脱胶清洗自动化设备的制作方法

本实用新型涉及硅片脱胶清洗设备技术领域，特别是涉及一种脱胶清洗自动化设备。

背景技术：

目前，在硅片行业，制造工厂中的脱胶、清洗工序是搬运多，且自动化程度较低的一段环节。大多数工厂采用人工拉运硅片周转车、人工搬运硅片、人工搬运片盒的模式运行，使硅片周转小车需要推送至不同的位置。具体为：脱胶人员需要将满载的周转小车送至自动插片机，再将空周转小车拉回；插片工需要将硅片装进自动插片机的工装，再将工装放进自动插片机内；清洗回流线运回的空铁篮框需要员工将其搬运进清洗机里；自动插片机出来的满片盒，需要操作人员将其先翻转90°，再将其搬运放在清洗机的铁篮框中。如此往复操作实现硅片的清洗操作，但是，硅片清洗操作的每道工序操作人员均需要移动，存在搬运距离远、作业强度高、效率低下的问题。

技术实现要素：

基于此，有必要针对目前硅片脱胶后清洗的搬运距离远、搬运动作多等导致的操作人员体力消耗大的问题，提供一种能够自动化作业、降低操作人员作业强度的脱胶清洗自动化设备。

上述目的通过下述技术方案实现：

一种脱胶清洗自动化设备，包括：

用于输送送料工装的输送装置；

自动引导装置，与所述输送装置对接，所述输送装置将所述送料工装输送到所述自动引导装置上；

用于将所述送料工装中的硅片分装到片盒的插片机，所述自动引导装置与所述插片机的上料端对接，所述自动引导装置将所述送料工装输送至所述插片机的上料端，并输送至所述插片机中；及

清洗机，所述清洗机的输入端与所述插片机的下料端对接，所述插片机送出的所述片盒经过所述清洗机的输入端输送至所述清洗机中。

在其中一个实施例中，所述输送装置包括两条运载方向相反的第一输送流水线，两条所述第一输送流水线并排设置；

其中一条所述第一输送流水线用于输送装有脱胶后硅片的所述送料工装，另一所述第一输送流水线用于输送从所述自动引导装置返回的所述送料工装。

在其中一个实施例中，所述自动引导装置包括自动引导车以及设置于所述自动引导车上的两条运载方向相反的第二输送流水线，两条所述第二输送流水线并排设置，且两条所述第二输送流水线的一端分别与两条所述第一输送流水线对接，两条所述第二输送流水线的另一端与所述插片机的上料端对接；

其中一条所述第二输送流水线用于输送装有脱胶后硅片的所述送料工装，另一所述第二输送流水线用于输送从所述插片机返回的所述送料工装。

在其中一个实施例中，所述上料端上设置有两条运载方向相反的第三输送流水线，两条所述第三输送流水线并排设置，且两条所述第三输送流水线的一端分别与两条所述第二输送流水线对接，两条所述第三输送流水线的另一端伸入所述插片机内；

其中一条所述第三输送流水线用于输送装有脱胶后硅片的所述送料工装，另一所述第三输送流水线用于输送所述插片机取出硅片的所述送料工装。

在其中一个实施例中，所述输送装置上设置有第一感应器，所述自动引导装置与所述输送装置相对接的一端设置有第一对接感应器，所述第一感应器与所述第一对接感应器对接感应启动所述第二输送流水线。

在其中一个实施例中，所述上料端上设置有第二感应器，所述自动引导装置与所述插片机相对接的一端设置有第二对接感应器，所述第二感应器与所述第二对接感应器对接感应启动所述第三输送流水线。

在其中一个实施例中，所述脱胶清洗自动化设备还包括移栽装置，设置于所述插片机与所述清洗机之间；

所述移栽装置能够将所述插片机送出的多个所述片盒装载到所述托盘上。

在其中一个实施例中，所述移栽装置包括第一机械手和第二机械手，所述第一机械手将所述托盘移动至所述插片机的下料端，所述第二机械手将所述片盒旋转预设角度后放置于所述托盘上。

在其中一个实施例中，所述脱胶清洗自动化设备还包括升降装置，设置于所述移栽装置与所述清洗机之间；

所述升降装置用于将装置所述片盒的所述托盘输送至所述清洗机的输入端。

在其中一个实施例中，所述脱胶清洗自动化设备还包括控制装置，所述控制装置分别与所述输送装置、所述自动引导装置、所述插片机及所述清洗机电连接；

所述控制装置分别控制所述输送装置、所述自动引导装置、所述插片机及所述清洗机运行。

采用上述技术方案后，本实用新型的有益效果为：

本实用新型的脱胶清洗自动化设备，脱胶后的硅片装载于送料工装中并放置于输送装置上，并通过输送装置输送到自动引导装置上，自动引导装置将装载硅片的送料工装输送到插片机的上料端，进而输送到插片机中，插片机将送料工装中的硅片自动分料到片盒中，并从下料端送至清洗机中；并且，插片机分完送料工装中的硅片后，送料工装从插片机的上料端送出并输送至自动引导装置，自动引导装置再将送料工装输送至输送装置上。本实用新型的脱胶清洗自动化设备通过输送装置、自动引导装置、插片机及清洗机实现脱胶后硅片清洗的自动化输送，有效的解决目前硅片脱胶后清洗的搬运距离远、搬运动作多等导致的操作人员体力消耗大的问题，大大降低了操作人员的作业强度，提高生产效率。

附图说明

图1为本实用新型一实施例的脱胶清洗自动化设备的示意图；

图2为图1所示的A处的局部放大图；

图3为图1所示的B处的局部放大图；

图4为图1所示的C处的局部放大图；

其中：

100-脱胶清洗自动化设备；

110-输送装置；

111-第一正向输送流水线；

112-第二反向输送流水线；

120-自动引导装置；

121-自动引导车；

122-第二正向输送流水线；

123-第二反向输送流水线；

130-插片机；

131-下料端；

140-清洗机；

141-输入端；

142-托盘；

150-移栽装置；

160-升降装置；

200-取料位置。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下通过实施例，并结合附图，对本实用新型的脱胶清洗自动化设备进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。

参见图1和图2，本实用新型提供了一种脱胶清洗自动化设备100，该脱胶清洗自动化设备100用于对脱胶后的硅片进行清洗，以保证硅片表面的洁净度，提升硅片的合格率。采用本实用新型的脱胶清洗自动化设备100对硅片清洗，能够实现硅片的自动化输送，大大降低了操作人员的劳动强度，提高生产效率。

在本实用新型的一实施例中，脱胶清洗自动化设备100包括输送装置110、自动引导装置120、插片机130及清洗机140。输送装置110与自动引导装置120 对接，自动引导装置120与插片机130的上料端对接，插片机130的下料端131 与清洗机140的输入端141对接。输送装置110是用来输送送料工装的。如图1 所示，脱胶后的硅片存放在取料位置200处，操作人员在取料位置200处将脱胶后的硅片装载于送料工装中。输送装置110能够将装载有硅片的送料工装输送到自动引导装置120上，也可将自动引导装置120上的空的送料工装送回输送装置110，输送装置110再将空的送回取料位置200，操作人员对送料工装装载硅片，并继续通过输送装置110输送到自动引导装置120上，如此往复循环操作。自动引导装置120是用来将装载好硅片的送料工装输送到插片机130处，再将插片机130分料完成后空的送料工装送回输送装置110。自动引导装置120 与输送装置110对接后，输送装置110上的送料工装被输送到自动引导装置120 上，随后，自动引导装置120运行到插片机130处，自动引导装置120与插片机130的上料端对接，自动引导装置120能够将其上的送料工装输送到插片机 130的上料端；同时，插片机130分料后产生空的送料工装被送回自动引导装置 120上，随后，自动引导装置120运行到输送装置110处，自动引导装置120与输送装置110对接，自动引导装置120将其上空的送料工装送回输送装置110，同时，输送装置110将其上装载硅片的送料工装输送到自动引导装置120上。较佳地，自动引导装置120为AGV(Automated Guided Vehicle，自动导引运输车)小车。

插片机130用于将送料工装中的硅片分装到片盒，插片机130能够解决了硅片在清洗前手工分装的问题，实现了自动分料、自动上料等动作，使用插片机130对硅片分装到片盒后，可以实现硅片插片的自动化操作，无需手工在逐片操作，降低操作人员的劳动强度，提高生产效率。插片机130具有上料端和下料端131，上料端与自动引导装置120对接，下料端131与清洗机140的输入端141对接。自动引导装置120将装载硅片的送料工装输送到插片机130的上料端后，上料端能够将装载硅片的送料工装自动输送到插片机130中，插片机 130对送料工装中的硅片进行分装，分装到各个片盒中，并从下料端131送出；而空的送料工装则通过上料端送回自动引导装置120，进而送回输送装置110处进行重新装在硅片。清洗机140是用来对硅片进行清洗的，以保证硅片的清洁度。清洗机140的输入端141与插片机130的下料端131对接，插片机130的下料端131送出的片盒经过清洗机140的输入端141输送至清洗机140中。

脱胶后的硅片装载于送料工装中并放置于输送装置110上，并通过输送装置110输送到自动引导装置120上，自动引导装置120将装载硅片的送料工装输送到插片机130的上料端，进而输送到插片机130中，插片机130将送料工装中的硅片自动分料到片盒中，并从下料端131送至清洗机140中；并且，插片机130分完送料工装中的硅片后，送料工装从插片机130的上料端送出并输送至自动引导装置120，自动引导装置120再将送料工装输送至输送装置110上。具体如图1，脱胶后的硅片存放在取料位置200，且输送装置110位于取料位置200附近，操作人员将取料位置200处的硅片装载在输送装置110上空的送料工装中，送料工装装载满硅片后，自动引导装置120与输送装置110对接，装载硅片的送料工装通过输送装置110输送至自动引导装置120上，随后自动引导装置120运行至插片机130处并与上料端对接，自动引导装置120将其上装载硅片的送料工装输送到上料端，进而上料端将送料工装输送至插片机130中进行分装；分装完成后，片盒通过插片机130的下料端131输送至清洗机140中进行清洗，同时，插片机130分装后的空的送料工装由插片机130的上料端送回置自动引导装置120上，随后自动引导装置120在与输送装置110对接，自动引导装置120将其上空的送料工装送回输送装置110，同时，输送装置110将其上装载满硅片的送料工装在输送至自动引导装置120上。本实用新型的脱胶清洗自动化设备100通过输送装置110、自动引导装置120、插片机130及清洗机140实现脱胶后硅片清洗的自动化输送，有效的解决目前硅片脱胶后清洗的搬运距离远、搬运动作多等导致的操作人员体力消耗大的问题，大大降低了操作人员的作业强度，提高生产效率。

作为一种可实施方式，输送装置110包括两条运载方向相反的第一输送流水线，两条第一输送流水线并排设置。其中一条第一输送流水线用于输送装有脱胶后硅片的送料工装，另一第一输送流水线用于输送从自动引导装置120返回的送料工装。如图1和图3所示，两条运载方向相反的第一输送流水线分别为第一正向输送流水线111和第一反向输送流水112，第一正向输送流水线111 和第一反向输送流水112平行设置，这样能够节省空间，并且，第一正向输送流水线111用于将装载满硅片的送料工装输送至自动引导装置120上，第一反向输送流水112用于将空的送料工装从自动引导装置120上送回装载硅片位置处。

,进一步地，自动引导装置120包括自动引导车121以及设置于自动引导车 121上的两条运载方向相反的第二输送流水线，两条第二输送流水线并排设置，且两条第二输送流水线的一端分别与两条第一输送流水线对接，两条第二输送流水线的另一端与插片机130的上料端对接。其中一条第二输送流水线用于输送装有脱胶后硅片的送料工装，另一第二输送流水线用于输送从插片机130返回的送料工装。如图1和图4所示，两条运载方向相反的第二输送流水线分别为第二正向输送流水线122和第二反向输送流水线123，第二正向输送流水线 122和第二反向输送流水线123平行设置，这样能够节省空间。并且，第二正向输送流水线122与第一正向输送流水线111对接，以使装载满硅片的送料工装能够输送至自动引导装置120上，第二反向输送流水线123与第一反向输送流水112对接，以使空的送料工装能够从自动引导装置120送回到输送装置110 上。较佳地，自动引导装置120为AGV小车，自动引导车121为AGV小车的车体，第二正向输送流水线122和第二反向输送流水线123为背负于AGV小车的车体的两条输送线。

再进一步地，上料端上设置有两条运载方向相反的第三输送流水线，两条第三输送流水线并排设置，且两条第三输送流水线的一端分别与两条第二输送流水线对接，两条第三输送流水线的另一端伸入插片机130内。其中一条第三输送流水线用于输送装有脱胶后硅片的送料工装，另一第三输送流水线用于输送插片机130取出硅片的送料工装。如图1所示，两条运载方向相反的第三输送流水线分别为第三正向输送流水线和第三反向输送流水线，第三正向输送流水线和第三反向输送流水线平行设置，这样能够节省空间。并且，第三正向输送流水线与第二正向输送流水线122对接，以使装载满硅片的送料工装能够从自动引导装置120输送至上料端上，第三反向输送流水线与第二反向输送流水线123对接，以使插片机130分装硅片后产生的空的送料工装能够从插片机130 的上料端送回到自动引导装置120上。也就是说，本实用新型一实施例的脱胶自动化清洗设备通过三对正反两个方向的输送流水线实现的自动上料，降低操作人员的操作强度，提高生产效率。较佳地，输送流水线为滚筒式流水线。

同时，脱胶清洗自动化设备100还包括控制装置，控制装置分别与输送装置110、自动引导装置120、插片机130及清洗机140电连接。控制装置分别控制输送装置110、自动引导装置120、插片机130及清洗机140运行。控制装置是用来实现脱胶清洗自动化设备100的自动控制的。较佳地，控制装置包括控制器及控制电机，以便于驱动第一输送流水线、第二输送流水线及第三输送流水线运动，以及驱动自动引导装置120运动、插片机130及清洗机140工作。

作为一种可实施方式，输送装置110上设置有第一感应器，自动引导装置 120与输送装置110相对接的一端设置有第一对接感应器，第一感应器与第一对接感应器对接感应启动第二输送流水线。自动引导装置120与输送装置110对接时，第一对接感应器与第一感应器的信号相匹配，能够驱动自动引导装置120 上的第二输送流水线及输送装置110上的第一输送流水线运动，实现送料工装的输送。进一步地，上料端上设置有第二感应器，自动引导装置120与插片机 130相对接的一端设置有第二对接感应器，第二感应器与第二对接感应器对接感应启动第三输送流水线。自动引导装置120与插片机130对接时，第二对接感应器与第二感应器的信号相匹配，能够驱动自动引导装置120上的第二输送流水线及插片机130上的第三输送流水线运动，实现送料工装的输送。

如图2所示，作为一种可实施方式，脱胶清洗自动化设备100还包括移栽装置150，设置于插片机130与清洗机140之间。移栽装置150能够将插片机 130送出的多个片盒装载到托盘142上。移栽装置150是用来将插片机130送出的片盒放置到清洗机140的托盘142上的，实现片盒与托盘142的自动装篮，方便快捷。进一步地，移栽装置150包括第一机械手和第二机械手，第一机械手将托盘142移动至插片机130的下料端131，第二机械手将片盒旋转预设角度后放置于托盘142上。第一机械手用来抓取清洗机140送出的空的托盘142，并放置在指定位置；第二机械手将插片机130送出的片盒整齐摆放到托盘142上，以便于清洗机140清洗托盘142上的硅片。较佳地，托盘142上成行成列设置多个片盒，优选九个，且呈三行三列设置。同时，第二机械手还能对插片机130 送出的片盒翻转预设角度，以使片盒中的硅片正对清洗机140中的清洗位置，以保证硅片能够清洗干净。较佳地，第二机械手将片盒旋转90°。

再进一步地，脱胶清洗自动化设备100还包括升降装置160，设置于移栽装置与清洗机140之间。升降装置160用于将装载片盒的托盘142输送至清洗机 140的输入端141。移栽装置150将片盒装载在托盘142上的位置处于较低的位置，而清洗机140的输入端141是一个较高的位置，升降装置160将装载片盒的托盘142输送到清洗机140的输入端141，进而运载到清洗机140的内部。

操作人员将脱胶后的硅片放入到送料工装中，并放在输送装置110的第一正向输送流水线111上，并输送到输送装置110的另一端，此时，自动引导装置 120的第二输送流水线与输送装置110的第一输送流水线相对接，输送装置110 将其上装载硅片的送料工装输送到自动引导装置120的第二正向输送流水线122 上，并输送到自动引导装置120的另一端；随后自动引导装置120与插片机130 对接，插片机130的第三输送流水线与自动引导装置120的第二输送流水线相对接，自动引导装置120将其上装载硅片的送料工装输送到插片机130的第三正向输送流水线上，并输送到插片机130中进行分装；从插片机130的下料端131送出的片盒通过移栽装置150装载到清洗机140的托盘142上，并通过升降装载将装载片盒的托盘142运载到清洗机140的输入端141，进而进入清洗机 140中进行清洗；同时，插片机130分装后的空的送料工装从插片机130的第三反向输送流水线输送到自动引导装置120的第二反向输送流水线123上，自动引导装置120脱离插片机130再与送料装置对接，自动引导装置120将其上的空的送料工装输送到输送装置110的第一反向输送流水112上，回到取料位置 200，操作人员再将硅片装到空的送料工装中，如此往复循环，实现硅片的自动输送，大大降低了操作人员的作业强度，提高生产效率。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。