表征高低压相互串扰特性的测试方法

文档序号:9373494阅读:350来源:国知局
表征高低压相互串扰特性的测试方法
【技术领域】
[0001]本发明属于芯片设计领域,特别涉及利用高压环境对SOI标准单元库影响的测试方法。
【背景技术】
[0002]随着集成电路的快速发展,传统的硅工艺在器件理论、器件结构以及制作工艺上出现了越来越多的问题:集成度的提高导致了功耗的迅速增加,栅氧化层变薄导致介质层容易被击穿,这些问题都严重制约着集成电路的发展。而SOI作为一种全介质隔离技术,有着传统体硅不可比拟的优点。由于它采用的是全介质隔离结构,SOI器件的抗辐射特性好,彻底消除了体硅CMOS电路的闩锁效应,并且SOI工艺比传统的体硅面积小。
[0003]但是仅仅了解SOI器件如何进行设计、制造是不够的。对一般IC设计者,因缺乏设计平台与IP工具支持,让IC设计者即使想采用此工艺也无所适从。在SOI技术形成产业化需要与自动化平台相关的链接文件,而标准单元库是连接集成电路设计与制造工艺之间的桥梁。所以建立一套准确的标准单元库成为一项必要的工作。
[0004]由于SOI工艺的特殊性,SOI的高压器件可以与普通器件生产在同一款芯片上,我们需要考虑高压环境对库单元的影响,本专利提出一种测试电路,该电路表征了高压环境下标准单元的工作情况。

【发明内容】

[0005]本发明提出了一种高压环境对标准单元库影响的测试方法,考虑到SOI低压与高压器件共存的工作环境,该方法通过测量被测单元的延迟和信号的波动,实现对高压环境下,测试单元工作情况的检测。
[0006]测试芯片中设置与低压器件不同距离的高压器件,通过控制不同距离高压器件的开启,来测量其对低压测试单元的影响,最终的测试结果对设计者有着指导作用。
[0007]考虑到高压器件不同开启时刻对测试单元的影响不同,如图2高压器件在开启时刻I开启会对测试单元的逻辑值有影响,高压器件在开启时刻2开启影响测试单元信号的波动。设置BUF以及选择器来控制高压器件的开启时刻,以达到测试的目的。
[0008]为了减少测试芯片的面积,在测试芯片设置选择器逻辑,通过选择器来控制测试单元的打开和关闭,以及高压器件的开启时刻。这种方法可以极大的减少输入引脚个数,从而达到减少芯片面积的目的。
【附图说明】
[0009]图1是本发明实施例测试方法原理图;
图2高压器件不同开启时刻对于标准单元影响示意图。
【具体实施方式】
[0010]I如图1,将不同的测试单元与输入端口连接,通过选择器控制信号controll选择测试单元的输出,将高压模块按照与测试单元的不同距离放置,通过选择器contro13控制不同距离高压模块的开启。
[0011]2如图2,通过control2信号控制不同BUF的开启,控制高压模块的开启时刻。
[0012]3 Set,与input信号共同控制选择器2来控制高压模块的开启
4使用control〗控制选择器2,选择O个BUF,使高压器件与待测单元同时开启,即图2所示的开启时刻I。测量此时高压信号的开启对于测试单元逻辑值的影响。
[0013]5使用control〗控制选择器3,选择多个个BUF,使高压器件在待测单元信号稳定时刻开启,即图2所示的开启时刻2。直接测量测试单元的输出端查看信号的波动情况。
【主权项】
1.一种测试高压环境对标准单元影响的方法,测试不同距离高压器件的开关对标准单元的影响,以及高压器件开启时刻对于测试单元的影响。2.如权利要求1所述的测试高压器件开启时刻影响的测试电路,其特征在于通过逻辑电路的设置选择不同级的缓冲器,从而控制高压器件的开启时刻。3.如权利要求1所述的测试电路,其特征在于在测试芯片内部设置选择器逻辑,通过选择器来控制测试单元的打开和关闭,以及高压器件的开启时刻,从而达到减少芯片面积的目的。
【专利摘要】本发明提出了一种高压环境对标准单元库影响的测试方法,考虑到SOI低压与高压器件共存的工作环境,该方法通过测量被测单元的延迟和信号的波动,实现对高压环境下,单元工作情况的检测。通过设置高压器件与低压器件的多种距离,以及通过缓冲器设置高压器件的开启时刻,测试高压环境对测试单元的不同种类的影响。在测试芯片中添加选择器来减少PAD的个数,达到了减少芯片面积的目的。
【IPC分类】G01R31/00
【公开号】CN105093003
【申请号】CN201410216906
【发明人】徐帆, 陈曦, 张翼, 程玉华
【申请人】上海北京大学微电子研究院
【公开日】2015年11月25日
【申请日】2014年5月22日
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