高频辅助记录头以及具备其的磁记录装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明的实施方式涉及高频辅助记录头以及具备其的磁记录装置。
【背景技术】
[0002]作为磁记录装置，例如磁盘装置具备:配设于壳体内的磁盘；支撑磁盘并使其旋转的主轴马达；对磁盘进行信息的读出/写入的磁头；和滑架组件，其将磁头支撑得相对于磁盘移动自如。磁头的头部包括写入用的记录头与读出用的再现头。
[0003]近年来，为了谋求磁盘装置的高记录密度化、大容量化或小型化，提出了垂直磁记录用的磁头。在这样的磁头中，记录头具有:主磁极，其产生垂直方向磁场；写屏蔽(writeshield)磁极，其与该主磁极夹着写间隙(write gap)而配置；和线圈，其用于使磁通在主磁极流动。
[0004]出于提高记录密度的目的，提出了在主磁极与写屏蔽磁极之间作为高频振荡元件而设置自旋转矩振荡元件、从该自旋转矩振荡元件向磁记录层施加高频磁场的高频辅助记录方式的记录头。
[0005]在高频辅助记录方式的记录头中，自旋转矩振荡元件需要形成于记录磁极附近。因此，由于自旋转矩振荡元件的振荡层与记录磁极的磁场的相互作用，在记录磁极内感应而生自旋波，其结果，自旋转矩振荡元件的振荡恐会受到抑制。因此，难以进行充分的高频辅助。
【发明内容】
[0006]本发明提供高频的振荡效率提高、能够进行稳定的高频辅助记录的高频辅助记录头以及具备该高频辅助记录头的磁记录装置。
[0007]根据实施方式，高频辅助记录头具备:主磁极，其施加记录磁场；写屏蔽磁极，其隔着写间隙而与所述主磁极相对；自旋转矩振荡元件，其在所述主磁极与写屏蔽磁极之间设置在介质相对面的附近，产生高频磁场；反强磁性层，其与所述写屏蔽磁极接触地设置在所述自旋转矩振荡元件与所述写屏蔽磁极之间；和非磁性金属层，其设置在所述自旋转矩振荡元件与反强磁性层之间。
【附图说明】
[0008]图1是表示第1实施方式涉及的磁盘装置(HDD)的立体图。
[0009]图2是表示所述HDD的磁头、悬架、磁盘的侧视图。
[0010]图3是放大表示所述磁头的头部的剖视图。
[0011]图4是放大表示所述记录头的磁盘侧端部的剖视图。
[0012]图5是从滑块的盘相对面侧观察所述记录头所见的俯视图。
[0013]图6是概略表示所述记录头中的写屏蔽磁极的固定磁化方向的图。
[0014]图7是概略表示所述记录头中的写屏蔽磁极的分散固定磁化方向的图。
[0015]图8是对本实施方式的记录头与比较例涉及的记录头进行比较而表示驱动电压与振荡强度的关系的图。
[0016]图9是概略表示所述记录头的自旋转矩振荡元件的自旋波发生状态的图。
[0017]图10是从滑块的盘相对面侧观察第2实施方式涉及的磁盘装置的记录头所见的俯视图。
[0018]图11是从滑块的盘相对面侧观察第3实施方式涉及的磁盘装置的记录头所见的俯视图。
【具体实施方式】
[0019]以下一边参照附图一边对各种实施方式进行说明。
[0020](第1实施方式)
[0021]图1作为磁记录装置表示第1实施方式涉及的硬盘驱动器(HDD)的内部构造。如图1所不，HDD具备壳体10。该壳体10具备:上面开口的矩形箱状的基体11 ;和未图不的矩形板状的顶盖。顶盖通过多个螺钉而螺纹紧固于基体、将基体的上端开口封闭。由此，壳体10内部保持气密，仅能够通过呼吸滤清器26与外部通气。
[0022]在基体11上设有作为记录介质的磁盘12以及驱动部。驱动部具备:支撑磁盘12并使其旋转的主轴马达13 ;对磁盘12进行信息的记录与再现的多个例如2个磁头33 ;将这些磁头33支撑得相对于磁盘12的表面移动自如的头致动器14 ;和使头致动器转动以及定位的音圈马达(以下称为VCM) 16。另外，在基体11上设有:斜坡载荷(ramped load)机构18，其在磁头33移动到磁盘12的最外周移动时，将磁头33保持于从磁盘12隔离开的位置；惯性闩锁(inertia latch) 20，其在冲击等作用于HDD时，将头致动器14保持于退让位置；以及安装有转换连接器37等电子部件的基板单元17。
[0023]磁盘12同轴地嵌合于主轴马达13的轮毂(hub)并且由螺纹紧固于轮毂上端的卡簧21卡紧、固定于轴。磁盘12因作为驱动马达的主轴马达13而以预定速度向箭头B方向旋转。
[0024]在基体11的外面螺纹紧固有控制电路基板25，该控制电路基板25位置与基体11的底壁相对。控制电路基板25经由基板单元17而控制主轴马达13、VCM16以及磁头33的工作。
[0025]图2表示磁盘以及悬浮状态的磁头。如图1以及图2所示，磁盘12构成为垂直磁记录膜介质。磁盘12具有例如形成为直径约2.5英寸的圆板状且含非磁性体的基体19。在基体19的各表面，依次层叠有:作为基底层的软磁性层23 ;和位于软磁性层23的上层部的、在相对于盘面垂直的方向上具有磁各向异性的垂直磁记录层22以及保护层24。
[0026]头致动器14具备:固定于基体11的底壁上的轴承部15 ;从轴承部延伸出的多个臂27 ;和能够弹性变形的细长板状的悬架30。关于悬架30，其基端通过点焊或粘接而固定于臂27的前端，从臂伸出。在各悬架30的延伸端经由万向弹簧41而支撑磁头33。磁头33经由固定于悬架30以及臂27的布线构件(中继FPC) 35电连接于基板单元17的主FPC38。
[0027]如图2所示，磁头33构成为悬浮型的头，具有:大致形成为长方体状的滑块42 ；和在滑块的流出(后续)侧端部形成的头部44。滑块42由例如氧化铝与碳化钛的烧结体(AlTiC)形成，头部44是层叠薄膜而形成的。
[0028]滑块42具有与磁盘12的表面相对的矩形状的盘相对面(空气支撑面(ABS)) 43。滑块42利用由于磁盘12的旋转而在盘表面与盘相对面43之间产生的气流C,维持从磁盘表面悬浮预定量的状态。气流C的方向与磁盘12的旋转方向B—致。滑块42相对于磁盘12表面配置，使得盘相对面43的长度方向与气流C的方向大致一致。滑块42具有位于气流C的流入侧的前导(leading)端42a以及位于气流C的流出侧的后续(trailing)端42b ο
[0029]通过在磁盘12旋转的状态下向VCM16的音圈通电，头致动器14转动，磁头33移动到磁盘12的所希望的磁道上并定位。此时，磁头33沿着磁盘12的径向在磁盘的内周缘部与外周缘部之间移动。另外，利用由磁盘12的旋转而产生的气流C，磁头33从磁盘12的表面悬浮、隔着微小间隙而与盘表面相对。
[0030]接下来，对磁头33的头部44的构成进行详细说明。图3是放大表示磁头33的头部44的剖视图，图4是放大表示记录头的磁盘侧端部的剖视图，图5是从滑块的盘相对面(ABS)侧观察记录头部分所见的俯视图。
[0031]如图3以及图4所示，头部44具有在滑块42的后续端42b通过薄膜加工而形成的再现头54以及记录头56，形成为分离型磁头。
[0032]再现头54包括:显示磁阻效应的磁性膜50 ;和在该磁性膜的后续侧以及前导侧以夹着磁性膜50的方式配置的屏蔽膜52a、52b。该磁性膜50、屏蔽膜52a、52b的下端在滑块42的盘相对面43露出。
[0033]记录头56相对于再现头54设置于滑块42的后续端42b侧。记录头56具有:主磁极66，其包含产生相对于磁盘12的表面垂直方向的记录磁场的高饱和磁化材料；写屏蔽磁极(返回轭，return yoke) 68，其由强磁性体材料形成且隔开写间隙WG而配置于主磁极66的后续侧；记录线圈71，其配置成卷绕于包含主磁极6