专利名称：一种统计焦平面铟柱阵列高度数据的处理方法
技术领域：
本发明涉及红外焦平面阵列与读出电路的倒焊互连领域。实现了焦平面铟柱阵列高度统计的自动化，解决了人工统计存在的数据不完整性问题。
背景技术：
红外焦平面探测器日益向着大面阵方向发展，这使得作为大面阵焦平面器件关键技术的倒焊互连的难度大大增加，而铟柱的质量最终决定了倒焊互连能否高质量地完成。目前铟柱高度的检测一般采用显微照片观察及随机取样计算平均值的方法。此两类方法有一定的局限性。由于铟柱表面并不是理想的平面，显微照片观察很难获得铟柱的具体数值及其分布，随机取样测量不能获得完整的铟柱高度数据分布，且容易引入人工定标的误差。本发明独创性地对激光共聚焦获得的焦平面表面形貌数据进行处理分析，具体指计算红外焦平面上铟柱的高度分布。本发明可以获得并获得了大量铟柱的真实高度值及其统计分布，对红外焦平面器件的倒焊互连工艺的发展有很大作用。
发明内容
1，发明目的统计焦平面器件表面铟柱的高度及其分布。2，技术方案本发明的具体步骤如下步骤一利用激光共聚焦显微镜对焦平面表面进行扫描，获取并保存焦平面表面高度形貌数据矩阵Z=Hzij],其中Zij指坐标位于x=i, y = j处的高度数据，i，j的取值范围是[1，η]，η为采样密度，取值512或1024;步骤二 生成高度数据矩阵Z对应的横坐标矩阵X = [Xij],纵坐标矩阵Y = Iiyij],其中，矩阵元素满足xu = j，Yij=I ；步骤三求出高度数据矩阵Z中元素的最大值Zmax=max (Zij),最小值zmin=min (Zij),以指定的间隔Δ z生成向量S= [sh],满足Sh=Zmin+(h-1) · Δζ,其中间隔Δ ζ设为0.1, h取整数 1,2......1 (Zniax-Zniin)MzI ；步骤四求解等高线坐标矩阵CshCsh=contour (Z, [sh Sh])(I)式中，contour O为Matlab7. O中的函数,等高线坐标矩阵Csh具体表达式为
权利要求
1.一种统计焦平面铟柱阵列高度数据的处理方法，其特征在于包括以下步骤 步骤一利用激光共聚焦显微镜对焦平面表面进行扫描，获取并保存焦平面表面高度形貌数据矩阵Z=[Zi山其中Zu指坐标位于x=i，y = j处的高度数据，i，j的取值范围是[I, η]，η为采样密度，取值512或1024 ； 步骤二 生成高度数据矩阵Z对应的横坐标矩阵X= [xu]，纵坐标矩阵Y= [yi山其中，矩阵元素满足Xij = j，Yij=I ； 步骤三求出高度数据矩阵Z中元素的最大值Zmax=Inax(Zij),最小值zmin=min (Zij),以指定的间隔Δ z生成向量S= [sh],满足Sh=Zmin+(h-Ι) · Δζ,其中间隔Δ ζ设为0.1, h取整数 I，2......1 (Zniax-Zniin)Mz ; 步骤四求解等高线坐标矩阵Csh Csh=contour (Z, [sh sh])(I) 式中，contour O为Matlab7. O中的函数,等高线坐标矩阵Csh具体表达式为
全文摘要
本发明公开了一种统计焦平面铟柱阵列高度数据的处理方法。本发明根据焦平面器件铟柱的形状特点对由激光共聚焦显微镜获取的焦平面表面形貌数据进行数据处理，最终获得整个器件的铟柱高度数值及其统计分布。本发明包括1，获取焦平面器件表面形貌数据矩阵，并生成对应的坐标矩阵；2，通过计算确定铟柱高度统计分析的基本高度；3，利用基本高度分离单个铟柱的高度数据矩阵；4，计算单个铟柱的高度；5，统计所有铟柱的高度。本发明的优点是1，利用本发明可以实现铟柱高度统计的自动化，为焦平面器件的倒焊互连工艺提供依据；2，本发明提供的数据处理方法，其统计结果客观准确，排除人工选点的数据不完整性。
文档编号G06F19/00GK103049647SQ20121050689
公开日2013年4月17日 申请日期2012年11月30日 优先权日2012年11月30日
发明者华桦, 周松敏, 胡晓宁 申请人:中国科学院上海技术物理研究所