流量传感器的制造方法_3

文档序号:9568383阅读:来源:国知局
传感器270、420A和420B连接。根据不背离本发明的范围的流体匣盒250的特定设计和布局,这些传感器270、420A和420B的各种驱动、感测和处理功能可以在诸如处理器252和压力感测电子器件422等各种不同的模块中实现。例如,处理器252可配置为直接向温度感测元件271提供电流并直接测量温度感测元件271两端的电压下降量,而不需要中间电子器件。在此披露的所有功能可以在如图3所示的块元件或在其他块元件中实现,并且图3所示的块可以在不背离本发明的范围的情况下结合或拆分。
[0038]存储器254配置为存储用于处理器252的操作指令以及数据,数据可包括用于传感器258、270、420A和420B的校准数据。如上所述,数据还可包括诸如使用来自压力传感器420A的压力测量值、来自压力传感器420B的压力测量值以及来自温度传感器270的温度测量值来确定穿过多孔盘410的流量的方程或查询表格等信息。在某些实施例中,存储器包括非易失性存储器,例如磁盘、固态存储器、闪速存储器、或者本领域技术人员公知的其他非暂态、非易失性的存储器。
[0039]处理器252还可操作地与阀门300联接并且能够致动该阀门300。可以采用例如双绞线、光缆等任何本领域已知的技术通过直接连接来实现处理器252与图3所示的其他元件之间的互连,或者通过与嵌入其他元件中的微处理器进行网络连接来实现这一互连。接口模块256可包括用于与通气机100内的其他装置进行有线或无线通信的信号收发器,或者接口模块256可以与诸如图2B所示的后接口面板165等外部接口连接,以便与通气机100外部的装置进行通信。
[0040]图4A示出了根据本发明的某些方面的示例性流体匣盒200。流体匣盒200具有主体210,主体210具有入口端部220和出口端部230。在入口端部220处设置有入口 222,入口 222配置为与气体入口转接器120的接头122 (在图4A中未示出)密封地配合连接。入口端部220还可以包括:定位特征件226(例如突伸销),其使气体入口转接器120与入口222对准;以及配合面224,其为配合的气体入口转接器120提供基准表面。螺线管240安装在出口端部230附近的主体上,以驱动设置在主体210内的压力控制阀门(在图4A中不可见)。在本实施例中,电子器件模块250安装在主体210的顶部。参考图3对电子器件模块的细节进行详细说明。
[0041]图4B是根据本发明的某些方面的图4A的流体匣盒的剖视图。虚线框400表示构成流量传感器400的元件,将参考图3和图4C对其进行详细说明。在图4B的剖视图中可以看到连接入口 222和出口 232的通道223,多孔盘410设置在通道223内。
[0042]图4C是图4B的一部分的放大图,其中示出了根据本发明的某些方面的示例性流量传感器400。在本实例中,压力传感器420A、420B设置在压力感测电子器件422的封装内,并且通过通向感测端口 421A和421B的气体通道424与通道223连接。温度感测元件271暴露于通道223的内部,并且因此与通道223内的气体接触。密封件426 (在本实例中为一对0型环)提供壳体210与用于气体通道424的管延伸件428之间的气密性密封、以及壳体210与用于温度感测元件271的导孔429之间的气密性密封。
[0043]图5是根据本发明的某些方面的示例性流量测量过程500的流程图。过程500开始于步骤510:确定何种气体或气体混合物(例如氧气或氦氧混合气70/30)将要流过流量传感器400。在步骤515中,测量流量限制件410的上游和下游的气体压力,并且在步骤520中,计算跨过流量限制件410的压降。在步骤525中,处理器252至少部分地基于该压降来计算未被补偿的流量。在步骤530中,测量流过流量传感器400的气体的温度,并且在步骤535中,处理器252从存储器254加载(检索)信息,信息可包括与流量传感器400相关的补偿参数。在步骤540中,处理器252使用所检索的补偿参数计算补偿流量,并且在步骤545中,处理器252将该补偿流量提供给例如通气机100的处理器。步骤550是检查是否已接收到“停止”指令的判断点,在接收到“停止”指令的情况下,处理500沿着“是”路径到达结束点并且过程终止。如果尚未接收到“停止”指令,则过程500沿着“否”路径到达步骤515并且测量压力和温度。过程500将在步骤515至步骤550中循环,直到接收到“停止”指令为止。
[0044]概括地说,所公开的流体匣盒的实施例以紧凑和模块化的形式提供了对气体流量的精确测量。流量的精度可通过对气体温度和气体成分中的一者或多者进行补偿而得到提高。可通过对特定的流量限制件(例如,多孔盘)的在先的实验校准或通过基于气流原理的计算来实现该补偿。模块化的形式使得该子系统能够被独立地测试和校准,并且简化了组装和更换。
[0045]提供前述说明是为了使任何本领域技术人员都能够实现本文中所描述的各个方面。尽管上文已描述了被认为是最佳的模式和/或其他实例,应当理解,对这些方面的各种变型对于本领域的技术人员来说是显而易见的,并且在本文中所限定的一般原理可以应用到其它的方面中。权利要求并不意在限制在本文中所描述的各个方面,而是意在符合与权利要求的文字一致的全部范围,其中,除非明确指出,否则对单数形式元件的引用不是指“一个且仅一个”,而是指“一个或更多个”。除非明确指出,否则术语“一组”和“一些”指代一个或更多个。阳性代词(例如他的)包括阴性和中性(例如,她的和它的),反之亦然。标题和副标题(如果存在)仅仅是起到方便的作用,对本发明没有限制作用。
[0046]对于在说明书和权利要求书中使用的术语“包括”、“具有”等来说,这些术语按照与术语“包括”类似的方式是包括性的,就像“包括”在权利要求书中用作转折语时所理解的那样。
[0047]应该理解,所公开的工艺中的步骤的具体次序或层次是为了示例性工艺。根据设计的选择,应该理解,工艺中的步骤的具体次序或层次是可以重新组织的。某些步骤可以同时进行。所附的方法权利要求以范例的次序展示了各个步骤的要素,并不局限于所展示的具体次序或层次。
[0048]本文中所使用的例如“顶部”、“底部”、“前”、“后”等术语应该被理解为参考任意的参考体系,而不是参考普通的重力参考体系。因此,顶部表面、底部表面、前表面和后表面可能在重力参考体系中向上、向下、斜向或者水平延伸。
[0049]诸如“方面”等表述并非意味这种方面对主题技术来说是必不可少的或这种方面适用于主题技术的所有构造。与一个方面有关的公开内容可适用于所有构造、或一个或更多个构造。诸如方面等表述可指一个或更多个方面,且反之亦然。诸如“实施例”等表述并非意味这种实施例对主题技术来说是必不可少的或这种实施例适用于主题技术的所有构造。与一个实施例有关的公开内容可适用于所有实施例、或一个或更多个实施例。诸如一个实施例等表述可指一个或更多个实施例,并且反之亦然。
[0050]本文使用的单词“示例性的”表示“用作实例或者说明”。在本文中描述为“示例性的”任何方面或设计不一定被理解为是比其它方面或设计更优选的或更有利的。
[0051]不应根据35U.S.C.§ 112的第六段的规定理解权利要求的要素,除非该要素是使用短语“用于……”这一表述明来明确地叙述的,或者在方法权利要求的情况下,该要素是使用短语“用于…
当前第3页1 2 3 4 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1