技术特征：
1.一种半导体测试方法，其特征在于，包括：创建测试数据表；所述测试数据表包括第一子表和第二子表；根据预设测试流程，对待测芯片组进行测试，所述预设测试流程包括将测试数据写入所述待测芯片组和读取所述待测芯片组中的测试数据；将写入所述待测芯片组的所述测试数据存储至所述第一子表中；基于所述测试数据生成第一校验信息，并将所述第一校验信息存储至所述第二子表中；基于读取所述待测芯片组中的测试数据得到的读出数据生成第二校验信息；基于所述第一校验信息和所述第二校验信息对所述待测芯片组进行校验。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据预设测试流程，对待测芯片组进行测试之前，所述方法还包括：根据所述预设测试流程中包括的测试指令的数量设置多个测试阶段；每个所述测试阶段包括多个测试子阶段。3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：针对每个所述测试阶段，基于所述待测芯片组中各待测芯片在首个测试子阶段的测试时间差，确定各待测芯片的预设延迟时间；基于所述预设延迟时间，确定每个所述测试阶段中的各个所述测试子阶段中的测试指令的数量。4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述创建测试数据表，包括：为所述待测芯片组中的每个待测芯片创建一个测试数据表；每个所述测试数据表均包括第一子表和第二子表。5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述将写入所述待测芯片组的所述测试数据存储至所述第一子表中，包括：针对每个测试阶段，将写入每个待测芯片的测试数据存储至该待测芯片对应的所述测试数据表的第一子表中。6.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述基于所述测试数据生成第一校验信息，并将所述第一校验信息存储至所述第二子表中，包括：针对每个待测芯片，基于写入所述待测芯片的测试数据生成第一校验信息，并将所述第一校验信息存储至所述待测芯片对应的所述测试数据表的第二子表中。7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述创建测试数据表，包括：为所述待测芯片组创建一个测试数据表；所述测试数据表中的第一子表用于存储所述待测芯片组中所有待测芯片写入的测试数据；所述测试数据表中的第二子表用于缓存所述待测芯片组中所有待测芯片的第一校验信息。8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述根据预设测试流程，对待测芯片组进行测试之前，所述方法还包括：为所述待测芯片组中的每个待测芯片创建一个缓存表；所述缓存表包括第三子表和第四子表，所述第三子表用于缓存写入每个待测芯片的测试数据，所述第四子表用于缓存每个待测芯片的第一校验信息。9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，所述将写入所述待测芯片组的所述测试数
据存储至所述第一子表中，包括：针对每个测试阶段，将写入待测芯片组的所述测试数据和所述测试数据对应的地址存储至第三子表；每个测试阶段结束后，将所述测试数据从所述第三子表存储至所述第一子表。10.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，所述将所述第一校验信息存储至所述第二子表，包括：针对每个测试阶段，将生成的所述第一校验信息存储至第四子表；每个测试阶段结束后，将所述第一校验信息从所述第四子表存储至所述第二子表。11.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述将写入所述待测芯片组的所述测试数据存储至所述第一子表中，包括：将写入所述待测芯片组的所述测试数据存储至所述第一子表的预设地址中；所述预设地址与所述测试数据对应的地址相同。12.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述基于所述第一校验信息和所述第二校验信息对所述待测芯片组进行校验，包括：将所述第一校验信息和所述第二校验信息进行比较；若所述第一校验信息和所述第二校验信息相同，则表征所述待测芯片组通过校验；若所述第一校验信息和所述第二校验信息不同，则执行复验步骤。13.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，所述基于所述第一校验信息和所述第二校验信息对所述待测芯片组进行校验，包括：从所述第四子表和/或所述第二子表中获取所述第一校验信息；将所述第一校验信息和所述第二校验信息进行比较；若所述第一校验信息和所述第二校验信息相同，则表征所述待测芯片组通过校验；若所述第一校验信息和所述第二校验信息不同，则执行复验步骤。14.根据权利要求12或13所述的方法，其特征在于，所述复验步骤包括：将写入所述待测芯片组的所述测试数据和所述读出数据进行比较；若所述测试数据与所述读出数据相同，则表征所述待测芯片组通过校验；若所述测试数据与所述读出数据不同，则表征所述待测芯片组未通过校验。15.一种半导体测试系统，其特征在于，包括：创建模块，用于创建测试数据表，所述测试数据表包括第一子表和第二子表；测试模块，用于根据预设测试流程，对待测芯片组进行测试；所述预设测试流程包括将测试数据写入所述待测芯片组和读取所述待测芯片组中的测试数据；存储模块，用于将写入所述待测芯片组的测试数据存储至所述第一子表中；生成模块，用于基于所述测试数据生成第一校验信息，并将所述第一校验信息存储至所述第二子表中；以及，用于基于读取所述测试数据得到的读出数据生成第二校验信息；校验模块，用于基于所述第一校验信息和所述第二校验信息对所述待测芯片组进行校验。16.一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，所述计算机程序被处理器执行时，实现权利要求1至14任一项所述方法的步骤。
技术总结
本申请公开了一种半导体测试方法、系统及存储介质，所述半导体测试方法包括：创建测试数据表；所述测试数据表包括第一子表和第二子表；根据预设测试流程，对待测芯片组进行测试；所述预设测试流程包括将测试数据写入所述待测芯片组和读取所述待测芯片组中的测试数据；将写入所述待测芯片组的所述测试数据存储至所述第一子表中；基于所述测试数据生成第一校验信息，并将所述第一校验信息存储至所述第二子表中；基于读取所述待测芯片组中的测试数据得到的读出数据生成第二校验信息；基于所述第一校验信息和所述第二校验信息对所述待测芯片组进行校验。片组进行校验。片组进行校验。
技术研发人员：李顺喜 李康
受保护的技术使用者：长江存储科技有限责任公司
技术研发日：2022.01.13
技术公布日：2022/5/25