表示修复量的信息发送至维修装置205。
[0183]维修装置205根据自控制装置204接收的表示不良部位的信息与表示修复量的信息，而加工构造物的不良部位。
[0184]图37是表示本实施例的构造物制造方法的流程图。本实施例中，图37所示的构造物制造方法的各处理是借由构造物制造系统200的各部分而执行。
[0185]关于构造物制造系统200，首先，设计装置202制作关于构造物的形状的设计信息(步骤S200)。其次，成形装置203根据设计信息而制作上述构造物(步骤S201)。其次，形状测定装置201测定所制作的上述构造物的形状(步骤S202)。其次，控制装置204的检查部211将借由形状测定装置201而获得的形状信息与上述设计信息进行比较，借此检查构造物是否确实如设计信息作成(步骤S203)。
[0186]其次，控制装置204的检查部211判定作成的构造物是否为良品(步骤S204)。构造物制造系统200在检查部211判定作成的构造物为良品的情形(步骤S204，YES)时，结束该处理。又，在检查部211判定作成的构造物并非良品的情形(步骤S204，NO)时，判定作成的构造物是否可修复(步骤S205)。
[0187]构造物制造系统200在检查部211判定作成的构造物可修复的情形(步骤S205，YES)时，维修装置205实施构造物的再加工(步骤S206)，返回至步骤S202的处理。构造物制造系统200在检查部211判定作成的构造物不可修复的情形(步骤S205，No)时，结束该处理。
[0188]本实施例的构造物制造系统200中，上述实施例中的形状测定装置201可准确地测定构造物的坐标，因此可判定作成的构造物是否为良品。又，构造物制造系统200可在构造物并非良品的情形时，实施构造物的再加工，并进行修复。
[0189]再者，本实施例中的维修装置205所执行的维修步骤亦可置换为成形装置203再次执行成形步骤的步骤。此时，在控制装置204的检查部211判定为可修复的情形时，成形装置203再次执行成形步骤(锻造、切割等)。具体而言，例如成形装置203将构造物中本来应切割的部位且未切割的部位切割。借此，构造物制造系统200可准确地制成构造物。
[0190]再者，本发明的技术范围并不限定于上述实施例。例如，有时省略上述实施例中说明的要素的一个以上。又，可适当组合上述实施例中所说明的要素。
【主权项】
1.一种测定装置，其特征在于，具有: 成像光学系统，其形成测定对象的像；及 摄影部，其具备相对于该成像光学系统的光轴倾斜地配置于该成像光学系统的像面的附近的透过构件； 其中，该成像光学系统具备相对于该光轴而偏心的第I光学构件。2.如权利要求1所述的测定装置，其特征在于，其中，该第I光学构件相对于该光轴朝向与该透过构件倾斜的方向相反的方向倾斜。3.如权利要求1或2所述的测定装置，其特征在于，其中，该第I光学构件是以降低于该透过构件产生的像差的方式相对于该光轴而偏心地配置。4.如权利要求1至3中任一项所述的测定装置，其特征在于，其进一步具备照明部，该照明部是沿与该像面共轭的面也就是物体面，向测定对象的测定区域投射光束。5.如权利要求3所述的测定装置，其特征在于，其中，该透过构件是沿该像面配置且使借由该成像光学系统而聚集的光束通过的平面构件。6.如权利要求1所述的测定装置，其特征在于，其中，该第I光学构件具有绕第I对称轴旋转对称的曲面形状，该第I对称轴相对于该光轴的倾斜方向与该像面的法线相对于该光轴的倾斜方向为相反方向。7.如权利要求6所述的测定装置，其特征在于，其具备具有绕第2对称轴旋转对称的曲面形状的第2光学构件；及 该第2对称轴相对于该光轴的倾斜方向与该第I对称轴相对于该光轴的倾斜方向为相反方向。8.如权利要求6所述的测定装置，其特征在于，其中，该第I光学构件在成像光束所通过的范围内具备第I部分、及较该第I部分更靠近包含该物体面的平面与包含该像面的平面的交线的第2部分，且以随着自该第I部分朝向该第2部分较其他光学构件更靠近该像面的方式配置。9.如权利要求7所述的测定装置，其特征在于，其中，该第2光学构件在成像光束所通过的范围内具备第3部分、及较该第3部分更靠近包含该物体面的面与包含该像面的面的交线的第4部分，且以随着自该第4部分朝向该第3部分较其他光学构件远离该像面的方式配置。10.如权利要求7或9所述的测定装置，其特征在于，其中，该第2光学构件是以抵消于该第I光学构件产生的像差的一部分的方式配置。11.如权利要求8所述的测定装置，其特征在于，其中，该第2光学构件相对于该物体面与该像面之间的光圈面，配置于与该第I光学构件相同的侧。12.如权利要求10所述的测定装置，其特征在于，其具备包含该第I光学构件及该第2光学构件的3个以上的光学构件； 该第2光学构件在成像光束的行进方向配置于该第I光学构件的旁边。13.如权利要求1至12中任一项所述的测定装置，其特征在于，其中，所述成像光学系统具备包含该第I光学构件的多个光学构件， 该第I光学构件具有该多个光学构件的光学面中曲率相对较小的光学面。14.如权利要求1至11中任一项所述的测定装置，其特征在于，其中，所述成像光学系统在成像光束所通过的范围内具备具有绕该第I轴旋转对称的形状的第3光学构件。15.如权利要求1至12中任一项所述的测定装置，其特征在于，其中，该第I光学构件相对于借由该成像光学系统而聚光于该像面的成像光束具有倍率。16.如权利要求1至5中任一项所述的测定装置，其特征在于，其中，该第I光学构件具有成像光束入射的第I平面与该成像光束出射的第2平面，该第2平面平行于该第I平面。17.如权利要求1至5中任一项所述的测定装置，其特征在于，其中，该第I光学构件具有成像光束入射的第I平面与该成像光束出射的第2平面，该第2平面不平行于该第I平面。18.如权利要求1所述的测定装置，其中，该透过构件是以覆盖该摄影元件的受光区域的方式配置。19.一种形状测定装置，其特征在于，其测定一个测定装置的形状，所述装置具备: 如权利要求1至18中任一项所述的测定装置，其拍摄由照明光照射的被检物；及形状信息取得部，其根据该测定装置的结果，取得关于该被检物的形状的信息。20.如权利要求19所述的形状测定装置，其特征在于，其具备对该被检物照射含有激光的该照明光的固态光源。21.一种构造物制造系统，其特征在于，具备: 成形装置，其根据关于构造物的形状的设计信息而成形该构造物； 如权利要求19或20所界定的形状测定装置，其测定借由该成形装置而成形的该构造物的形状；及 控制装置，其将表示借由该形状测定装置而测定的该构造物的形状的形状信息与该设计信息进行比较。22.—种构造物制造方法，其特征在于，包含: 根据关于构造物的形状的设计信息而成形该构造物； 借由如权利要求19或20所界定的形状测定装置测定该成形的该构造物的形状；及 将表示借由该形状测定装置而测定的该构造物的形状的形状信息与该设计信息进行比较。23.一种成像光学系统，其特征在于，其中一个平面，其包含链接物体面的一点和与该物体面的一点共轭的像面的一点的第I轴，且该平面相对于包含该物体面的面与包含该像面的面之间的交线而垂直，该物体面与该平面的交线及该像面与该平面的交线相对于该第I轴朝向相互相反方向倾斜，所述成像光学系统具备在该平面内相对于该第I轴而偏心的第I光学构件。24.如权利要求23所述的成像光学系统，其特征在于，其具备包含该第I光学构件的多个光学构件， 其中，该第I光学构件较该多个光学构件中的其他光学构件在该平面内相对于该第I轴而倾斜。25.如权利要求24所述的成像光学系统，其特征在于，其中，该第I轴是连结对应于本成像光学系统的像形成范围的中心位置的该像面的一点和与该像面的一点共轭的物体面的一点的轴；该第I光学构件朝向与该像面相对于该第I轴的倾斜方向相反的方向倾斜。26.如权利要求25所述的成像光学系统，其特征在于，其中，该第I光学构件具有绕第I对称轴旋转对称的曲面形状，该第I对称轴相对于该第I轴的倾斜方向与该像面的法线相对于该第I轴的倾斜方向为相反方向。27.如权利要求26所述的成像光学系统，其特征在于，其具备具有绕第2对称轴旋转对称的曲面形状的第2光学构件，并且 该第2对称轴相对于该第I轴的倾斜方向与该第I对称轴相对于该第I轴的倾斜方向为相反方向。28.如权利要求26所述的成像光学系统，其特征在于，其中，该第I光学构件在成像光束所通过的范围内具备第I部分、及较该第I部分更靠近包含该物体面的平面与包含该像面的平面的交线的第2部分，且以随着自该第I部分朝向该第2部分而较其他光学构件更靠近该像面的方式配置。29.如权利要求28所述的成像光学系统，其特征在于，其中，该第2光学构件在成像光束所通过的范围内具备第3部分、及较该第3部分更靠近包含该物体面的面与包含该像面的面的交线的第4部分，且以随着自该第4部分朝向该第3部分而较其他光学构件远离该像面的方式配置。30.如权利要求27或29所述的成像光学系统，其特征在于，其中，该第2光学构件是以产生抵消于该第I光学构件产生的像差的一部分的像差的方式配置。31.如权利要求30所述的成像光学系统，其特征在于，其中，该第2光学构件相对于该物体面与该像面之间的光圈面，配置于与该第I光学构件相同的侧。32.如权利要求31所述的成像光学系统，其特征在于，其具备包含该第I光学构件及该第2光学构件的3个以上的光学构件， 该第2光学构件在成像光束的行进方向配置于该第I光学构件的旁边。33.如权利要求23至32中任一项所述的成像光学系统，其特征在于，其具备包含该第I光学构件的多个光学构件； 其中，该第I光学构件具有该多个光学构件的光学面中曲率相对较小的光学面。34.如权利要求23至33中任一项所述的成像光学系统，其特征在于，其中在成像光束所通过的范围内具备具有绕该第I轴旋转对称的形状的第3光学构件。35.如权利要求23至34中任一项所述的成像光学系统，其特征在于，其中，该第I光学构件相对于成像光束具有倍率。36.如权利要求23至34中任一项所述的成像光学系统，其特征在于，其中该第I光学构件具有成像光束入射的第I平面与该成像光束出射的第2平面，该第2平面平行于该第I平面。37.如权利要求23至34中任一项所述的成像光学系统，其特征在于，其中，该第I光学构件具有成像光束入射的第I平面与该成像光束出射的第2平面，该第2平面不平行于该第I平面。
【专利摘要】成像光学系统(21)为物体面(P1)与像面(P2)相对于第1轴(25)朝向相互相反方向倾斜的成像光学系统，其中第1轴链接物体面(P1)的一点和与物体面的一点共轭的像面(P2)的一点，在相对于包含物体面的面与包含像面的面的交线而垂直的平面内，所述成像光学系统具备在平面内相对于第1轴而偏心的第1光学构件(51)。在歪斜的成像光学系统中，其可能抑制成像性能的降低。
【IPC分类】G02B7/00, G01B11/24, G02B27/00
【公开号】CN104884894
【申请号】CN201380008504
【发明人】北泽大辅, 派崔克·布兰卡特
【申请人】株式会社尼康, 尼康计量公众有限公司
【公开日】2015年9月2日
【申请日】2013年2月6日
【公告号】EP2812648A1, US9205576, US20130202727, WO2013118909A1