触摸屏集成型显示装置及其制造方法与流程

相关申请的交叉引用

本申请要求享有于2015年12月31日提交的韩国专利申请no.10-2015-0191838的优先权，为了所有目的通过参考将该专利申请结合在此，如同在此完全阐述一样。

本发明涉及一种触摸屏集成型显示装置及其制造方法。

背景技术：

随着信息导向社会的发展，对显示图像的显示装置的各种需求逐渐增加。近来，已使用各种显示装置，比如液晶显示(lcd)装置、等离子体显示面板(pdp)装置或有机发光显示(oled)装置。

这些显示装置取消了诸如按键、键盘和鼠标之类的传统输入系统，提供了基于触摸的输入方法，基于触摸的输入方法使用户直观且方便地输入信息或指令。

为了提供这种基于触摸的输入系统，需要识别用户的触摸或非触摸并精确地检测触摸坐标。

为此，根据相关技术，采用诸如电阻膜模式、电容模式、电磁感应模式、红外模式和超声波模式之类的各种触摸模式之一来提供触摸感测。

此外，对于触摸屏对显示装置的应用来说，已开发了将触摸传感器安装在显示装置内的技术。特别是，已开发了使用形成在下基板上的公共电极作为触摸电极的内嵌式(in-celltype)显示装置。

然而，在内嵌式显示装置中，需要形成连接至触摸电极的分开的触摸感测线，这需要具有高制造成本和长制造时间的额外工艺。

技术实现要素：

本发明的一个方面提供了一种触摸屏集成型显示装置及制造该触摸屏集成型显示装置的方法，其中薄膜晶体管以z字形设置在数据线的左侧和右侧上的子像素中。因而，能够减少显示面板上设置的数据线的数量。

此外，本发明的另一个方面提供了一种触摸屏集成型显示装置及制造该触摸屏集成型显示装置的方法，其中当形成像素电极时同时形成触摸感测线。因而，能够减少掩模工艺的数量。

根据本发明的一个方面，提供了一种触摸屏集成型显示装置，包括：在第一方向上设置于基板上的多条栅极线；在第二方向上设置于所述基板上的多条数据线；与所述数据线平行且交替地设置于所述基板上的触摸感测线；由所述栅极线、所述数据线和所述触摸感测线限定的多个子像素区域；设置在每个子像素区域中并且连接至所述栅极线的栅极电极；位于所述栅极电极上的有源层；位于所述有源层上的源极电极和漏极电极；位于所述栅极电极与所述有源层之间的栅极绝缘体；位于所述漏极电极和所述栅极绝缘体上的像素电极；和设置在所述栅极绝缘体上并且连接至所述触摸感测线的感测接触部，其中所述感测接触部包括第一感测接触图案和第二感测接触图案，并且所述第二感测接触图案由与所述像素电极相同的材料形成。因而，具有减少显示面板上设置的数据线的数量的效果。

此外，根据本发明的另一个方面，提供了一种制造触摸屏集成型显示装置的方法，所述方法包括：通过第一掩模工艺在基板上形成栅极电极；通过第二掩模工艺，在上面形成有所述栅极电极的基板上形成栅极绝缘体，在所述栅极绝缘体上形成半导体层和源极/漏极金属层，然后形成有源层、源极电极、漏极电极和数据线；通过第三掩模工艺，在上面形成有所述源极电极和所述漏极电极的基板上依次形成透明导电材料层和感测金属层，然后形成像素电极和触摸感测线；通过第四掩模工艺，在上面形成有所述像素电极和所述触摸感测线的基板上形成保护层，然后在感测接触部区域中形成接触孔，所述感测接触部区域与所述触摸感测线形成为一体；以及通过第五掩模工艺，在其中形成有所述接触孔的保护层上形成透明导电材料层，然后形成与所述像素电极交叠的公共电极。因而，具有减少掩模工艺的数量的效果。

在根据本发明的触摸屏集成型显示装置及其制造方法中，薄膜晶体管在子像素中以z字形设置在数据线的左侧和右侧上。因而，具有减少显示面板上设置的数据线的数量的效果。

此外，在根据本发明的触摸屏集成型显示装置及其制造方法中，当形成像素电极时同时形成触摸感测线。因而，具有减少掩模工艺的数量的效果。

附图说明

将从下面结合附图的详细描述更清楚地理解本发明的上述和其他的方面、特征和其他优点，其中：

图1是根据本发明的触摸屏集成型显示装置的构造图；

图2是图解在根据本发明的触摸屏集成型显示装置中，在触摸模式期间产生的电容分量(cself、cpara1和cpara2)的示图；

图3是图解根据本发明的触摸屏集成型显示装置中包括的显示面板的平面图；

图4是图解在根据本发明典型实施方式的触摸屏集成型显示装置是液晶显示装置的情形中显示面板的示例性剖面图；

图5是根据本发明的触摸屏集成型显示装置中包括的显示面板的另一平面图；

图6是图解用于制造根据本发明的触摸屏集成型显示装置的工艺的数量减少的示图；

图7是图解根据本发明的触摸屏集成型显示装置中的子像素的结构的平面图；

图8和图9是沿图7的线i-i’、线ii-ii’和线iii-iii’截取的剖面图；以及

图10a到14b是图解用于制造根据本发明的触摸屏集成型显示装置的工艺的示图。

具体实施方式

将通过下面参照附图描述的示例性实施方式更清楚地理解本发明的优点和特征及其实现方法。然而，本发明不限于下列的示例性实施方式，而是可以以各种不同的形式实施。提供这些示例性实施方式仅是为了使本发明的公开内容完整，并将本发明的范畴充分地提供给本发明所属领域的普通技术人员，本发明将仅由所附权利要求书限定。

为了描述本发明的示例性实施方式而在附图中示出的形状、尺寸、比例、角度、数量等仅仅是示例，本发明不限于此。相似的参考标记在整个说明书中一般表示相似的元件。此外，在下面的描述中，可能省略对公知相关技术的详细描述，以避免不必要地使本发明的主题模糊不清。

诸如在此使用的“包括”、“具有”之类的术语一般旨在允许添加其他部件，除非该术语与“仅”一起使用。

即使没有明确说明，组分也被解释为包括通常的误差范围。

当使用诸如“在……上”、“在……上方”、“在……下方”和“在……之后”之类的术语描述两部分之间的位置关系时，可在这两部分之间设置一个或多个部分，除非这些术语与术语“紧接”或“直接”一起使用。

当使用诸如“在……之后”、“继……之后”、“接下来……”和“在……之前”之类的术语描述两个或更多个事件之间的时间顺序时，两个或更多个事件可以是非连续的，除非这些术语与术语“紧接”或“直接”一起使用。

尽管使用术语“第一”、“第二”等描述各种部件，但这些部件不受这些术语限制。这些术语仅是用于区分一个部件与其他部件。因此，在本发明的技术构思内，下面提到的第一部件可以是第二部件。

所属领域普通技术人员能够充分理解，本发明各示例性实施方式的特征能够彼此部分或整体地结合或组合，并且能够以各种技术方式彼此进行互锁和操作，各示例性实施方式能够彼此独立实施，或者相关联地实施。

下文中，将参照附图详细描述本发明的示例性实施方式。此外，为了附图中的方便描绘，装置的尺寸和厚度可能被放大展示。相同的参考标记在整个说明书中一般表示相同的元件。

图1是根据本发明的触摸屏集成型显示装置的构造图。

参照图1，根据本发明的触摸屏集成型显示装置100是能够提供图像显示功能(显示功能)和触摸感测功能的显示装置。

根据本发明的触摸屏集成型显示装置100例如可以是响应于触摸输入而具有触摸感测功能的诸如tv或监视器之类的中大型装置或者诸如智能电话或平板pc之类的移动装置。

参照图1，根据本发明的触摸屏集成型显示装置100包括显示面板110、数据驱动器120、栅极驱动器130和控制器140，以便提供显示功能。

显示面板110可包括设置在第一方向上(例如，列方向上)的多条数据线dl和设置在第二方向上(例如，行方向上)的多条栅极线gl。

数据驱动器120驱动多条数据线dl。在此，数据驱动器120也可称为“源极驱动器”。

栅极驱动器130驱动多条栅极线gl。在此，栅极驱动器130也可称为“扫描驱动器”。

控制器140控制数据驱动器120和栅极驱动器130。为此，控制器140给数据驱动器120和栅极驱动器130提供各种控制信号。

控制器140根据每帧中实现的时序开始扫描，将从外部输入的图像数据转换为适于被数据驱动器120使用的数据信号格式，输出转换后的图像数据，并且在对应于扫描的适当时间处控制数据的驱动。

控制器140可以是一般显示技术中使用的时序控制器或者包括时序控制器并且执行附加控制功能的控制器。

栅极驱动器130根据控制器140的控制按顺序给多条栅极线提供开(on)电压或关(off)电压扫描信号。

当具体栅极线被栅极驱动器130开启时，数据驱动器120将从控制器140接收的图像数据转换为模拟形式的数据电压并将数据电压提供至多条数据线dl。

在图1中数据驱动器120仅位于显示面板110的一侧(例如，上侧或下侧)，但根据驱动方法、面板的设计方法等，数据驱动器120可位于显示面板110的两侧(例如，上侧和下侧)。

在图1中栅极驱动器130仅位于显示面板110的一侧(例如，左侧或右侧)，但根据驱动方法、面板的设计方法等，栅极驱动器130可位于显示面板110的两侧(例如，左侧和右侧)。

前述控制器140连同诸如垂直同步信号vsync、水平同步信号hsync、输入数据使能(de)信号和时钟信号clk一起从外部(例如主机系统)接收输入图像数据。

根据本发明的触摸屏集成型显示装置100可以是诸如液晶显示装置、有机发光显示装置和等离子体显示装置之类的各种装置中的任意一种。例如，触摸屏集成型显示装置100可以是面内切换(ips)模式液晶显示装置，在ips模式液晶显示装置中液晶分子水平地排列并且在适当位置旋转以显示图像并且ips模式液晶显示装置具有高分辨率、低功耗、宽视角等的优点。更具体地说，触摸屏集成型显示装置100可以是先进高性能ips(ah-ips)模式液晶显示装置。

显示面板110中设置的每个子像素sp可配置成包括诸如晶体管之类的电路元件。

同时，根据本发明的触摸屏集成型显示装置100可包括触摸系统，以便提供触摸感测功能。

参照图1，触摸系统可包括用作触摸传感器的多个触摸电极te、以及配置成通过驱动多个触摸电极te来感测触摸的触摸电路150。

触摸电路150给多个触摸电极te按顺序提供触摸驱动信号，以按顺序驱动多个触摸电极te。

然后，触摸电路150从被施加触摸驱动信号的触摸电极接收触摸感测信号。

触摸电路150可基于从多个触摸电极te接收的触摸感测信号识别触摸或非触摸并且计算触摸坐标。

在此，触摸驱动信号例如可以是具有两个或更多个电压电平的脉冲调制信号的波形。

从多个触摸电极te接收的触摸感测信号可根据是否通过相应触摸电极周围的诸如手指或笔之类的指示物输入触摸而变化。

触摸电路150可通过基于触摸感测信号获得触摸电极te中的电容变化(或电压变化或电荷变化)来识别触摸或非触摸并获得触摸坐标。

参照图1，每个触摸电极te连接至触摸感测线sl，以便给多个触摸电极te的每一个提供触摸驱动信号。

此外，为了给多个触摸电极te按顺序提供触摸驱动信号，触摸系统可进一步包括开关电路160，开关电路160配置成将触摸电路150按顺序连接至分别与多个触摸电极te连接的触摸感测线sl。

开关电路160可包括至少一个多路复用器。

同时，参照图1，多个触摸电极te的每一个可形成为块形状(blockshape)。

此外，每个触摸电极te可具有等于或对应于一个子像素区域sp的尺寸的尺寸。

亦或，每个触摸电极te可具有大于一个子像素区域sp的尺寸的尺寸，如图1中所示。

就是说，每个触摸电极te区域可具有对应于至少两个子像素区域sp的尺寸的尺寸。

同时，参照图1，多个触摸电极te可内置在显示面板110中。

在这个意义上，可以说显示面板110可与触摸屏或触摸屏面板集成。就是说，显示面板110可以是内嵌式或附加式(on-cell)触摸屏集成型显示面板。

同时，根据本发明的触摸屏集成型显示装置100可在显示模式中操作，以便提供显示功能；或者可在触摸模式中操作，以便提供触摸感测功能。

在这点上，多个触摸电极te在触摸模式期间可作为触摸传感器操作，并且在显示模式期间可用作显示模式电极。

例如，作为显示模式电极的一个示例，多个触摸电极te在显示模式期间可作为被施加公共电压vcom的公共电极操作。

在此，公共电压vcom与施加至像素电极的像素电压对应。

图2是图解在根据本发明的触摸屏集成型显示装置100中，在触摸模式期间产生的电容分量(cself、cpara1和cpara2)的示图。

参照图2，在触摸模式中用作触摸电极并且在显示模式中用作与像素电极一起形成液晶电容器的公共电极(vcom电极)的多个触摸电极te与诸如手指或笔之类的指示物一起形成自电容cself，以便在触摸模式中检测触摸和触摸坐标。

同时，用作公共电极的多个触摸电极te还可与栅极线和数据线一起产生寄生电容cpara1和cpara2。然而，因为寄生电容cpara1和cpara2比自电容小得多，所以它们可忽略不计。

下面，将更详细地描述根据本发明示例性实施方式的触摸屏集成型显示装置100中包括的显示面板110、给用作公共电极和触摸电极的多个触摸电极te11到t14、te21到te24和te31到te34施加公共电压和触摸驱动信号的方法、给数据线dl施加数据电压和触摸驱动信号(或与之对应的信号)的方法、以及给栅极线gl施加扫描电压和触摸驱动信号(或与之对应的信号)的方法等。

图3是图解根据本发明的触摸屏集成型显示装置中包括的显示面板的平面图。

参照图3，如上所述，显示面板110包括多条数据线dl、多条栅极线gl、以及多个触摸电极te11到t14、te21到te24和te31到te34。

此外，如上所述，显示面板110可在显示模式或触摸模式中操作。

在这点上，形成在显示面板110上的多条数据线dl和多条栅极线gl配置成使显示面板110能用作显示图像的面板。

此外，形成在显示面板110上的多个触摸电极te11到t14、te21到te24和te31到te34配置成使显示面板110能用作显示面板和触摸屏面板。

更具体地说，当显示面板110用作显示面板时，即，当显示面板110的驱动模式是显示模式时，多个触摸电极te11到t14、te21到te24和te31到te34用作被施加公共电压vcom并且设置成与像素电极(未示出)面对的“公共电极”(也称为“vcom电极”)。

此外，当显示面板110用作触摸屏面板时，即，当显示面板110的驱动模式是触摸模式时，多个触摸电极te11到t14、te21到te24和te31到te34用作“触摸电极”，其响应于被施加的触摸驱动电压而与触摸指示物(例如，手指、笔等)一起形成电容器并且测量电容器的电容。

换句话说，多个触摸电极te11到t14、te21到te24和te31到te34在显示模式中用作公共电极(vcom电极)并且在触摸模式中用作触摸电极。

多个触摸电极te11到t14、te21到te24和te31到te34在显示模式中被施加公共电压vcom并且在触摸模式中被施加触摸驱动信号。

因而，如图3中所示，触摸感测线sl11到sl14、sl21到sl24和sl31到sl34可分别连接至多个触摸电极te11到t14、te21到te24和te31到te34，以便给多个触摸电极te11到t14、te21到te24和te31到te34传输公共电压或触摸驱动信号。

因此，在触摸模式中，从触摸电路150和开关电路160产生的触摸驱动信号vtd通过触摸感测线sl11到sl14、sl21到sl24和sl31到sl34施加至多个触摸电极te11到t14、te21到te24和te31到te34的全部或一部分。在显示模式中，从公共电压供给单元(未示出)提供的公共电压vcom通过触摸感测线sl11到sl14、sl21到sl24和sl31到sl34施加至多个触摸电极te11到t14、te21到te24和te31到te34。

参照图3，子像素sp定义为分别对应于形成在显示面板110上的多条数据线dl与多条栅极线gl之间的交叉部分。在此，每个子像素可以是红色(r)子像素、绿色(g)子像素、蓝色(b)子像素和白色(w)子像素之一。

参照图3，在其中形成用作公共电极和触摸电极的多个触摸电极te11到t14、te21到te24和te31到te34的每一个的区域中可定义至少两个子像素sp。就是说，多个触摸电极te11到t14、te21到te24和te31到te34中的一个触摸电极对应于两个或更多个子像素sp。

例如，在其中形成用作公共电极和触摸电极的多个触摸电极te11到t14、te21到te24和te31到te34的每一个的一个区域(单位触摸电极区域)中可设置24*3条数据线dl和24条栅极线gl，由此定义出24*3*24个子像素sp。

同时，用作公共电极和触摸电极的多个触摸电极te11到t14、te21到te24和te31到te34的每一个可如图3中所示是块形图案，或者在一些情形中，多个触摸电极te11到t14、te21到te24和te31到te34的每一个可以是在对应于每个子像素sp的区域中包括梳齿图案的图案。

本发明能够应用于用作公共电极和触摸电极的多个触摸电极te11到t14、te21到te24和te31到te34的每一个是包括梳齿图案的图案的情形。

图4是图解在根据本发明典型实施方式的触摸屏集成型显示装置100是液晶显示装置的情形中显示面板的示例性剖面图。

图4是图解其中形成用作公共电极和触摸电极的多个触摸电极te11到t14、te21到te24和te31到te34中的一个触摸电极的区域的剖面图。

参照图4，例如，在触摸屏集成型显示装置100中包括的显示面板110中，栅极线402在第一方向(图3中的水平方向或左右方向)上形成于下基板400上，并且栅极绝缘体404形成在栅极线402上。

数据线406在第二方向(图3中的垂直方向或垂直于地面的方向)上形成于栅极绝缘体404上，并且第一保护层408形成在数据线406上。

用于每个子像素区域的像素电极410和触摸感测线412形成在第一保护层408上，并且第二保护层414可形成在像素电极410和触摸感测线412上。在此，触摸感测线412自用作公共电极和触摸电极的多个触摸电极te11到t14、te21到te24和te31到te34的每一个起连接至开关电路160。因而，在显示模式中，触摸感测线412将从公共电压供给单元产生的公共电压vcom传输至多个触摸电极te11到t14、te21到te24和te31到te34；并且在触摸模式中，触摸感测线412将从触摸电路150和开关电路160产生的触摸驱动信号传输至多个触摸电极te11到t14、te21到te24和te31到te34。

用作公共电极和触摸电极的电极416形成在第二保护层414上，并且液晶层418形成在电极416上。在此，用作公共电极和触摸电极的电极416是多个触摸电极te11到t14、te21到te24和te31到te34中的一个并且可以是块形图案。

其上形成有黑矩阵419a、滤色器419b等的上基板420设置在液晶层418上。

尽管图4图解了液晶显示装置，但本发明不限于此，而是能够应用于可与触摸面板组合的各种显示装置。

图5是根据本发明的触摸屏集成型显示装置100中包括的显示面板的另一平面图。

参照图5，与图3不同，分别连接至多个触摸电极te11到t14、te21到te24和te31到te34以向其传输公共电压或触摸驱动信号的触摸感测线sl11到sl14、sl21到sl24和sl31到sl34可与形成栅极线gl的第二方向(例如，水平方向)平行形成。

在这种情形中，从图1中所示的触摸电路150和开关电路160产生的触摸驱动信号或从公共电压供给单元产生或提供的公共电压可通过与栅极线平行形成的触摸感测线sl11到sl14、sl21到sl24和sl31到sl34传输至多个触摸电极te11到t14、te21到te24和te31到te34的全部或一部分。

此外，本发明的每个子像素sp中设置的薄膜晶体管例如可由非晶硅(下文中，称为“a-si”)、金属氧化物或多晶硅形成。多晶硅可包括低温多晶硅(下文中，称为“ltps”)和高温多晶硅(下文中，称为“htps”)，但并不限于此。

图6是图解用于制造根据本发明的触摸屏集成型显示装置的工艺的数量减少的示图。

参照图6，用于制造触摸屏集成型显示装置的一般工艺包括：用于形成栅极线和薄膜晶体管的栅极电极的第一掩模工艺掩模#1；用于形成每个子像素中形成的薄膜晶体管的有源层、以及在有源层上形成源极电极和漏极电极的第二掩模工艺掩模#2；用于形成保护薄膜晶体管的保护层和接触孔的第三掩模工艺掩模#3；用于在每个子像素中形成像素电极的第四掩模工艺掩模#4；用于形成触摸感测线的第五掩模工艺掩模#5；以及用于形成触摸电极(公共电极)的第六掩模工艺掩模#6。

特别是，因为额外形成触摸感测线，所以掩模工艺的数量增加。此外，如果在触摸感测线上额外形成保护层并且形成用于将触摸感测线和触摸电极(公共电极)电连接的接触孔，则掩模工艺的数量进一步增加。

如此，在触摸屏集成型显示装置中，在显示面板内需要形成分开的触摸感测线。因而，掩模工艺的数量增加。

此外，如果掩模工艺的数量增加，则节拍(tact)时间增加，导致生产效率降低，并且在工艺期间由各种污染物或颗粒导致的缺陷率也增加。

根据本发明的触摸屏集成型显示装置及其制造方法，能够通过用于形成栅极电极(或者栅极电极和栅极线)的第一掩模工艺掩模#1、用于形成有源层、源极电极、漏极电极和数据线的第二掩模工艺掩模#2、用于同时形成像素电极和触摸感测线的第三掩模工艺掩模#3、用于形成保护层和接触孔的第四掩模工艺掩模#4以及用于形成触摸电极(公共电极)的第五掩模工艺掩模#5完成显示装置的阵列基板。

特别是，在本发明的触摸屏集成型显示装置中，分别设置在子像素中的薄膜晶体管以z字形设置在数据线的两侧上。因而，能够减少数据线的数量。此外，通过与数据线相同的工艺形成位于数量减少的数据线之间的触摸感测线。因而，能够简化制造工艺。

此外，在用于形成像素电极的工艺中一起形成触摸感测线。因而，具有减少掩模工艺数量的效果。

图7是图解根据本发明的触摸屏集成型显示装置中的子像素的结构的平面图，图8和图9是沿图7的线i-i’、线ii-ii’和线iii-iii’截取的剖面图。

参照图7到图9，本发明的触摸屏集成型显示装置包括在第一方向上设置于基板700上的多条栅极线gl、在第二方向上设置于基板700上的多条数据线dl、以及与数据线dl平行且交替设置于基板700上的触摸感测线sl。

此外，触摸屏集成型显示装置进一步包括多个子像素sp。子像素sp由栅极线gl、数据线dl和触摸感测线sl限定。

此外，薄膜晶体管tft分别设置在子像素sp中的栅极线gl与数据线dl之间的交叉部分处。

特别是，在本发明的触摸屏集成型显示装置中，在第一方向上彼此相邻设置的子像素sp之间，栅极线gl设置为彼此相邻的一对第一栅极线701和第二栅极线801。

因此，一条数据线dl与第一栅极线701和第二栅极线801交叉，并且tft分别设置在第一栅极线701与该数据线之间的交叉部分以及第二栅极线801与该数据线之间的交叉部分处。

能够看出，如图中所示，tft相对于一条数据线dl来说分别设置在左侧子像素和右侧子像素上。就是说，在本发明的触摸屏集成型显示装置中，tft以z字形设置在数据线dl的左侧和右侧上。

通过这种tft布局，能够减少显示面板110上设置的数据线dl的数量。

在每个子像素sp中，栅极绝缘体702设置在基板700上，并且像素电极720设置在栅极绝缘体702上。此外，公共电极730设置成与像素电极720交叠，并且保护层719插入公共电极730与像素电极720之间。

如图7中所示，公共电极730具有与至少一个子像素或至少两个子像素对应的块图案结构并且通过接触孔c电连接至触摸感测线sl。

参照图7，第一弯曲部711(其是第一栅极线701的弯曲部)设置在触摸感测线sl与一对栅极线gl中的第一栅极线701之间的交叉部分处。第二栅极线801也包括与第一弯曲部711面对的弯曲部(其是第二弯曲部811)。

第一弯曲部711和第二弯曲部811的每一个与设置在相应子像素中的tft的漏极电极717的一部分交叠，因而用于确保子像素的存储电容。

通过延伸触摸感测线sl的一部分而形成的感测接触部780设置在第一弯曲部711与第二弯曲部811之间。公共电极730通过接触孔c电连接至暴露的感测接触部780。

此外，本发明的触摸屏集成型显示装置的公共电极730如上所述形成为与多个子像素对应的触摸电极。因而，除了狭缝形开口区域和对应于tft的开口op以外，公共电极730在每个子像素区域中形成为一体。

在对应于tft的区域处形成公共电极730的开口op的原因是为了减小公共电极730与tft之间的寄生电容，因而抑制tft的性能劣化。

参照图8和图9中子像素区域的详细剖面图，包括栅极电极712、栅极绝缘体702、有源层714、源极电极716和漏极电极717的tft在基板700上设置于数据线dl与栅极线gl(图7中的第一栅极线)之间的交叉部分处。

此外，在本发明中，设置在栅极绝缘体702上的像素电极720与tft的漏极电极717直接接触。

保护层719层叠在像素电极720上，并且公共电极730设置在保护层719上。公共电极730可形成为多个狭缝图案(参照区域i-i’)。

连同图7一起参照图8的区域ii-ii’，触摸感测线sl与数据线平行设置，并且在与触摸感测线sl形成为一体的感测接触部780的区域处形成接触孔c。触摸感测线sl和公共电极730通过接触孔c彼此电连接。

感测接触部780形成为其中第一感测接触图案780a和第二感测接触图案780b层叠在一起的结构，第二感测接触图案780b由与像素电极720相同的材料形成。

此外，连同图7一起参照图9的区域iii-iii’，像素电极720设置在基板700上的栅极绝缘体702上，触摸感测线sl和数据线dl设置在栅极绝缘体702上，并且像素电极720插入触摸感测线sl与数据线dl之间。

触摸感测线sl形成为其中第一感测图案724a和第二感测图案724b层叠在一起的结构，并且数据线dl形成为其中第一数据图案703a和第二数据图案703b层叠在一起的结构。

在用于形成像素电极720的掩模工艺中一起形成触摸感测线sl。因而，第二感测图案724b由与像素电极720相同的透明导电材料形成。第一感测图案724a可由感测金属形成。

此外，数据线dl的第二数据图案703b与源极电极716和漏极电极717一起形成。因而，第二数据图案703b由与有源层714相同的材料形成。

保护层719设置在触摸感测线sl、数据线dl和像素电极720上，并且公共电极730设置在保护层719上(区域iii-iii’)。

在本发明的触摸屏集成型显示装置中，tft以z字形设置在数据线dl的左侧和右侧上的各个子像素中。因而，具有减少数据线的数量的效果。

此外，由于数据线的数量减少，能够交替设置触摸感测线和数据线。因而，能够实现触摸屏集成型显示装置。

在本发明的触摸屏集成型显示装置中，当形成像素电极时，能够与像素电极一起形成触摸感测线。因而，具有在不需要额外掩模工艺的情况下实现触摸屏集成型显示装置的效果。

图10a到14b是图解用于制造根据本发明的触摸屏集成型显示装置的工艺的示图。

首先，参照图10a和图10b，在其上限定有多个子像素的基板700上依次形成多个栅极金属层，并且通过第一掩模工艺在每个子像素区域中形成tft的栅极电极712。在此，还形成图7中所示的栅极线gl。

因此，可通过层叠至少两个金属层形成栅极金属层，栅极金属层可形成为其中栅极金属层和透明导电材料层层叠在一起的结构。

因此，可使用选自由下述材料构成的导电金属集合中的至少一种形成栅极金属层：铝(al)、钨(w)、铜(cu)、钼(mo)、铬(cr)、钛(ti)、钼钨(mow)、钼钛(moti)和铜钼钛(cu/mo/ti(三层金属))，但并不限于此。

当如上所述在基板700上形成了栅极电极712时，在基板700的整个表面上形成栅极绝缘体702，然后连续形成半导体层和源极/漏极金属层，如图11a和图11b中所示。

可使用选自由下述材料构成的导电金属集合中的至少一种形成源极/漏极金属层：铝(al)、钨(w)、铜(cu)、钼(mo)、铬(cr)、钛(ti)、钼钨(mow)、钼钛(moti)和铜钼钛(cu/mo/ti)，但并不限于此。

半导体层可由半导体材料，比如非晶硅或如ltps、htps之类的多晶硅等形成。此外，可使用诸如氧化锌(zo)、氧化铟镓锌(igzo)、氧化锌铟(zio)和掺杂ga的zno(zgo)之类的半导体氧化物材料形成半导体层。

然后，通过使用衍射掩模或半色调掩模的第二掩模工艺与栅极电极712对应地在栅极绝缘体702上形成有源层714、源极电极716和漏极电极717。tft包括栅极电极712、栅极绝缘体702、有源层714、源极电极716和漏极电极717。

参照区域iii-iii’，栅极绝缘体702形成在基板700上，并且当在栅极绝缘体702上形成有源层714、源极电极716和漏极电极717时同时形成数据线dl。

数据线dl形成为其中第一数据图案703a和第二数据图案703b层叠在一起的结构，并且第二数据图案703b由与有源层714相同的半导体材料形成。

当如上所述在基板700上形成了tft和数据线dl时，在基板700的整个表面上依次形成透明导电材料层和感测金属层，然后通过第三掩模工艺一起形成像素电极720和触摸感测线sl，如图12a和图12b中所示。

可使用选自由下述材料构成的集合中的任意一种形成透明导电材料层：ito(氧化铟锡)、izo(氧化铟锌)和cnt(碳纳米管)，但并不限于此。栅极金属层不限于形成为双金属层，因而栅极金属层能够形成为单金属层。

触摸感测线sl形成为其中第一感测图案724a和第二感测图案724b层叠在一起的结构，并且第二感测图案724b由与像素电极720相同的透明导电材料形成。

与触摸感测线sl形成为一体的感测接触部780也包括第一感测图案780a和第二感测图案780b，并且第二感测图案780b由与像素电极720相同的透明导电材料形成。

此外，在本发明中，从像素电极720延伸的延伸部720a与漏极电极717直接接触，使得像素电极720能够与漏极电极717直接接触。

如上所述，在本发明中，触摸感测线sl、像素电极720和数据线dl形成在同一平面上，即形成在栅极绝缘体702上。

当如上所述在基板700上形成了像素电极720和触摸感测线sl时，在基板700的整个表面上形成保护层719，如图13a和图13b中所示。当在基板700上形成了保护层719时，通过第四掩模工艺形成暴露触摸感测线sl的感测接触部780的一部分区域的接触孔c。

感测接触部780通过接触孔c暴露到外部。

保护层719可由诸如sio2和sinx之类的无机材料或诸如光学压克力(photoacryl)之类的有机材料形成，但本发明并不限于此。

当如上所述在基板700上形成了保护层719时，在基板700的整个表面上形成透明导电材料层，然后通过第五掩模工艺形成与像素电极720交叠的公共电极730，如图14a和图14b中所示。

可使用选自由下述材料构成的集合中的任意一种形成透明导电材料层：ito(氧化铟锡)、izo(氧化铟锌)和cnt(碳纳米管)，但并不限于此。

如上所述，公共电极730可以是触摸电极并且可形成为对应于多个子像素的块图案结构。

公共电极730在每个子像素区域中可形成为多个狭缝图案。

此外，当形成公共电极730时同时在接触孔c中由透明导电材料层形成接触部730a。

如此，在根据本发明的触摸屏集成型显示装置及其制造方法中，tft以z字形设置在一数据线的左侧和右侧上的子像素中。因而，具有减少显示面板上设置的数据线的数量的效果。

此外，在根据本发明的触摸屏集成型显示装置及其制造方法中，当形成像素电极时同时形成触摸感测线。因而，具有减少掩模工艺的数量的效果。

提供前面的描述和附图仅是为了举例说明本发明的技术构思，但所属领域普通技术人员将理解到，在不背离本发明的范围的情况下，可进行诸如部件的组合、分割、替换和改变之类的各种修改和变化。因此，提供本发明的示例性实施方式仅是为了举例说明的目的，而不旨在限制本发明的技术构思。本发明的技术构思的范围不限于此。因此，应当理解，上述示例性实施方式在所有方面都是说明性的，并不限制本发明。应当基于所附的权利要求书解释本发明的保护范围，其等同范围内内的所有技术构思都应解释为落入本发明的范围内。