摩擦。
[0096]图22中第二固定层与屏蔽壳内侧之间设置的绝缘层可以去掉，在这种情况下，由于第二电极206与屏蔽壳100直接接触，屏蔽壳100为金属材料，所以屏蔽壳100与第二电极206导通后与自由层304的第一电极215充当气动传感器的信号输出端。
[0097]为了增加小气流对气动传感器的响应，本实用新型提供的上述气动传感器中自由层的结构还可以设置为图23a或23b，此时自由层可通过垫片203与屏蔽壳或至少一层固定层固定连接。
[0098]在上述提供的气动传感器中，为了提高气动传感器的灵敏度，可以在形成气动传感器的摩擦界面的两层相对的面中至少一面设有微纳结构。当自由层随气流而振动时，使自由层通过摩擦部能够与至少一层固定层和/或屏蔽壳更好地接触摩擦。
[0099]本实用新型提供的上述气动传感器的制作成本低、输出信号大，对外接信号处理电路要求低，由于外界振动引起的信号微弱，所以可以轻易地通过气动传感器的电路设计来区分气流和外界振动干扰产生的电信号，同时设置了屏蔽壳，从而进一步减少了外界振动对气动传感器的干扰，提高了气动传感器工作的准确性。
[0100]最后，需要注意的是:以上列举的仅是本实用新型的具体实施例子，当然本领域的技术人员可以对本实用新型进行改动和变型，倘若这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，均应认为是本实用新型的保护范围。
【主权项】
1.一种气动传感器，其特征在于，包括:屏蔽壳、在所述屏蔽壳的部分或全部内侧表面设置的绝缘层、及至少一个传感单元； 所述屏蔽壳上开设有至少两个通气口，气流在通气口之间通过； 所述传感单元包括:至少一层固定层和一层自由层；所述至少一层固定层固设在所述屏蔽壳上；所述自由层具有固定部和摩擦部；所述自由层的固定部与所述至少一层固定层或所述屏蔽壳固定连接；所述自由层通过摩擦部与所述至少一层固定层和/或所述屏蔽壳摩擦； 其中，所述至少一层固定层和/或所述屏蔽壳为所述气动传感器的信号输出端。
2.根据权利要求1所述的气动传感器，其特征在于，气流的进气方向平行于所述至少一层固定层所在平面或者气流的进气方向垂直于所述至少一层固定层所在平面。
3.根据权利要求1所述的气动传感器，其特征在于，所述传感单元包括:一层固定层和一层自由层； 所述固定层包含电极，所述绝缘层设置在所述电极与所述屏蔽壳内侧表面之间； 所述自由层通过摩擦部与所述固定层和/或所述屏蔽壳摩擦，所述电极和所述屏蔽壳为所述气动传感器的信号输出端。
4.根据权利要求3所述的气动传感器，其特征在于，所述固定层为电极，或者，所述固定层为一侧表面镀有电极的高分子聚合物绝缘层。
5.根据权利要求1所述的气动传感器，其特征在于，所述至少一层固定层为两层，分别为第一固定层和第二固定层；所述第一固定层和所述第二固定层分离固设在所述屏蔽壳上，所述自由层位于所述第一固定层和所述第二固定层之间； 所述第一固定层包含第一电极，所述绝缘层设置在所述第一电极与所述屏蔽壳内侧表面之间； 所述自由层的固定部与所述第一固定层或第二固定层固定连接，所述自由层通过摩擦部与所述第一固定层和/或所述第二固定层摩擦。
6.根据权利要求5所述的气动传感器，其特征在于，所述第一固定层为第一电极，或者，所述第一固定层为一侧表面镀有第一电极的第一高分子聚合物绝缘层。
7.根据权利要求6所述的气动传感器，其特征在于，所述第二固定层为第二高分子聚合物绝缘层，所述第一电极和所述屏蔽壳为所述气动传感器的信号输出端。
8.根据权利要求6所述的气动传感器，其特征在于，所述第二固定层包含第二电极，所述第二电极与所述屏蔽壳内侧表面接触，所述第一电极和所述屏蔽壳为所述气动传感器的信号输出端。
9.根据权利要求6所述的气动传感器，其特征在于，所述第二固定层包含第二电极，所述绝缘层还设置在所述第二电极与所述屏蔽壳内侧表面之间； 所述第一电极和所述第二电极为所述气动传感器的信号输出端。
10.根据权利要求6所述的气动传感器，其特征在于，所述第二固定层为第二高分子聚合物绝缘层，所述第一电极由两个叉指电极组成，所述两个叉指电极为所述气动传感器的信号输出端。
11.根据权利要求6所述的气动传感器，其特征在于，所述第二固定层包含第二电极，所述绝缘层还设置在所述第二电极与所述屏蔽壳内侧表面之间； 所述第一电极由两个叉指电极组成，所述第二电极由两个叉指电极组成，四个叉指电极为所述气动传感器的信号输出端。
12.根据权利要求6所述的气动传感器，其特征在于，所述第二固定层中间开设有与所述通气口相对的集风口，所述第一固定层与所述屏蔽壳之间形成两个与通气口相对的出风口，所述自由层由对称的两个部分组成，自由层的固定部与所述屏蔽壳固定连接。
13.根据权利要求8、9、11或12所述的气动传感器，其特征在于，所述第二固定层为第二电极，或者，所述第二固定层为一侧表面镀有第二电极的第二高分子聚合物绝缘层。
14.根据权利要求1-12任一项所述的气动传感器，其特征在于，所述传感单元为多个，所述屏蔽壳内还设置有至少一个隔板，多个传感单元通过隔板隔开，所述多个传感单元并联连接。
15.根据权利要求1-12任一项所述的气动传感器，其特征在于，所述传感单元为多个，多个传感单元通过绝缘层隔开，所述多个传感单元并联连接。
16.根据权利要求1所述的气动传感器，其特征在于，所述自由层的固定部通过两个垫片与所述至少一层固定层的一边或对角固定连接，或者所述自由层的固定部通过四个垫片与所述至少一层固定层的四个角固定连接。
17.根据权利要求1所述的气动传感器，其特征在于，所述屏蔽壳的材料为金属材料，所述屏蔽壳接地。
18.根据权利要求14所述的气动传感器，其特征在于，所述隔板与所述屏蔽壳的材料相同。
19.根据权利要求1所述的气动传感器，其特征在于，在所述屏蔽壳的通气口设置透气屏蔽层，所述透气屏蔽层为网状金属层或带孔洞的金属层。
20.根据权利要求1所述的气动传感器，其特征在于，所述自由层经过预热压和预固化处理，使得所述自由层在迎风处具有弯曲结构或弯折结构。
21.根据权利要求1所述的气动传感器，其特征在于，形成所述气动传感器的摩擦界面的两层相对的面中至少一面设有微纳结构。
22.—种气动传感器，其特征在于，包括:屏蔽壳、在所述屏蔽壳的部分或全部内侧表面设置的绝缘层、及至少一个传感单元； 所述屏蔽壳上开设有至少两个通气口，气流在通气口之间通过； 所述传感单元包括:自由层，所述自由层的一侧表面镀有电极；所述自由层具有固定部和摩擦部；所述自由层的固定部与所述屏蔽壳固定连接；所述自由层没镀电极的表面通过摩擦部与所述屏蔽壳摩擦；所述绝缘层设置在能够与所述自由层镀有电极的表面接触的所述屏蔽壳的部分内侧表面； 其中，所述自由层的电极和/或所述屏蔽壳为所述气动传感器的信号输出端。
23.—种气动传感器，其特征在于，包括:屏蔽壳、在所述屏蔽壳的部分或全部内侧表面设置的绝缘层、及至少一个传感单元； 所述屏蔽壳上开设有至少两个通气口，气流在通气口之间通过； 所述传感单元包括:至少一层固定层和自由层，所述自由层的一侧表面镀有电极，所述自由层具有固定部和摩擦部；所述至少一层固定层固设在所述屏蔽壳上；所述自由层的固定部与所述屏蔽壳或所述至少一层固定层固定连接，所述自由层没镀电极的表面通过摩擦部与所述固定层摩擦；所述绝缘层设置在能够与所述自由层镀有电极的表面接触的所述屏蔽壳的部分内侧表面； 其中，所述自由层的电极和/或所述屏蔽壳为所述气动传感器的信号输出端。
【专利摘要】本实用新型公开了一种气动传感器，包括：屏蔽壳、在屏蔽壳的部分或全部内侧表面设置的绝缘层、及至少一个传感单元；屏蔽壳上开设有至少两个通气口，气流在通气口之间通过；传感单元包括：至少一层固定层和一层自由层；至少一层固定层固设在屏蔽壳上；自由层具有固定部和摩擦部；自由层的固定部与至少一层固定层或屏蔽壳固定连接；自由层通过摩擦部与至少一层固定层和/或屏蔽壳摩擦；其中，至少一层固定层和/或屏蔽壳为气动传感器的信号输出端。该气动传感器制作成本低、输出信号大，对外接信号处理电路要求低，并且减少了外界振动对气动传感器的干扰。
【IPC分类】G01D5-42
【公开号】CN204514336
【申请号】CN201520087154
【发明人】孙利佳, 林同福, 赵豪, 徐传毅
【申请人】纳米新能源（唐山）有限责任公司
【公开日】2015年7月29日
【申请日】2015年2月6日