技术总结
本发明涉及一种半导体生产线闭环调度控制方法，包括：调度模型库获取步骤：根据生产线历史数据离线建立调度模型库；共生仿真系统建立步骤；调度方案生成步骤，根据调度目标从调度模型库中选取相应的调度模型，生成相应的调度方案，并将该调度方案同时应用于半导体实际生产线和仿真模型，运行共生仿真系统；在线闭环调度步骤，以设定采样周期对半导体实际生产线和仿真模型的生产性能分别进行采样，根据所采样的生产性能判断当前采样时刻是否为动态调度时刻，若是，则执行调度方案生成步骤，若否，则继续对下一采样时刻进行判定。与现有技术相比，本发明具有有效减少调度决策时间、确保生产性能稳定和提高调度有效性等优点。
技术研发人员：马玉敏;乔非;吴启迪;吴文靖
受保护的技术使用者：同济大学
文档号码：201610520300
技术研发日：2016.07.05
技术公布日：2017.02.22