技术总结
本发明揭示用于增强使用检验工具检测晶片中的缺陷的检验灵敏度的系统及方法。多个发光二极管照明晶片的至少一部分且获取灰阶图像集合。在所述灰阶图像集合的每一图像中确定残余信号且从所述灰阶图像集合的每一图像减去所述残余信号。基于所述减去后的灰阶图像集合识别缺陷。在所揭示系统及方法的一些实施例中可建置及精制检验工具及晶片的模型。
技术研发人员：李诗芳;温友贤;S·施维塔拉;P·阿吉;L·尼古拉德斯
受保护的技术使用者：科磊股份有限公司
文档号码：201680013835
技术研发日：2016.03.15
技术公布日：2018.01.12