专利名称：向磁盘流动的润滑剂蒸汽以在磁盘上形成润滑剂涂层基本防止在流动路径表面上凝结的 ...的制作方法
技术领域：
本发明主要涉及一种应用润滑剂蒸汽于硬磁盘以在磁盘上形成润滑剂涂 层的方法和装置，更具体地，涉及一种方法和装置，其中蒸汽室表面维持在不 同温度以防止大量的润滑剂蒸汽凝聚在其中一个表面上。
背景技术：
Hughes等人的美国专利6,183,831 (在此结合作为参考)，公开了一种通 过在真空腔室中应用蒸汽形式的润滑剂蒸汽(优选地美国专利5， 776， 577 中公开的全氟聚醚油(PFPE) ， g卩，气态的，用润滑剂薄膜涂覆硬磁盘，在 磁盘上形成磁性层的方法和装置。磁盘通过传送叶片顺序地装载在蒸汽的流动 路径中，该传送叶片从来回在真空腔室中传送的盒中提升磁盘。该蒸汽通过对 放置在真空腔室中的液态润滑剂源提供充分的热量而获得。生成的蒸汽经由蒸 汽室流动，通过气体扩散板后入射到磁盘上。单个石英晶体微天平(QCM) 包含在用于监控由液体润滑剂源蒸发的润滑剂蒸汽的流速的计量中，以控制供 应给液体润滑剂源的热量并因此控制液体润滑剂的温度和由液体润滑剂源蒸 发的气态润滑剂的质量流速比。Hughes等人的专利中描述的前述配置达到了满意效果，但还可改进。已 经发现流经蒸汽室的润滑剂蒸汽具有在蒸汽室的表面上凝结的趋势。因此，存 在凝结的蒸汽在蒸汽室表面上聚集的趋势。蒸汽室表面上聚集的凝结蒸汽可能 对硬磁盘上的润滑剂涂层的形成产生不利影响。因此，表面必须不断地清洗， 这导致应用在硬磁盘上涂层的生产线的停止。另外，蒸汽室表面上的凝结蒸汽 的聚集是对形成蒸汽的源材料的浪费。因此，本发明的目的是提供一种用于有效地将蒸汽润滑剂应用于硬磁盘的 新型且改进的方法和装置。本发明的另一目的是提供一种用于将蒸汽润滑剂应用于硬磁盘的新型且改进的方法和装置，使得防止蒸汽凝结在定位于蒸汽润滑剂源和腔室之间的蒸 汽室的表面上，其中在利用蒸汽润滑剂涂覆期间硬磁盘定位在该腔室中。本发明的另外目的在于提供一种将蒸汽润滑剂应用于硬磁盘上的新型且 改进的方法和装置，使得减少将蒸汽润滑剂应用于硬磁盘的生产线的停工时 间。本发明的再一 目的在于提供一种将蒸汽润滑剂应用于硬磁盘上的新型且 改进的方法和装置，使得减少蒸发形成蒸汽润滑剂的浪费的液体润滑剂量。发明内容本发明的一方面涉及用于将润滑剂涂层应用于选择性固定在真空腔室的 固定器上的适当位置的磁盘的装置，同时可形成润滑剂涂层的蒸汽应用于其中 一个磁盘，而磁盘保持在固定器上的适当位置。装置包括贮存液体的贮液器， 该液体可被蒸发而形成蒸汽，以及用于将贮液器中的液体加热而形成润滑剂蒸 汽的加热器。提供从贮液器流动到固定器上的磁盘的润滑剂蒸汽的流动路径。 流动路径包括(1)在贮液器和磁盘之间的有孔扩散体，而该磁盘位于流动路径中，以及(2)在贮液器和有孔扩散体之间的蒸汽腔室。该蒸汽腔室包括(1) 沿与贮液器和磁盘之间的直线路径相同方向延伸的第一壁，而磁盘位于该流动 路径中的适当位置，以及(2)用于提供加热器和贮液器之间的热传导路径的 第二壁。流动路径设置为在真空条件下且贮液器中的液体被加热成润滑剂气 体。控制器设置为有效地控制第一壁相对于第二壁的温度使得第一壁和第二壁 之间存在温度差。该温度差以防止在第一壁上的大量凝结。第一壁和第二壁优选地设置为使得在第一壁和第二壁之间存在相对高的 热阻抗。第一壁和第二壁优选地包含在具有相对高的热传导率的单独结构中。相对 高的热阻抗包括在单独结构中的第一壁和第二壁之间的凹口 ，使得在第一和第 二壁之间存在单独结构的相对小的容积。优选地，控制器包括分别用于第一和第二壁的第一和第二温度传感器，以 及用于加热第一壁的加热器。用于第一壁的加热器设置为对第一和第二温度传 感器响应，而用于加热贮液器中液体的加热器对第二温度传感器响应。本发明的另一方面涉及润滑剂蒸汽的流动路径中充分防止在表面上凝结的方法，其中润滑剂蒸汽将润滑剂涂层应用于选择性保持在真空腔室的固定器 上适当位置的磁盘。该方法结合包括贮存可被蒸发以形成蒸汽的液体的贮液器 和用于将该贮液器中的液体加热成润滑剂蒸汽的加热器的装置一起实施。润滑 剂蒸汽的流动的流动路径是从贮液器到腔室，其中在磁盘的涂覆期间所有硬磁 盘都在流动路径中。该流动路径包括(1)在贮液器和磁盘之间的有孔扩散体， 且该磁盘在该流动路径中，以及(2)在该贮液器和有孔扩散体之间的蒸汽腔 室。蒸汽腔室包括(1)与贮液器和磁盘之间的直线路径相同方向延伸的第一 壁，而磁盘在该流动路径中的适当位置，以及(2)用于在加热器和贮液器之 间提供热传导路径的第二壁。流动路径设置为在真空条件下且贮液器中的液体 被加热成润滑剂蒸汽。该方法包括控制第一壁相对于第二壁的温度通过(1) 感测第一和第二壁的温度，(2)基于第一壁的感测温度来控制第二加热器， 以及(3)基于第二壁的感测温度来控制第一加热器。本发明的以上和进一步其他目的、特征和优点在本发明的具体实施方式
的 以下详细描述中，尤其结合附图将变得显而易见。
图1是根据本发明的蒸汽源的优选的实施方式的部分截面的俯视图，结合 示意性示出保持待涂覆的硬磁盘的腔室；图2是从线2-2提取的图1所示的结构的部分截面的局部侧视图； 图3是从线3-3提取的图1所示的结构的部分截面的局部侧视图； 图4是从线4-4提取的图1所示的结构的主视图； 图5是用于图1-4的蒸汽源的表面温度的反馈控制线路视图。
具体实施方式
现参照附图，附图包括润滑剂(常称为润滑油)源IO和包括真空腔室14 的外壳12，该真空腔室通过适宜的真空泵(未示出)维持在适宜真空压力。 定位于腔室14中的是用于硬磁盘18的保持器16，该硬磁盘包括由铬层覆盖 的衬底层，依次地，铬层由磁性层覆盖，如前述专利公开。保持器16顺序地 从依次从真空腔室14移入和移出的盒中提升不同的硬磁盘，使得磁盘放入沉 积在磁盘上的润滑剂蒸汽的路径中图l-3所示的位置。润滑剂优选地为PFPE。源10包括维持在大气压力的大气部分20，以及真空部分22，其通过真空 部分22和腔室14之间常常存在的气体流动路径而维持在大约与腔室14的真 空相同的真空压力下。液体润滑剂贮液器24，其通过外壳25支撑，在真空部 分22中作为(1)真空容积26，(2)选择性打开和关闭扩散闸门28和(3) 扩散板30。蒸汽容积26是具有与平面34和36垂直延伸的柱状侧壁32的腔，平面 34和36彼此平行并限定真空容积的边界。贮液器24的一个面占据面34的大 部分，以及扩散闸门28的第一平面(图4)占据面36的大部分。扩散闸门28 的第二平面，与扩散闸门的第一面平行，邻接扩散板30的第一平面。如图2和图3所示，外壳25设置为使得液体润滑剂贮液器24包括三个层 叠部分37、 38和39，其中每个包括通过底41和凸缘或唇缘43形成的润滑剂 池。液体润滑剂装入37、 38和39每个部分的池中，同时在源连接至外壳12 之前，源10处于大气压力下。源10的邻接壁和罩12之间的真空密封(即， 垫圈)48 (图1-4)有助于维持真空腔室14和源10的真空部分22中的真空。贮液器24中的液体润滑剂通过源10的空气部分20中的电阻加热器线圈 50加热成蒸汽。蒸发的润滑剂从贮液器24流入蒸汽容积26，从而通过打开的 扩散闸门28和扩散板30流到硬磁盘18和保持器16，同时该保持器将硬磁盘 从盒提升到图1-3中所示的位置，该位置位于润滑剂蒸汽通过闸门28和板30 流动的路径中。当扩散闸门28关闭时，由于其发生在源IO操作的大量空闲或停工周期期 间，同时没有任何硬磁盘被处理，所以，扩散闸门和扩散板30中没有孔对齐 从而蒸发的润滑剂快速填充蒸汽容积26。由于蒸发的润滑剂填充蒸汽容积26， 当扩散闸门28关闭时，尽管通过加热器线圈24施加给贮液器24中的液体润 滑剂的热量保持大致恒定，但蒸汽容积中的压力大幅增加而使得额外的蒸汽不 从贮液器24中蒸发。因此，在大量的闲置或停工周期中，从贮液器24蒸发的 多余润滑剂为最小量。通过向贮液器24中的液体不断提供热量，避免了由于 贮液器24中的液体润滑剂的开始和停止加热过程而可能发生的从贮液器24 的液体蒸发的不稳定性的趋势。扩散板30包括多列密置的、较小的圆形开口 (未示出)，这些开口对齐， 并且在扩散闸门关闭时它们与扩散闸门28中的相应开口 52 (图4)对齐。在扩散板30的开口和闸门28的开口 52每个之间存在一一对应。当扩散闸门28 打开时，扩散闸门切换到适当位置使得开口 52定位在固定的扩散板30的多列 小圆形开口之间，从而为从贮液器24蒸发的润滑剂蒸汽提供通过扩散板30 的开口的流动路径。由于电机54驱动旋转连杆56 (linkage)，扩散闸门28 选择性打开和关闭蒸汽从贮液器24到硬磁盘18的流动路径。电机54通过变 速箱58而连接至连杆56 (linkage)，该变速贮液器通过源10的外壳62上的 凸缘60支撑；连杆56 (linkage)连接在扩散闸门28和变速贮液器58之间使 得闸门转动数个角度以响应电机54的轴的旋转。扩散板30及其开口，以及闸 门28及其开口 52以及连杆56 (linkage)并使得扩散板30中的所有开口在闸 门打开和关闭时通过闸门28和开口 52而同时被解除闭塞或同时阻挡。因此， 应用到盘18的磁性层上的润滑剂涂层具有基本均匀的厚度。压电晶体70和72 (都定位在外壳71中)选择性监控通过蒸汽容积26流 动的蒸汽润滑剂的沉积速率，从而在第一时间间隔期间，排除晶体72外，晶 体70耦接到蒸汽容积26，以及在第二时间间隔期间，排除晶体70外，晶体 72耦接到蒸汽容积。在第三时间间隔期间，晶体70或晶体72都不耦接到蒸 汽容积。在第一和第二时间间隔期间，蒸汽容积26中的润滑剂蒸汽颗粒入射 在晶体70和72上。在第三时间间隔期间，没有蒸汽润滑剂颗粒入射在晶体上。闸门73选择性夹在在容积26和晶体70和72之间的流体流动路径屮以实 现这些效果。闸门73减少在停工或空闲周期中晶体70和72暴露于润滑剂蒸 汽的时间，通过延长晶体的使用寿命来减少维护成本。多个沉积速率监控晶体 70和72的应用，而不是单一沉积速率监控晶体，有助于实现相同的有利效果。这里，蒸汽容积26的侧壁32包括沿贮液器24和扩散闸门28之间的侧壁 彼此分离的对齐的开口 74和76。开口 74和76分别与具有分别紧邻压电晶体 70和72的出口的柱状通道78和80为相连通关系，该压电晶体优选地为可从 Beaverton Oregon的Maxteck有限公司购买的QCM类型。旋转闸门73为通过 轴84驱动的可转动盘形式，该轴顺次通过气动电机86和联接88 (linkage) 驱动，因此闸门73选择地位于通道78和80和晶体70和72的出口之间。电 机86在大气中并通过连接至凸缘60的外壳89支撑。晶体70和72、闸门73 和轴84以及联接88 (linkage)的一部分位于腔室14的真空中，而电机86、 外壳89和剩余的联接88 (linkage)位于大气压力下。在腔室14已经工作一段时间后，用于晶体70和72的外壳逐渐地加热到 工艺腔室14的温度。然而，通过晶体70和72检测的，以及通过由振荡器122 (图5)得到的频率表示的，如频率通过频率检测器124检测，沉积速率的初 始校准，通常在生产循环的开始时完成。同样地，当图l-4的全部记录在动态 的热稳定态时，晶体70或72的共振频率不表示全部生产循环期间的真实沉积 速率。为了降低对蒸气流速这种可能的难以控制性，晶体70和72的温度通过控 制外壳71的温度而被有效地控制为恒定。这里，冷却装置包括在外壳71中以 维持晶体70和72在恒定温度从而从晶体70和72得出的读数总是参考流体冷 却剂(适宜的空气或水)的恒定温度。冷却剂流体通过管子75、 77和79流入 和流出外壳71，使得管子77和79中的冷却剂流体分别为晶体70和72提供 主要冷却。通过管子79流动的受热的冷却剂流回热交换器81，其中冷却剂被 冷却并再循环回到管子77和79。通过热交换器81对再循环的冷却剂流体施 加的冷却量通过温度探测器83来控制，该温度探测器嵌入在外壳71屮以有效 监控晶体70和72的温度。检测器83通过适宜的电缆(未示出)电气连接至 该热交换器。蒸汽容积26的柱状侧壁32是加热部件90的一部分，该块具有高的热传 导率，优选地由铜或其他相对便宜、高热传导率金属制成，其有助于减少在部 件90上的蒸汽润滑剂凝结。由于部件90由高热传导率材料制成，部件90的 每个壁的全部长度处于基本均匀的温度从而最小化了部件90的相同壁表面上 蒸汽的差异凝结。部件卯包括圆形底座92，其为从电阻热挡板50到贮液器24中的液体提 供高热传导率路径。部件90包括热扼流器94。热扼流器94与部件90的其他 部分相比是具有高热阻抗的区域的一部分。热扼流器94是在底座92和圆形凸 缘96之间的圆形凹槽102，其内周界形成蒸汽容积26的柱状侧壁32从而使 部件90具有两个加热区， 一个通过底座92形成，另一个通过凸缘96形成。 部件90，结合电阻加热元件和温度检测装置，使得蒸汽容积26的侧壁32在 预定温度，诸如5。C，高于为从电阻热挡板50向贮液器24中的液体提供高的 热传导率路径的部件90的底座92的温度。由此，最小化蒸汽容积26中的润 滑剂蒸汽到侧壁32上的凝结，从而提供源10的更有效操作。圆形底座92具有平面的圆形表面98，该表面在源10的真空部分22中并 毗邻用于贮液器24的外壳25的平面的圆形表面。表面98为垂直于从贮液器 24到扩散闸门28的表面36的直线路径的平面中，其中环形凸缘或环96从扩 散闸门28的表面36延伸。底座92包括平行于表面98的平面的圆形表面100。 电阻热挡板50包括毗邻表面100的平面圆形表面以有助于提供电阻热挡板和 贮液器24之间的高热传导率路径。底座90包括表面100中的深环形凹槽104，其处于源10的大气部分20 中。凹槽102从表面100基本延伸到表面102以在基座92和凸缘94之间形成 窄颈(其构成热扼流器94)，以使底座92和凸缘94维持在不同温度。通过 在紧靠壁32的凸缘94中嵌入四个相互垂直的电阻热挡板111-114，而提供有 效的温度控制，等等。在图2中仅示出彼此直径上对置的热挡板111-113。电阻温度检测器116和118分别嵌入在部件90的底座92和凸缘94中， 以分别监控底座和凸缘的温度。因此，温度检测器116和118有效地导出表示 (1)贮液器24中的液体润滑剂和(2)蒸汽容积26的壁32的温度响应。图 5中示意性示出的反馈控制器类型响应电阻温度检测器116和118，以及蒸汽 容积26中的润滑剂蒸汽流动速率的指示，如通过对压电晶体70或72工作中 的一个的检测，来控制底座92和凸缘94的温度。'现参照图5对反馈控制器的示意图，其响应根据通过电阻温度检测器116 和118检测的温度和通过晶体70或72其中之-一检测的质量流速而导出的信号 来控制提供给电阻热挡板50的电流，该电阻热挡板50毗邻部件90的底座92 并与部件90的凸缘94中的电阻热挡板111-114串联连接。每次晶体78或80 其中之一是工作的，从而工作的晶体通过开关连接到振荡器122，来控制振荡 器频率。开关120的接触位置与闸门73的位置同步，使得(1)响应闸门73 阻挡晶体72，开关120将晶体70连接到振荡器122的输入，(2)响应闸门 73阻挡晶体70，开关120将晶体72连接到振荡器122的输入，以及(3)响 应闸门73阻挡晶体70和72两者，开关120的位置不改变。振荡器122的频率通过由开关120连接到该振荡器的晶体70或72的共振 频率而确定。因此，振荡器122的频率通常指示通过晶体70或72中起作用的 一个检测的润滑剂蒸汽的质量流速，如通过快门73的位置而确定。频率检测 器124响应通过振荡器122产生的频率，来导出指示通过振荡器122导出的频率的DC电压。函数发生器126响应由检测器124导出的DC电压来导出指示 通过晶体70或72中起作用的一个导出的润滑剂蒸汽的质量流速比的电压。将函数发生器126的输出信号与减法器130中的质量流速比设定点信号源 128的输出信号的幅度比较，该减法器导出表示蒸汽容积26中的蒸汽润滑剂 的预期质量流速比和容积26中的蒸汽润滑剂的实际流速比之间的偏差的误差 信号。减法器130的误差输出信号应用于函数发生器132，其将质量流速比误 差信号转换为贮液器24的温度的误差信号，即，对控制供应给电阻热挡板50 的电流值有影响的误差信号。温度控制器134，对于提供给龟阻热挡板50的电流值，响应(1)函数发 生器132的输出信号，(2)从贮液器温度设定点源136导出的信号以及(3) 通过电阻温度检测器116感测的温度。实际上，温度控制器134响应由电阻温 度检测器116和设定点源136产生的信号，以确定部件90的底座92的实际和 预期温度之间的差来导出温度误差信号。温度误差信号通过来自函数发生器 132的信号而修改以补偿流经容积22的蒸汽润滑剂的质量流速比的误差。温 度控制器134响应修改的误差信号来控制流经电阻热挡板50的电流值，其反 过来控制底座92的温度。温度控制器138，对于流经凸缘94中的串联连接的电阻热挡板111-114 的电流值，响应根据通过分别在部件卯的底座92和凸缘94中的电阻温度检 测器116和118检测的温度而导出的信号。另外，温度控制器138响应(1) 源136为贮液器24的温度导出的设定点信号，以及(2)源140为凸缘94和 底座92之间的预期温度差而导出的设定点信号。实际上，温度控制器138通 过响应根据电阻温度检测器116和118的电阻变化导出的信号来确定底座92 和凸缘94之间的温度差。将底座92和凸缘94之间的温度差与如通过设定点 源140导出的底座和凸缘之间的预期温度差比较，来导出指示通过温度控制器 138提供给电阻热挡板111-114的电流值的变化的误差信号。该误差信号结合 贮液器温度设定点源136的输出信号来控制通过温度控制器138提供给电阻热 挡板111-114的实际电流值。虽然已经描述并说明了本发明的特定实施方式，但在不偏离由附属权利要 求限定的本发明的实际精神和范围下，根据特别示出并描述的说明的实施方式 的详细内容进行变化是显而易见的。
权利要求
1.一种装置，其用于将润滑剂涂层应用于选择性固定到真空腔室的保持器上的适当位置的磁盘上，同时可形成润滑剂涂层的蒸汽被应用于其中一个磁盘上，同时该磁盘固定在所述保持器的适当位置，该装置包括贮存可蒸发而形成蒸汽的液体的贮液器；将所述贮液器中的液体加热成润滑剂蒸汽的加热器；所述润滑剂蒸汽从所述贮液器到所述保持器上的磁盘的流动路径；该流动路径包括(a)在所述贮液器和所述磁盘之间的有孔扩散体同时该磁盘处在该流动路径中；以及(b)在所述贮液器和所述有孔扩散体之间的蒸汽腔室，该蒸汽腔室包括(i)沿与所述贮液器和所述磁盘之间的直线路径相同方向延伸的第一壁同时该磁盘处在所述流动路径中的适当位置以及(ii)用于在所述加热器和所述贮液器之间提供热传导路径的第二壁；所述流动路径设置在真空条件下同时所述贮液器中的液体加热成润滑剂蒸汽；以及用于有效控制所述第一壁相对于所述第二壁的温度的控制器设置使得所述第一壁和第二壁之间存在温度差，该温度差从而避免在所述第一壁上的大量凝结。
2. 根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述第一壁和第二壁设置 为在所述第一壁和第二壁之间存在相对高的热阻抗。
3. 根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述第一壁和第二壁包括 在具有相对高的热传导率的单独结构中，所述相对高的热阻抗包括在单独结构 中的第一壁和第二壁之间的凹口，使得在第一和第二壁之间的单独结构存在相 对小的容积。
4. 根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述单独结构由铜制成。
5. 根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述控制器包括分别用于 所述第一壁和第二壁的第一温度传感器和第二温度传感器，以及设置为响应所 述第一温度传感器和第二温度传感器来加热所述第一壁的加热器，该加热器响 应所述第二温度传感器而加热所述贮液器中的液体。
6. —种装置，用于将润滑剂涂层应用于选择性固定到真空腔室的保持器 上的适当位置的磁盘上，同时可形成润滑剂涂层的蒸汽被应用于其中一个磁盘上，同时该磁盘固定在所述保持器的适当位置，该装置包括 贮存可蒸发而形成蒸汽的液体的贮液器； 加热所述贮液器中的液体成润滑剂蒸汽的第一加热器； 所述润滑剂蒸汽从所述贮液器到所述保持器上的磁盘的流动路径；该流动 路径包括(a)在所述贮液器和所述磁盘之间的有孔扩散体同时该磁盘处在该 流动路径中，以及(b)在所述贮液器和所述有孔扩散体之间的蒸汽腔室，该 蒸汽腔室包括(i)沿与所述贮液器和所述磁盘之间的直线路径相同方向延伸 的第一壁同时该磁盘处在所述流动路径中的适当位置以及(ii)用于在所述加 热器和所述贮液器之间提供热传导路径的第二壁；该流动路径设置在真空条件 下同时所述贮液器中的液体加热成润滑剂蒸汽；以及用于有效控制所述第一壁相对于所述第二壁的温度的控制器设置，该控制 器包括(a)用于分别感测所述第一壁和第二壁的温度的第一传感器和第二传 感器，以及(b)用于第一壁的第一加热器和第二加热器，所述第一加热器设 置为响应所述第二传感器以及所述第二加热器设置为响应所述第一传感器和 第二传感器。
7. 根据权利要求'6所述的装置，其特征在于，所述第一壁和第二壁设置 为使得在所述第一壁和第二壁之间存在相对高的热阻抗。
8. 根据权利要求7所述的装置，其特征在于，所述第一壁和第二壁包括 在具有高热传导率的单独结构中，所述相对高的热阻抗包括在单独结构中的第 一壁和第二壁之间的凹口使得在第一和第二壁之间存在单独结构的相对小的容积。
9. 根据权利要求8所述的装置，其特征在于，所述单独结构由铜制成。
10. —种充分防止在润滑剂蒸汽的流动路径中的表面上凝结的方法，该润 滑剂蒸汽将润滑剂涂层应用于固定在真空腔室的保持器上的适当位置的磁盘， 该方法结合一种装置进行实施，其中该装置包括贮存可蒸发而形成蒸汽的液体的贮液器； 将所述贮液器中的液体加热成润滑剂蒸汽的加热器；所述润滑剂蒸汽从所述贮液器到所述保持器上的磁盘的流动路径；该流动 路径包括(a)在所述贮液器和所述磁盘之间的有孔扩散体同时该磁盘处在该 流动路径中；以及(b)在所述贮液器和所述有孔扩散体之间的蒸汽腔室，该蒸汽腔室包括(i)沿与所述贮液器和所述磁盘之间的直线路径相同方向延伸 的第一壁同时该磁盘处在流动路径中的适当位置以及(ii)用于在所述加热器 和所述贮液器之间提供热传导路径的第二壁；所述流动路径设置在真空条件下 同时所述贮液器中的液体加热成润滑剂蒸汽；所述方法包括控制所述第一壁相对于第二壁的温度使得在所述第一壁和 第二壁之间存在温度差，所述温度差防止在所述流动路径表面上的大量凝结。
11. 一种结合润滑剂涂层应用于选择性固定在真空腔室的保持器上的适当 位置的磁盘而执行的方法，同时可形成润滑剂涂层的蒸汽应用于其中一个磁 盘，且该磁盘固定在所述保持器的适当位置，该方法在一种装置上执行，其中 该装置包括贮存可蒸发而形成蒸汽的液体的贮液器；将所述贮液器中的液体加热成润滑剂蒸汽的第一加热器；以及 所述润滑剂蒸汽从所述贮液器到所述保持器上的磁盘的流动路径；所述流 动路径包括(a)在所述贮液器和所述磁盘之间的有孔扩散体同时该磁盘处在 该流动路径中；以及(b)在所述贮液器和所述有孔扩散体之间的蒸汽腔室， 该蒸汽腔室包括(i)沿与所述贮液器和所述磁盘之间的直线路径相同方向延 伸的第一壁同时该磁盘处在流动路径中的适当位置以及(ii)用于在所述加热 器和所述贮液器之间提供热传导路径的第二壁；所述流动路径设置在真空条件 下同时所述贮液器中的液体加热成润滑剂蒸汽；所述方法包括控制所述第一壁相对于第二壁的温度，通过(a)感测所 述第一壁和第二壁的温度差，(b)基于所述第一壁和第二壁的感测温度来控 制用于所述第一壁的第二加热器，以及(c)基于所述第二壁的感测温度来控 制所述第一加热器。
全文摘要
本发明提供了一种防止在润滑剂蒸汽的流动路径中的表面上凝结的方法和装置，其中润滑剂蒸汽将润滑剂涂层应用于流动路径中的磁盘。蒸汽通过加热在贮液器中的液体而得到。该流动路径包括贮液器和有孔扩散体之间的蒸汽腔室。蒸汽腔室具有沿与所述贮液器和所述磁盘之间的直线路径相同方向延伸的第一壁和在所述加热器和所述贮液器之间提供热传导路径的第二壁。控制所述第一壁和第二壁的相对温度以防止在流动路径的表面上的大量凝结。
文档编号G11B5/84GK101276603SQ20081008980
公开日2008年10月1日 申请日期2008年3月28日 优先权日2007年3月29日
发明者卡尔·彼得森, 肯尼思·埃姆斯 申请人:英特维公司