一种硅芯电阻率的检测装置的制造方法_4

文档序号:9505290阅读:来源:国知局
面设置 有至少一个螺孔,可通过与该螺孔配合的螺栓调节第一空心柱状部51与立柱4配合的松紧 度;所述第一三角板状部52和第二三角板状部53均呈直角三角形且平行设置,二者的一条 直角边均与第一空心柱状部51的侧面相连,二者的另一条直角边均与第一空心柱状部51 顶端平齐,且二者的外表面分别与第一空心柱状部51的侧面相切;
[0107] 所述卡套6包括平面板状部61和第二空心柱状部62 ;所述平面板状部61与第二 空心柱状部62的侧面相连,且所述第二空心柱状部62的轴心与平面板状部61垂直,所述 第二空心柱状部62套装在对应的金属探头上,且所述第二空心柱状部61的侧面设置有至 少一个螺孔,可通过与该螺孔配合的螺栓调节第二空心柱状部61与金属探头配合的松紧 度;设置在所述金属探头底部的两根金属探针通过贯穿金属探头内部并从金属探头的顶端 钻出的导线与电压测量单元电连接;
[0108] 所述三角支架5的第一三角板状部52和第二三角板状部53的远离第一空心柱状 部51 -侧的边缘处设置有位置相对的通孔,且该通孔的轴心与第一空心柱状部51的轴心 垂直,所述卡套6的平面板状部61的远离第二空心柱状部62 -侧的边缘处也设置有通孔, 该通孔的轴心与第二空心柱状部62的轴心垂直,所述连接轴8设置在第一三角板状部52、 第二三角板状部53和平面板状部61的通孔内,以使得旋转件和移动件通过连接轴8连接, 且所述平面板状部61的通孔与连接轴8固定连接,以使得旋转件能随连接轴8 -起转动, 连接轴8能够在第一三角板状部52和第二三角板状部53的通孔内自由转动(即第一三角 板状部52和第二三角板状部53的通孔直径略大于连接轴8的直径),以使得移动件无法随 连接轴8 -起转动。
[0109] 本实施例中的其他结构及作用都与实施例1相同,这里不再赘述。
[0110] 可以理解的是,以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施 方式,然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言,在不脱离本发明的精 神和实质的情况下,可以做出各种变型和改进,这些变型和改进也视为本发明的保护范围。
【主权项】
1. 一种硅芯电阻率的检测装置,其特征在于,包括:N个金属探头、操作台、恒流电源、 电压测量单元、控制单元和计算单元,其中,N> 3,每个金属探头的底部均设置有两根金属 探针, 待测硅芯和N个金属探头均与操作台可拆卸地连接,所述操作台使得该N个金属探头 沿待测硅芯的轴向排列且间隔均匀地放置在待测硅芯上,并使每根金属探针以一定的压力 垂直放置在待测硅芯表面上,且每个金属探头的两根金属探针也沿待测硅芯的轴向排列; 所述恒流电源与待测硅芯的两端连接,用于向待测硅芯提供恒定的直流电流; 所述电压测量单元与所述N个金属探头连接,用于同时测量每个金属探头的两根金属 探针之间的电位差,并将测得的电位差输出至控制单元; 所述控制单元分别与电压测量单元和恒流电源连接,用于控制恒流电源向待测硅芯 两端输出的直流电流的正、反向,控制电压测量单元中测量回路的正、反向,以及将恒流电 源的直流电流值和电压测量单元的输出值转换为计算单元可识别的数据,并输出至计算单 元; 所述计算单元与控制单元连接,其内预存有硅芯电阻率的计算公式,用于根据其内预 存的计算公式和控制单元输出的数据计算得出待测硅芯的电阻率。2. 根据权利要求1所述的检测装置,其特征在于,所述电压测量单元采用电压变送器, 其输入、输出量程可调;所述电压变送器的信号输入端输入〇~75mV的电压信号,其信号输 出端输出4~20mA的电流信号;所述电压变送器用于同时测量每个金属探头的两根金属探 针之间的电位差,还用于隔离输入信号、输出信号和电源信号,以及浪涌保护。3. 根据权利要求1所述的检测装置,其特征在于, 所述控制单元包括继电器和可编程逻辑控制器,所述计算单元采用上位显示组态软 件, 所述可编程逻辑控制器用于通过内部编程控制继电器时序性吸合与断开,以时序性 控制恒流电源输出的直流电流的正、反向,和时序性控制电压测量单元中测量回路的正、反 向;还用于将恒流电源、电压测量单元的输出值转换为上位显示组态软件可识别的数据,并 通过可编程逻辑控制器与上位显示组态软件之间建立的通讯协议将转换后的数据传递给 上位显示组态软件; 所述上位显示组态软件用于编写硅芯电阻率的计算公式,并根据所述公式和可编程逻 辑控制器输出的数据计算得出待测硅芯的电阻率。4. 根据权利要求1所述的检测装置,其特征在于, 所述操作台包括基座、多个可调式基座支架、硅芯固定子单元和金属探头调节子单元, 所述多个可调式基座支架间隔均匀地设置在基座底部,用于调苄基座相对于地面的距 离; 所述硅芯固定子单元和金属探头调节子单元均设置在基座上,所述硅芯固定子单元与 待测硅芯可拆卸地连接,用于固定待测硅芯;所述金属探头调节子单元与N个金属探头可 拆卸地连接,用于调节N个金属探头的位置,以使其沿待测硅芯的轴向排列且间隔均匀地 放置在待测硅芯上,并使每根金属探针以一定的压力垂直放置在待测硅芯表面上。5. 根据权利要求4所述的检测装置,其特征在于, 所述可调式基座支架包括丝杠、连接件和支撑件, 所述基座上设置有与所述丝杠的数量相同且位置相对应的螺纹通孔,所述基座上设置 的螺纹通孔与其对应的丝杆相匹配; 所述连接件的一端与丝杆相连,另一端与支撑件相连,用于将丝杆和支撑件连成一 体; 所述支撑件采用能够支撑基座的结构。6. 根据权利要求4所述的检测装置,其特征在于,所述硅芯固定子单元采用开口角度 可调式卡槽结构,且卡槽的长度方向与待测硅芯的轴向平行。7. 根据权利要求4所述的检测装置,其特征在于, 所述金属探头调节子单元包括N个立柱、N个调节模块、连接轴和手柄, 所述N个立柱间隔均匀地垂直固定在基座上; 所述调节模块包括旋转件和移动件,且每个调节模块的旋转件和移动件均通过连接轴 连接,每个调节模块的旋转件均对应一个金属探头,每个金属探头均固定在其对应的旋转 件上且位于固定在硅芯固定子单元中的待测硅芯的正上方,每个调节模块的移动件均对应 一根立柱,并与其对应的立柱可拆卸地连接; 所述连接轴与固定在硅芯固定子单元中的待测硅芯平行设置,所述N个调节模块的旋 转件和移动件均套装在连接轴上,且旋转件能随连接轴一起转动; 所述手柄固定在连接轴的一端,用于使连接轴转动,并能带动N个调节模块的旋转件 一起转动。8. 根据权利要求7所述的检测装置,其特征在于, 所述移动件采用三角支架,所述旋转件采用卡套, 所述三角支架包括第一空心柱状部、第一三角板状部和第二三角板状部,所述第一空 心柱状部套装在对应的立柱上,且所述第一空心柱状部的侧面设置有至少一个螺孔;所述 第一三角板状部和第二三角板状部均呈直角三角形且平行设置,二者的一条直角边均与第 一空心柱状部的侧面相连,二者的另一条直角边均与第一空心柱状部顶端平齐,且二者的 外表面分别与第一空心柱状部的侧面相切; 所述卡套包括平面板状部和第二空心柱状部,所述平面板状部与第二空心柱状部的侧 面相连,且所述第二空心柱状部的轴心与平面板状部垂直,所述第二空心柱状部套装在对 应的金属探头上,且所述第二空心柱状部的侧面设置有至少一个螺孔;设置在所述金属探 头底部的两根金属探针通过贯穿金属探头内部并从金属探头的顶端钻出的导线与电压测 量单元电连接; 所述三角支架的第一三角板状部和第二三角板状部的远离第一空心柱状部一侧的边 缘处设置有位置相对的通孔,且该通孔的轴心与第一空心柱状部的轴心垂直,所述卡套的 平面板状部的远离第二空心柱状部一侧的边缘处也设置有通孔,该通孔的轴心与第二空心 柱状部的轴心垂直,所述连接轴设置在第一三角板状部、第二三角板状部和平面板状部的 通孔内,且所述平面板状部的通孔与连接轴固定连接。9. 根据权利要求1所述的检测装置,其特征在于, 所述检测装置还包括显示单元, 所述显示单元与计算单元连接,用于显示计算单元计算得出的各根待测硅芯的电阻 率。10. 根据权利要求1所述的检测装置,其特征在于, 所述检测装置还包括打印单元, 所述打印单元与计算单元连接,用于打印计算单元计算得出的各根待测硅芯的电阻 率。11. 根据权利要求1所述的检测装置,其特征在于, 所述检测装置还包括比较单元, 所述比较单元内预设有标准硅芯电阻率,其与计算单元相连,用于将计算单元计算得 出的各根待测硅芯的电阻率分别与预设的标准硅芯电阻率相比较,以得出分别与各根待测 硅芯对应的比较结果。12. 根据权利要求1-11中任一项所述的检测装置,其特征在于, 所述检测装置还包括存储单元, 所述存储单元与计算单元连接,用于存储计算单元计算得出的各根待测硅芯的电阻 率。
【专利摘要】本发明提供一种硅芯电阻率的检测装置,包括N个金属探头、操作台、恒流电源、电压测量单元、控制单元和计算单元,N≥3,每个金属探头的底部均设置有两根金属探针,操作台使该N个金属探头沿待测硅芯的轴向均匀排列,并使每根金属探针以一定的压力垂直放置在待测硅芯表面上;恒流电源向待测硅芯提供恒定的直流电流;电压测量单元同时测量每个金属探头的两根金属探针之间的电位差;控制单元控制恒流电源输出的直流电流和电压测量单元中测量回路的正、反向,以及将恒流电源、电压测量单元的输出值转换为计算单元可识别的数据;计算单元根据其内预存的计算公式和控制单元输出的数据计算待测硅芯的电阻率。本发明所述检测装置的测量效率和精度较高。
【IPC分类】G01R27/14
【公开号】CN105259417
【申请号】CN201410333494
【发明人】张兆东, 宋永刚, 俞清华, 康逢龙, 陈鹏, 潘多明
【申请人】新特能源股份有限公司
【公开日】2016年1月20日
【申请日】2014年7月14日
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