一种高效气体控制系统的制作方法

文档序号:16278060发布日期:2018-12-14 22:43阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种高效气体控制系统,其特征在于:包括导气系统、混合系统、检测系统、后处理系统和控制系统,所述的导气系统包括进气机构和出气机构,且进气机构和出气机构均与混合系统相连接,所述的检测系统包括与进气机构相连接进气检测机构和与出气机构相连接出气检测机构,所述的后处理系统与出气机构相连接。

2.根据权利要求1所述的一种高效气体控制系统,其特征在于:所述的混合系统包括箱体和箱体内交替设置的缓冲板,其中缓冲板和箱体之间形成气体流道,且气体流道的两端分别与进气机构和出气机构相连接。

3.根据权利要求1所述的一种高效气体控制系统,其特征在于:所述的后处理系统包括废气箱、气体分离装置和气体存储箱,其中废气箱通过废气管路与出气机构相连接,且气体存储箱的数量与进气机构的数量一致。

4.根据权利要求1所述的一种高效气体控制系统,其特征在于:所述的进气机构为数个,且进气机构包括进气管路、洗气机构和进气电控阀门。

5.根据权利要求1所述的一种高效气体控制系统,其特征在于:所述的出气机构包括出气管路和电控三通阀,且电控三通阀设于废气管路与出气管路之间。

6.根据权利要求1所述的一种高效气体控制系统,其特征在于:所述的进气检测机构与进气机构的数量一致,且进气检测机构为进气流量计。

7.根据权利要求1所述的一种高效气体控制系统,其特征在于:所述的出气检测机构包括出气分析装置和出气流量计,其中出气分析装置和出气流量计分别设于电控三通阀的两侧,且出气分析装置设于箱体和电控三通阀之间。

8.根据权利要求7所述的一种高效气体控制系统,其特征在于:所述的出气分析装置为气质联用仪或红外多组分气体分析仪。

9.根据权利要求1所述的一种高效气体控制系统,其特征在于:所述的控制系统包括控制面板、数据传输机构和中央数据处理器,且中央数据处理器通过数据传输机构分别与气体分离装置、洗气机构、进气电控阀门、电控三通阀、进气流量计、出气分析装置和出气流量计相连接。

当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1