真空吸附平台的气路控制系统的制作方法
【专利摘要】一种真空吸附平台的气路控制系统，包括真空吸附工作台、第一分气座、直流阀、第一旋涡气泵、第二分气座、调压过滤器、烟气净化罩、第二旋涡气泵及电磁阀，真空吸附工作台、第一分气座、直流阀、第一旋涡气泵、第二分气座、调压过滤器、烟气净化罩及第二旋涡气泵通过若干气管依次串联连接；电磁阀的两端分别连接于第一分气座和调压过滤器上；加工时，真空吸附工作台处于负压状态；完成材料加工后，第一旋涡气泵所吹出的气体自电磁阀进入真空吸附工作台。防止蚀刻机架加工完成后，受负压影响，难于取料的现象发生。
【专利说明】真空吸附平台的气路控制系统
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种气路控制系统，具体涉及一种真空吸附平台的气路控制系统。
【背景技术】
[0002]材料进行切割、蚀刻或其它形式的处理时，防止材料抖动或位置发生偏移，形响加工质量，常需要先将材料进行固定，再作加工处理。
[0003]现有技术中，材料作加工处理时，常采用真空吸附平台对轻薄的片状材料固定，真空吸附平台的气路控制通常利用真空发生器或者真空泵直接产生负压对平台上的材料进行吸平及吸附，也有采用旋涡气泵往外抽气形成负压吸附。当用户需要放料时，平台处于自然状态，不会对材料产生吸附力，待用户放置好材料后，旋涡气泵开始抽气，真空吸附平台腔体产生负压将材料吸紧。
[0004]然而，上述的真空吸附平台的气路控制系统中，当材料加工完成后进行收料时，此时由于真空未被破坏，易造成取料困难的现象发生。
实用新型内容
[0005]基于此，有必要针对现有技术中的不足，提供一种真空吸附平台的气路控制系统。
[0006]本实用新型是通过以下方式实现的:一种真空吸附平台的气路控制系统，包括真空吸附工作台、第一分气座、直流阀、第一旋涡气泵、第二分气座、调压过滤器、烟气净化罩、第二旋涡气泵及电磁阀，所述真空吸附工作台、第一分气座、直流阀、第一旋涡气泵、第二分气座、调压过滤器、烟气净化罩及第二旋涡气泵通过若干气管依次串联连接；所述电磁阀的两端分别连接于第一分气座和调压过滤器上；加工时，直流阀断电连通、所述电磁阀通电断气、第一旋涡气泵、第二旋涡气泵均工作抽气；所述第一旋涡气泵通过第一分气座对真空吸附工作台进行抽气，使真空吸附工作台处于负压状态，第一旋涡气泵抽出的气体流经调压过滤器及烟气净化罩后被第二旋涡气泵抽出；完成材料加工后，直流阀通电断开、所述电磁阀断电通气、第一旋涡气泵工作抽气、第二旋涡气泵停止工作，第一旋涡气泵所吹出的气体自电磁阀进入真空吸附工作台。
[0007]进一步地，所述真空吸附工作台设有四个气口，所述第一分气座分四路气管与真空吸附工作台的四个气口对应连接。
[0008]进一步地，还包括一压力感测器，所述压力感测器通过一 Y型快插三通插头与第一分气座和真空吸附工作台连接的四路气管中的一路气管连接。
[0009]进一步地，所述电磁阀一端通过一 Y型快插三通插头连接于第一分气座和真空吸附工作台之间的一路气管，该电磁阀另一端通过一 Y型快插三通插头与连接调压过滤器及烟气净化罩的气管连接
[0010]进一步地，所述烟气净化罩内还设有离子风棒，所述烟气净化罩采用Y型快插三通插头与调压过滤器连接，烟气净化罩通过采用Y型快插三通插头进行上下端两路输入。[0011]进一步地，所述气管为I3U管。
[0012]综上所述，本实用新型真空吸附平台的气路控制系统通过改变直流阀和电磁阀的状态，加工时，第一旋涡气泵对真空吸附工作台进行抽气，形成负压，从而使待加工材料牢固地吸附在使真空吸附工作平台上。完成材料加工后，第一旋涡气泵所吹出的气体自电磁阀进入真空吸附工作平台，破坏真空吸附台的负压状态，轻易取出加工材质，结构简单、实用，防止蚀刻机架加工完成后，受负压影响，难于取料的现象发生。
【专利附图】
【附图说明】
[0013]图1为本实用新型真空吸附平台的气路控制系统的示意图。
【具体实施方式】
[0014]为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
[0015]如图1所示，本实施例提供一种真空吸附平台的气路控制系统，用于蚀刻机对薄片状材料加工时，对该薄片状材料进行吸附固定。所述真空吸附平台的气路控制系统包括真空吸附工作台10、第一分气座20、直流阀30、第一旋涡气泵40、第二分气座50、调压过滤器60、烟气净化罩70、第二旋涡气泵80、电磁阀90及压力传感器100。所述真空吸附工作台10、第一分气座20、直流阀30、第一旋涡气泵40、第二分气座50、调压过滤器60、烟气净化罩70及第二旋涡气泵80通过气管110依次串联连接，所述电磁阀90的两端分别连接于第一分气座20和调压过滤器60的输出端上。
[0016]所述真空吸附工作台10设有四个气口 11，所述第一分气座20分四路气管110与真空吸附工作台10的四个气口 11对应连接。所述压力传感器100通过一 Y型快插三通插头120与第一分气座20和真空吸附工作台10连接的一路气管110连接。所述电磁阀90 —端通过一 Y型快插三通插头130连接于第一分气座20和真空吸附工作台10之间的一路气管110，该电磁阀90另一端通过一 Y型快插三通插头140与连接调压过滤器60及烟气净化罩70的气管110连接；较佳地，所述烟气净化罩70内还设有离子风棒71，所述烟气净化罩70的输入端采用Y型快插三通插头150与调压过滤器60连接，烟气净化罩70通过采用Y型快插三通插头150进行上下端两路输入，增强排烟效果。本实用新型中，所述气管110为PU管(Polyurethane Tubing,聚氨基甲酸酯管),所述真空吸附工作台10、第一分气座20、电磁阀90、烟气净化罩70装设于蚀刻机内部，所述直流阀30、第一旋涡气泵40、第二分气座50、调压过滤器60、第二旋涡气泵80及压力传感器100装设于蚀刻机外部。
[0017]激光蚀刻机对材料进行加工时，本实用新型真空吸附平台的气路控制系统开始工作。此时，直流阀30断电连通，电磁阀90通电断开，第一旋涡气泵40、第二旋涡气泵80工作。所述第一旋涡气泵40工作时，通过直流阀30向第一分气座20吸气并对第二分气座50吹气；所述第二旋涡气泵80工作时向外吹气并对烟气净化罩70吸气；断电后的直流阀30内部活塞打开，使第一旋涡气泵40与第一分气座20处于连通状态；通电后的电磁阀90处于关闭状态，所述第一旋涡气泵40通过第一分气座20对真空吸附工作台10进行抽气，使真空吸附工作台10处于负压状态，从而使待加工材料牢固地吸附在使真空吸附工作台10上。第一旋涡气泵40所抽的气体在第二旋涡气泵80的作用下，经过调压过滤器60烟气净化罩70，由调压过滤器60进行调压和初步过滤并排到烟气净化罩70，再由烟气净化罩70对该气体进一步进行除尘净化处理，最后由从第二旋涡气泵80排出到蚀刻机外，压力传感器100检测真空吸附工作台10的气压值，并通过外部显示装置显示，使工作人员了解真空吸附工作平台的压力值。
[0018]完成材料加工后，此时，直流阀30通电断开，电磁阀90断电连通，第一旋涡气泵40工作、第二旋涡气泵80停止工作。所述第一旋涡气泵40工作只对第二分气座50吹气；通电后的直流阀30内部活塞处于关闭状态，第二旋涡气泵80处于闭合状态，即气体无法从第二旋涡气泵80流出。断电后的电磁阀90处于打开状态，第一旋涡气泵40所吹出的气体经过第二分气座50吹气后自电磁阀90进入真空吸附工作台10，破坏真空吸附工作台10的负压状态，并且离子风棒71产生的带有电荷的气团，去除材料静电。
[0019]综上所述，本实用新型真空吸附平台的气路控制系统通过改变直流阀30和电磁阀90的状态，加工时，第一旋涡气泵40对真空吸附工作平台进行抽气，形成负压，从而使待加工材料牢固地吸附在使真空吸附工作台10上。完成材料加工后，第一旋涡气泵40所吹出的气体自电磁阀90进入真空吸附工作台10，破坏真空吸附工作台10的负压状态，轻易取出加工材质，结构简单、实用，防止蚀刻机架加工完成后，受负压影响，造成取料的现象发生。
[0020]以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
【权利要求】
1.一种真空吸附平台的气路控制系统，其特征在于:包括真空吸附工作台、第一分气座、直流阀、第一旋涡气泵、第二分气座、调压过滤器、烟气净化罩、第二旋涡气泵及电磁阀，所述真空吸附工作台、第一分气座、直流阀、第一旋涡气泵、第二分气座、调压过滤器、烟气净化罩及第二旋涡气泵通过若干气管依次串联连接；所述电磁阀的两端分别连接于第一分气座和调压过滤器上；加工时，直流阀断电连通、所述电磁阀通电断气、第一旋涡气泵、第二旋涡气泵均工作抽气；所述第一旋涡气泵通过第一分气座对真空吸附工作台进行抽气，使真空吸附工作台处于负压状态，第一旋涡气泵抽出的气体流经调压过滤器及烟气净化罩后被第二旋涡气泵抽出；完成材料加工后，直流阀通电断开、所述电磁阀断电通气、第一旋涡气泵工作抽气、第二旋涡气泵停止工作，第一旋涡气泵所吹出的气体自电磁阀进入真空吸附工作台。
2.根据权利要求1所述的真空吸附平台的气路控制系统，其特征在于:所述真空吸附工作台设有四个气口，所述第一分气座分四路气管与真空吸附工作台的四个气口对应连接。
3.根据权利要求2所述的真空吸附平台的气路控制系统，其特征在于:还包括一压力感测器，所述压力感测器通过一Y型快插三通插头与第一分气座和真空吸附工作台连接的四路气管中的一路气管连接。
4.根据权利要求2所述的真空吸附平台的气路控制系统，其特征在于:所述电磁阀一端通过一Y型快插三通插头连接于第一分气座和真空吸附工作台之间的一路气管，该电磁阀另一端通过一 Y型快插三通插头与连接调压过滤器及烟气净化罩的气管连接。
5.根据权利要求2所述的真空吸附平台的气路控制系统，其特征在于:所述烟气净化罩内还设有离子风棒，所述烟气净化罩采用Y型快插三通插头与调压过滤器连接，烟气净化罩通过采用Y型快插三通插头进行上下端两路输入。
6.根据权利要求1所述的真空吸附平台的气路控制系统，其特征在于:所述气管为PU管。
【文档编号】G05B19/44GK203414815SQ201320527743
【公开日】2014年1月29日 申请日期:2013年8月27日 优先权日:2013年8月27日
【发明者】卓劲松, 王军, 张进, 黄锦雄 申请人:广东大族粤铭激光科技股份有限公司