件内，将下部开口部覆盖而张设上述第I薄膜；所述第3环状部件在与上述第2环状部件之间夹着第2薄膜的状态下嵌入插入在上述第2环状部件内，将下部开口部覆盖而张设上述第2薄膜；用在上述第2环状部件和上述第3环状部件各自的下部开口部处张设的上述第I薄膜和上述第2薄膜将X射线分析用的试样夹持。
[0010]在该X射线分析用试样保持器中，由于用在第2环状部件和第3环状部件各自的下部开口部处张设的第I薄膜和第2薄膜将X射线分析用的试样夹持，所以试样被一对薄膜夹着而不会偏移，并且由于薄膜较薄，所以不易给X射线测量带来影响，能够进行准确的测量。此外，通过将第I薄膜的位置安设到试样与X射线管的距离的最优位置，能够总是使试样与X射线管的距离成为一定。进而，由于将试样夹在一对薄膜间，所以对试样的大小及形状限制较少，能够安设多种多样的试样。
[0011]有关第2发明的X射线分析用试样保持器在第I发明中，其特征在于，上述第3环状部件形成得比上述第2环状部件高；在上述第2环状部件的上方且上述第3环状部件的外周面上，具备弹性体圈，所述弹性体圈以夹着上述第2薄膜的外周缘部分的状态安装，将上述第2薄膜固定。
[0012]即，在该X射线分析用试样保持器中，由于在第2环状部件的上方且第3环状部件的外周面上，具备弹性体圈，所述弹性体圈以夹着第2薄膜的外周缘部分的状态安装，将第2薄膜固定，所以能够用弹性体圈调节第2薄膜的张力程度。例如，通过由弹性体圈使第2薄膜的张力比第I薄膜弱而固定，能够在将第I薄膜平坦地张设的原状下在第3环状部件内以第2薄膜成为凸的方式夹持试样。由此，能够不使第I薄膜挠曲而保持试样，能够维持作为基准面的第I薄膜的位置，所述基准面决定试样与X射线管的距离。
[0013]有关第3发明的X射线分析用试样保持器在第I或第2发明中，其特征在于，在上述第I环状部件的下部外周上形成有缺口状的台阶部。
[0014]S卩，在该X射线分析用试样保持器中，由于在第I环状部件的下部外周上形成有缺口状的台阶部，所以通过在X射线分析装置的保持器安装部设置将台阶部卡止且第I环状部件的下部能够嵌入的台阶部状的凹部，能够进行与X射线照射口的定位，容易使试样对准于目标位置，还能够再次向相同位置配置试样。
[0015]有关第4发明的试样设置用夹具，在向第I至第3发明的任一项的X射线分析用试样保持器设置X射线分析用的试样时使用，其特征在于，具备夹具主体和透明板部；所述夹具主体为板状，具有至少上述第I环状部件的下部能够嵌入的设置孔；所述透明板部将上述设置孔的下部开口部覆盖而设置；在上述透明板部上形成有标记，所述标记表示上述设置孔的中心。
[0016]S卩，在该试样设置用夹具中，由于在透明板部上形成有表示设置孔的中心的标记，所以在将张设有第I薄膜的第I环状部件及第2环状部件嵌入在设置孔中的状态下，能够以能够经由第I薄膜目视的透明板部的标记为记号，将试样载置到第I薄膜上。因而，通过使用该试样设置用夹具，容易在X射线分析装置的机外将试样安设到与X射线束的中心对应的测量位置。
[0017]根据本发明，起到以下的效果。
[0018]S卩，根据有关本发明的X射线分析用试样保持器，由于用在第2环状部件和第3环状部件各自的下部开口部处张设的第I薄膜和第2薄膜将X射线分析用的试样夹持，所以试样不会偏移，并且由于薄膜较薄，所以不易给X射线测量带来影响，能够进行准确的测量。此外，能够总是使试样与X射线管的距离成为一定，并且对试样的大小及形状限制较少，能够安设多种多样的试样。
[0019]此外，根据有关本发明的试样设置用夹具，由于在透明板部上形成有表示设置孔的中心的标记，所以能够以透明板部的标记为记号，将试样载置到第I薄膜上，容易在X射线分析装置的机外将试样安设到与X射线束的中心对应的测量位置。
[0020]因而，根据本发明，能够在机内或机外将多种多样的形状的试样准确地配置到想要照射X射线的位置，能够防止被保持的试样因振动等而移动。
【附图说明】
[0021]图1是在有关本发明的X射线分析用试样保持器的一实施方式中、表示载置在X射线分析装置的保持器安装部上的状态的剖面图。
[0022]图2是在本实施方式中、表示剖断为一半时的X射线分析用试样保持器(除了薄膜以外)的立体图。
[0023]图3是在本实施方式中、表示X射线分析用试样保持器(除了薄膜以外)的主视图。
[0024]图4是在本实施方式中、表示X射线分析用试样保持器(除了薄膜及弹性体圈以夕卜)的从下方观察的立体图。
[0025]图5是表示有关本发明的试样设置用夹具的一实施方式的立体图。
[0026]图6是在本实施方式中、用来说明使用试样设置用夹具对X射线分析用试样保持器安设试样的工序的剖面图。
[0027]图7是在本实施方式中、表示X射线分析装置的试样转换器的俯视图。
【具体实施方式】
[0028]以下，一边参照图1至图7 —边说明有关本发明的X射线分析用试样保持器及试样设置用夹具的一实施方式。
[0029]本实施方式的X射线分析用试样保持器I是保持荧光X射线分析装置等X射线分析装置的试样的保持器，如图1至图4所示，设置在作为试样基座的保持器安装部2上，具备:第I环状部件3 ;第2环状部件4，在与第I环状部件3之间夹着第I薄膜Fl的状态下嵌入插入在第I环状部件3内，将下部开口部覆盖而张设第I薄膜Fl ;和第3环状部件5，在与第2环状部件4之间夹着第2薄膜F2的状态下嵌入插入在第2环状部件4内，将下部开口部覆盖而张设第2薄膜F2。
[0030]S卩，第I薄膜Fl被夹持在第I环状部件3的内周面3a与第2环状部件4的外周面之间而张设在下部开口部，第2薄膜F2被夹持在第2环状部件4的内周面4a与第3环状部件5的外周面之间而张设在下部开口部。
[0031]因而，该X射线分析用试样保持器I用张设在第2环状部件4和第3环状部件5的各自的下部开口部的第I薄膜Fl和第2薄膜F2夹持X射线分析用的试样S。
[0032]上述第I环状部件3、第2环状部件4及第3环状部件5是分别由树脂等形成的高度不同的圆筒状部件。
[0033]第2环状部件4形成得比第I环状部件3高，上述第3环状部件5形成得比第2环状部件4高。
[0034]第I环状部件3在下部形成有底部支承部3c，所述底部支承部3c向半径方向内方突出，遍及下部开口部整周形成。在该底部支承部3c的上表面上，以中间夹着第I薄膜Fl的状态支承着第2环状部件4的下端。
[0035]此外，该X射线分析用试样保持器I在第2环状部件4的上方且第3环状部件5的外周面上具备弹性体圈6，所述弹性体圈6以