成像光学系统、测定装置、形状测定装置、构造物制造系统、及构造物制造方法_5

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。如图17的表3所示,第4光学构件60相对于第I轴25倾斜约1.25°。第3实施例的第4光学构件60是在自物体面Pl朝向像面P2的方向上相对于成像光学系统21的光圈面而配置于与第I光学构件59相反的侧(像面P2侧)。第4光学构件60配置于较第I光学构件59更靠近像面P2的位置。第4光学构件60是在自物体面Pl朝向像面P2的方向上,以在与第I光学构件59之间夹持第3至第8透镜43?48的方式配置。
[0154]其次,对第3实施例的成像光学系统的像差进行说明。图18是表示第3实施例中的像面P2上的像差的斑点图。图19是表示第3实施例的成像光学系统中的彗形像差的图。图20是表示第3实施例的成像光学系统中的球面像差、像散的图。关于各像差图的见解,欲适当参照第I实施例中的图8?图10的说明。
[0155]如图18?图20所示,第3实施例的成像光学系统21是借由使光学构件偏心,而良好地修正各像差,确保优异的成像性能。
[0156]如上所述,第3实施例的成像光学系统21具备相对于第I轴25朝向与像面P2所倾斜的方向相反的方向倾斜的多个光学构件(第I光学构件59及第4光学构件60)。此种成像光学系统21如图18所示,像面P2上的像差的非轴对称性得以缓和。如此,成像光学系统21在具备朝向与像面P2所倾斜的方向相反的方向倾斜的多个光学构件的情形时,亦可修正非轴对称的像差,且可抑制成像性能的降低。
[0157]再者,成像光学系统21具备相对于第I轴25倾斜的多个光学构件,所述多个光学构件可在自物体面Pl朝向像面P2的方向上以相邻的方式配置,亦可夹持其他光学构件而相隔配置。例如,上述第I实施例等中说明的第2光学构件亦可以在与第I光学构件之间夹持其他光学构件的方式配置。又,第2光学构件亦可相对于成像光学系统21的光圈面而配置于与第I光学构件相反的侧。
[0158][第4实施例]
[0159]其次,对第4实施例进行说明。本实施例中,对于与上述实施例同样的构成要素,有时标附相同的符号且省略或简化其说明。
[0160]图21是表示第4实施例的成像光学系统21的构成的图。图22是表示第4实施例的成像光学系统21的参数的表4。
[0161]如图21所示,第4实施例的成像光学系统21具备第I盖玻璃41及第2至第9透镜42?49。第4实施例的第I盖玻璃及第2至第9透镜42?49的各个的形状是与第I实施例中的第I盖玻璃及第2至第9透镜42?49大致相同。第4实施例中,第I盖玻璃41、第3透镜43、第4透镜44、第6透镜至第9透镜46?49的各个的中心轴与第I轴25实质上为同轴。
[0162]第4实施例中,第2透镜42 (以下称为第I光学构件61)相对于第I轴25朝向与像面P2所倾斜的方向相反的方向倾斜。如图22的表4所示,第I光学构件61相对于第I轴25倾斜约5.50°。第4实施例的第I光学构件61是在自物体面Pl朝向像面P2的方向上相对于成像光学系统21的光圈面(第10光学面A10)而配置于物体面PU则。
[0163]第4实施例中,第5透镜45 (以下称为第4光学构件62)相对于第I轴25朝向与像面P2所倾斜的方向相反的方向(与第I光学构件61相同的方向)倾斜。如图22的表4所示,第4光学构件62相对于第I轴25倾斜约0.35°。第4实施例的第4光学构件62是在自物体面Pl朝向像面P2的方向上相对于成像光学系统21的光圈面而配置于与第I光学构件61相同的侧(物体面Pl侧)。第4实施例的第4光学构件62是配置于成像光学系统21的光圈面的旁边的光学构件。第4光学构件62配置于较第I光学构件61更靠近像面P2的位置。第4光学构件62是在自物体面Pl朝向像面P2的方向上,以在与第I光学构件61之间夹持第3透镜43的方式与第I光学构件61相隔而配置。
[0164]其次,对所述第4实施例的成像光学系统的像差进行说明。图23是表示所述第4实施例中的像面P2上的像差的斑点图。图24是表示所述第4实施例的成像光学系统中的彗形像差的图。图25是表示所述第4实施例的成像光学系统中的球面像差、像散的图。关于各像差图的见解,欲适当参照第I实施例中的图8?图10的说明。
[0165]如图23?图25所示,本实施例的成像光学系统21是借由使光学构件偏心,而良好地修正各像差,确保优异的成像性能。
[0166]如上所述,本实施例的成像光学系统21具备相对于第I轴25朝向与像面P2所倾斜的方向相反的方向倾斜的第4光学构件62,第4光学构件62具有与成像光学系统21的光圈面相邻的光学面(第9光学面A9)。此种成像光学系统21如图23所示,像面P2上的像差的非轴对称性得以缓和。如此,成像光学系统21在朝向与像面P2所倾斜的方向相反的方向倾斜的第4光学构件62配置于成像光学系统21的光圈面的旁边的情形时,亦可修正非轴对称的像差,且可抑制成像性能的降低。
[0167][第5实施例]
[0168]其次,对第5实施例进行说明。本实施例中,对于与上述实施例相同的构成要素,有时标附相同的符号且省略或简化其说明。
[0169]图26是表示第5实施例的成像光学系统21的构成的图。图27是表示第5实施例的成像光学系统21的表5。第5实施例的成像光学系统21中例如像侧的数值孔径(NA)为0.48,焦距为33.1mm。
[0170]如图26所示,第5实施例的成像光学系统21具备第I盖玻璃41及第2至第9透镜42?49。第5实施例的第I盖玻璃41及第2至第9透镜42?49的各个的形状与第I实施例中的第I盖玻璃41及第2至第9透镜42?49大致相同。第5实施例中,第I盖玻璃41及第2至第4透镜42?44、第7至第9透镜47?49的各个的中心轴与第I轴25实质上为同轴。
[0171]第5实施例中,第6透镜46 (以下称为第I光学构件63)相对于第I轴25朝向与像面P2所倾斜的方向相反的方向倾斜。如图27的表5所示,第I光学构件63相对于第I轴25倾斜约0.90°。第5实施例的第I光学构件63是在自物体面Pl朝向像面P2的方向上相对于成像光学系统21的光圈面(第10光学面A10)而配置于像面P2侧。第5实施例的第I光学构件63是在自物体面Pl朝向像面P2的方向上配置于成像光学系统21的光圈面的旁边的光学构件。
[0172]第5实施例中,第5透镜45 (以下称为第2光学构件64)相对于第I轴25朝向与像面P2所倾斜的方向相同的方向倾斜。如图27的表5所示,第2光学构件64相对于第I轴25倾斜约-0.48°。第5实施例的第2光学构件64是在自物体面Pl朝向像面P2的方向上相对于成像光学系统21的光圈面而配置于第I光学构件63的相反侧(物体面Pl侧)。第5实施例的第2光学构件64是配置于成像光学系统21的光圈面的旁边的光学构件。第2光学构件64配置于较第I光学构件63更靠近物体面Pl的位置。第2光学构件64是在自物体面Pl朝向像面P2的方向上与第I光学构件63相邻配置的光学构件。
[0173]其次,对第5实施例的成像光学系统的像差进行说明。图28是表示第5实施例中的像面P2上的像差的斑点图。图29是表示第5实施例的成像光学系统中的彗形像差的图。图30是表示第5实施例的成像光学系统中的球面像差、像散的图。关于各像差图的见解,欲适当参照第I实施例中的图8?图10的说明。
[0174]如图28?图30所示,第5实施例的成像光学系统21是借由使光学构件偏心,而良好地修正各像差,确保优异的成像性能。
[0175]如上所述,第5实施例的成像光学系统21中,第I光学构件63与第2光学构件64的各个具有与成像光学系统21的光圈面相邻的光学面。此种成像光学系统21如图28所示,像面P2上的像差的非轴对称性得以缓和。如此,成像光学系统21在第I光学构件63与第2光学构件64的各个配置于成像光学系统21的光圈面的旁边的情形时,亦可修正非轴对称的像差,且可抑制成像性能的降低。
[0176]再者,上述实施例中,成像光学系统21具备9个光学构件,但成像光学系统21所具备的光学构件的数量可为8个以下,亦可为10个以上。上述实施例中,成像光学系统21所具有的光学构件均为球面透镜,亦可包含非球面透镜。又,成像光学系统21亦可具备配置于物体面Pl与像面P2之间的光路的反射构件,在此情形时,第I轴25亦可在反射构件的反射面上弯曲。在此情形时,例如借由相对于反射构件的反射面使物体面Pl侧的光路与像面P2侧的光路之一关于反射面而面对称地假想地折回,而可获得与上述成像光学系统21等效的直线成像光学系统。在第I轴25弯曲的情形时,光学构件相对于第I轴25倾斜时,亦可在与上述成像光学系统21等效的成像光学系统中进行定义。又,上述实施例的成像光学系统21除用于摄影装置9以外,亦可用于例如投影仪等。
[0177]再者,上述实施例的摄影装置9虽具备盖构件22,但亦可不在成像光学系统21中最靠近像面P2的光学构件(例如第9透镜49)与摄影元件20之间的光路配置构件。在此情形时,成像光学系统21可修正成像光束L2在配置于像面P2与成像光学系统21之间的光路的界面、例如摄影元件20的表面等折射时产生的像差等。又,摄影装置9除用于形状测定装置I以外亦可用于聚焦装置等,亦可用于测定以外的用途。
[0178]再者,上述实施例的形状测定装置I是利用光切断法取得关于形状的形状信息,亦可利用SFF(Shape From Focus,对焦成形)法取得形状信息,还可利用共焦点法取得形状信息。又,上述实施例的形状测定装置I具备包含射出激光的固态光源的光源装置8,固态光源例如包含LED,亦可射出不含有激光的照明光。又,光源装置8亦可为包含灯光源,射出不含有激光的照明光的装置。又,光源装置8是形状测定装置I的外部装置,形状测定装置I亦可不具备光源装置8。
[0179]其次,对本实施例的构造物制造系统及构造物制造方法进行说明。图36是表示本实施例的构造物制造系统200的构成的图。本实施例的构造物制造系统200具备如上述实施例中所说明的形状测定装置201、设计装置202、成形装置203、控制装置(检查装置)204及维修装置205。控制装置204具备坐标储存部210及检查部211。
[0180]设计装置202制作关于构造物的形状的设计信息,并将作成的设计信息发送至成形装置203。又,设计装置202使作成的设计信息储存于控制装置204的坐标储存部210。设计信息包含表示构造物的各位置的坐标的信息。
[0181]成形装置203根据自设计装置202输入的设计信息,而制作上述构造物。成形装置203的成形包含例如铸造、锻造、切割等。形状测定装置201测定所制作的构造物(测定对象物)的坐标,将表示所测定的坐标的信息(形状信息)发送至控制装置204。
[0182]控制装置204的坐标储存部210储存设计信息。控制装置204的检查部211自坐标储存部210读取设计信息。检查部211将自形状测定装置201接收的表示坐标的信息(形状信息)与自坐标储存部210读取的设计信息进行比较。检查部211根据比较结果,判定构造物是否如设计信息成形。换言的,检查部211是判定所作成的构造物是否为良品。检查部211在构造物未如设计信息成形的情形时,判定构造物是否可修复。检查部211在构造物可修复的情形时,根据比较结果算出不良部位与修复量,将表示不良部位的信息与
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