透明板状体表面检查用摄像系统的制作方法_2

文档序号:9291428阅读:来源:国知局
应的从视野85到光源81的光线路径与作为线段的照射面81a以一点相交,分别唯一确定。
[0024]图15所例示的光源和线路传感器相机的配置形态例如在专利文献2中的记载。
[0025]需要说明的是,假设在图15所示的形态下,假定为照射面81a与玻璃板71不平行而照射面81a向玻璃板71的搬运方向侧倾斜。即,假定为了使光源81的照射面81a朝向玻璃板71的搬运方向的下游侧,而从照射面81a与玻璃板71正对的状态起使光源81旋转的状态。于是,从线路传感器相机82的透镜经由视野85朝向光源81的光线路径及将照射面81a向与玻璃板的搬运方向垂直的面投影后的结果如图17所示。这种情况下,照射面81a的投影结果成为面。于是,某像素所对应的光线路径在照射面81a上存在于暗部时,产生无法唯一地确定拍摄暗部的线上的何处的情况。例如,图17所示的光线路径91中的从视野85到光源81的暗部81b的线的光线路径存在多个选择。因此,从光线路径91中的玻璃板71上的反射点到暗部81b为止的光线路径根据拍摄图像无法唯一确定。因此,在图15所示的配置形态下,需要使光源81的照射面81a与玻璃板71平行。需要说明的是,在图17中,仅图示I个暗部81b,但是在照射面81a上存在多个暗部81b。
[0026]在图15所示的配置形态下,玻璃板的表侧的面的反射光与背侧的面的反射光分离的方向和光源上的条纹图案的暗部的朝向相同。因此,图15所示的配置形态是未产生图9所示的距离P的分离现象的配置形态。图18是表示在未设置水层的情况下,在图15所示的配置形态下,从线路传感器相机82的透镜朝向视野85的光线路径及将光源81的照射面81a进行了投影后的结果的示意图。在未设置水层的情况下,如图18的虚线所示,也产生在玻璃板71的背侧的面处的反射。并且,在线路传感器相机的视野的中央部,在玻璃板71的表侧的面处反射了的光线路径与在背侧的面处反射了的光线路径大致重叠,因此不取决于分离距离D而由表侧的面处的反射产生的痕纹与由背侧的面处的反射产生的痕纹重叠。其结果是,测定精度下降。即使在设置水层的情况下,在由背侧的面处的反射而产生的痕纹未完全消失时,也会产生同样的问题,测定精度下降。
[0027]在先技术文献
[0028]专利文献
[0029]专利文献1:日本国特开2012-21781号公报(段落0033、0034)
[0030]专利文献2:日本国特开2009-128098号公报(图1)

【发明内容】

[0031]发明要解决的课题
[0032]在以宽幅的玻璃板为检查对象的情况下,在确保检查精度的状态下仅通过一台的线路传感器相机无法拍摄玻璃板的整个宽度。由此,在以宽幅的玻璃板为检查对象的情况下,只要将光源及线路传感器相机的组合配置多个即可。但是,如图10所示,线路传感器相机的光线路径中心存在的平面与玻璃板垂直且与玻璃板的搬运方向也垂直的情况下,为了避免光源及线路传感器相机的组彼此发生干涉,需要按照由光源及线路传感器相机组成的组,将线路传感器相机的视野沿着搬运方向错开。将线路传感器相机的视野沿着搬运方向错开的情况的例子如图19所示。图19示出玻璃板71的从上方观察到的状态。而且,图19所示的箭头表示玻璃板71的搬运方向。并且,在由光源及线路传感器相机组成的各组中,省略线路传感器相机的图示,示出光源81及线路传感器相机的视野85。在图19所示的例子中,将由光源81及线路传感器相机(图示省略)组成的组设置6组,以6部位的视野85为对象进行拍摄,由此能得到用于检查玻璃板71的整个横向宽度的图像。
[0033]然而,当按照由光源81及线路传感器相机组成的组将线路传感器相机的视野85沿搬运方向错开时,需要配置多个用于在玻璃板的背侧设置水层的机构。例如,在图19所示的例子中,用于设置水层的机构(图示省略)需要配置在图19所示的A、B、C这3个部位。其结果是,检查装置的制造成本增加。
[0034]另一方面,如图15所示,在线路传感器相机的光线路径中心存在的平面与玻璃板垂直且与玻璃板的搬运方向平行的情况下,由光源81及线路传感器相机82组成的组彼此不发生干涉的配置可以如图20例示那样实现。然而,这种情况下,也是,在由背侧的面处的反射而产生的痕纹未完全消失时,测定精度容易下降。需要说明的是,图20是俯视图,图20所示的箭头表示玻璃板71的搬运方向。
[0035]以上叙述的问题不仅在玻璃板的检查中产生,在玻璃板以外的透明板状体的检查中也产生。
[0036]因此,本发明的目的在于提供一种透明板状体表面检查用摄像系统,线路传感器相机的光线路径中心存在的平面与透明板状体垂直且该平面与透明板状体的搬运方向既不平行也不垂直的情况下,利用表侧的面的反射光的路径与背侧的面的反射光的路径取决于板厚而分离的现象,并能够抑制用于在透明板状体的背侧设置水层的机构的个数的增加。
[0037]用于解决课题的方案
[0038]本发明的透明板状体表面检查用摄像系统的特征在于,具备:线路传感器相机,从倾斜方向拍摄被搬运的透明板状体,且以视野与透明板状体的搬运方向正交的方式配置;及光源,在透明板状体没有产生变形的条件下,配置在从线路传感器相机朝向该线路传感器相机的视野的光线路径由透明板状体反射的延长方向上,并且所述光源照射条纹图案,光源的条纹图案的照射面的朝向以将该照射面沿着透明板状体的行进方向投影的结果是成为线段的方式确定,在照射面上成为条纹图案的暗部的线与透明板状体的搬运方向平行。
[0039]优选的是,在透明板状体没有产生变形的条件下,在假定了包含与线路传感器相机的光轴一致的光线路径和从与该光线路径对应的透明板状体上的反射点到光源为止的光线路径的平面的情况下,该平面满足与透明板状体的搬运方向既不平行也不垂直的条件。
[0040]而且,本发明的透明板状体表面检查用摄像系统的特征在于,具备:线路传感器相机,拍摄被搬运的透明板状体,且以视野与透明板状体的搬运方向正交的方式配置;及光源,具有矩形的照射面,并从该照射面照射条纹图案,以如下方式配置所述线路传感器相机及所述光源:假定包含从线路传感器相机延伸的光线路径的起点、线路传感器相机的视野、沿着照射面的长度方向的照射面的中心轴的平面与搬运方向正交的状态,从该假定的状态起,以视野为中心轴使线路传感器相机及光源成为相互反向旋转的状态,光源的条纹图案的照射面的朝向以将该照射面沿着透明板状体的行进方向投影的结果是成为线段的方式确定,在照射面上成为条纹图案的暗部的线与透明板状体的搬运方向平行。
[0041]也可以是,具备多个由线路传感器相机与光源组成的组,由线路传感器相机与光源组成的各组以各线路传感器相机的视野排列在直线上的方式配置。
[0042]也可以是,具有将透明板状体的背面反射消去的背面反射消去单元。
[0043]发明效果
[0044]根据本发明,线路传感器相机的光线路径中心存在的平面与透明板状体垂直且该平面与透明板状体的搬运方向既不平行也不垂直的情况下,利用表侧的面的反射光的路径与背侧的面的反射光的路径取决于板厚而分离的现象,并能够抑制用于在透明板状体的背侧设置水层的机构的个数的增加。
【附图说明】
[0045]图1是表示本发明的透明板状体表面检查用摄像系统的例子的立体图。
[0046]图2是示意性地表示从线路传感器相机2的透镜经由视野5朝向光源I的光线路径及光源I的照射面的立体图。
[0047]图3是表示图2所示的从线路传感器相机2经由视野5朝向光源I的光线路径及光源I的照射面Ia向与玻璃板的搬运方向垂直的面投影的结果的示意图。
[0048]图4是表示以将光源I的照射面Ia向与玻璃板的搬运方向垂直的面投影的结果成为面的方式确定光源I的姿势的情况的投影结果的示意图。
[0049]图5是表示将成为条纹图案的暗部的线向与玻璃板的搬运方向垂直的面投影的结果的示意图。
[0050]图6是表示本发明的条纹图案的例子的说明图。
[0051]图7是表示假定暗部与照射面Ia的短边平行的情况的投影结果的示意图。
[0052]图8是表示将由光源I及线路传感器相机2组成的组配置多个的状况的说明图。
[0053]图9是表示光源与线路传感器相机之间的一般的光的路径的说明图。
[0054]图10是表示光源和线路传感器相机的配置形态的一例的立体图。
[0055]图11是表示通过拍摄得到的图像的例子的示意图。
[0056]图12是表示产生了是2条痕纹还是I条痕纹不明确的部位的图像的例子的示意图。
[0057]图13是表示在玻璃板的背侧配置了水层的情况的光源与线路传感器相机之间的光的路径的说明图。
[0058]图14是表示图10所示的从线路传感器相机82的透镜经由视野85到达光源81的光线路径及光源81的照射面81a向与玻璃板的搬运方向垂直的面投影的结果的示意图。
[0059]图15是表示光源和线路传感器相机的配置形态的其他的例子的立体图。
[0060]图16是表示图15所示的从线路传感器相机82的透镜经由
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