专利名称：桥接与连续性测试的测试式样的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种测试式样(test key)，尤其涉及一种用于静态随机存储器(SRAM)测试桥接(bridging)与连续性(continuity)的测试式样。
背景技术：
在静态随机存储器的设计中，金属内连接布局具有钩状(hook shape)转角(corners)与末端(ends)是很普遍的。因此，在这些临界区域容易发生桥接与连续性的电性降低(degradation)的问题。利用传统的平行直线设计的测试式样，无法满足多钩状转角与末端的测试。测试式样的失真，不但无法充分反应元件在制程中的形成情形，例如微影与蚀刻，甚至，可能误导对实际形成情形的判断，造成元件成品率的下降与报废。再者，若是针对各种测试皆须不同的测试式样，则测试成本增加，不利于元件的生产。因此，现有的测试式样，对于测试SRAM记忆胞(memory cell)中的桥接与连续性存在困难。
发明内容
本发明所要解决的技术问题在于，提供一种测试式样，其可用于SRAM中测试桥接与连续性，其式样近似实际记忆胞中金属布局，具有钩状转角与末端，可更接近实际情形的测试式样。
为了解决上述技术问题，本发明提供一种测试式样，用于静态随机存储器之桥接与连续性的测试，此测试式样包含至少一个测试单元，其由一第一股(strand)与一第二股以一相嵌方式组成，其特征在于，任一股由一封口钩部(closed hook)、对应的一延伸部(extension)与对应的一连接部(connection)组成；任一连接部可通过至少一第一测试垫(test pad)电性连接至一外部电压，其中第一股封口钩部与第二股的封口钩部平行；任一封口钩部与对应的延伸部之间形成至少一转角(corner)，使得第一股的封口钩部相邻且平行于第二股的封口钩部与第二股的延伸部；以及延伸部与对应的连接部之间形成另一转角，使得第一股的连接部相邻且平行于第二股的延伸部，如此以构成所述的相嵌方式。
本发明的测试式样的优点之一在于，以测试单元组合而成的测试式样，与实际SRAM中金属布局(metal layout)相似，也就是具有多个钩状转角与末端，如此对于测试末端与转角都有帮助，同时也可以监控末端与转角在微影与蚀刻制程中的成品率。本发明的测试式样的另一优点在于，利用一种测试式样，便可以进行桥接与连续性的测试，不需多种式样，这样可减少测试所需的成本。
下面结合具体实施例配合所附的附图对本发明进行进一步的说明。
图1为本发明的测试单元的正视示意图。
图2为本发明的包含多个测试单元的测试式样的正视示意图。
图3为本发明可用于桥接与连续性测试的测试式样的正视示意图。
标号说明10测试垫区10’测试垫区12测试垫12’测试垫14测试垫14’测试垫16封口钩部
16’封口钩部18延伸部18’延伸部20连接部20’连接部具体实施方式
本发明的测试式样设计可被广泛地应用到许多半导体测试设计中，本发明通过一较佳实施例来说明本发明测试式样，本领域内普通技术人员应了解许多的式样设计可以改变，材料也可替换，这些一般的替换无疑地涵盖在本发明的保护范围内。
其次，本发明用示意图详细描述如下，在详述本发明实施例时，表示测试式样的正视图在半导体测试设计中会不依一般比例作局部放大以利说明，不应以此作为对本发明的限定。此外，在实际的制作中，应包含长度、宽度及深度的三维空间尺寸。
图1为本发明的测试单元的正视示意图。本发明所提供一种测试式样，即包含至少一个测试单元。如图1所示，测试单元”B”，由两股以一相嵌方式组成。任一股由一封口钩部16(或16’)、对应的一延伸部18(或18’)与对应的一连接部20(或20’)组成。任一连接部20或20’可通过至少一测试垫(test pad)(图上未示)电性连接至一外部电压。其中一股封口钩部16与另一股的封口钩部16’平行；任一封口钩部16(或16’)与对应的延伸部18(或18’)之间形成至少一转角，使得一股的封口钩部16相邻且平行于另一股的封口钩部16’与延伸部18’。延伸部18(或18’)与对应的连接部20(或20’)之间形成另一转角，使得一股的连接部20相邻且平行于另一股的延伸部20’，如此以构成所述的相嵌方式。进一步地，连接部20(或20’)还用以向外连接其它的测试单元。
图2为本发明的包含多个测试单元的测试式样的正视示意图。图2所示可用于SRAM的桥接测试，以图1的测试单元”B”为基本，与另一测试单元”反B”相接，而形成所需的测试式样。也就是测试单元”B”的一股的连接部20’的一端与另一测试单元”反B”的一股的连接部20’相连接。测试单元”B”的一股的连接部20’的另一端同时与对应的延伸部18’与测试垫12’相连接，其中测试垫12’可集中位于一测试垫区10’。
再者，测试单元”B”的另一股的延伸部18与另一测试单元”反B”的另一股的延伸部18相邻且平行。测试单元”B”的另一股的连接部20与另一测试单元”反B”的另一股的连接部20相连接。此外，另一测试单元”反B”的另一股的连接部20与测试垫12相连接至一其它外部电压，其中测试垫12可集中位于一测试垫区10。当在测试垫12’与测试垫12施加两外部电压，可用作桥接测试。
图3为本发明可用于桥接与连续性测试的测试式样的正视示意图。同样以图1所示的测试单元为单元延伸。所变形的是任一封口钩部16(或16’)包含对应的测试垫14(或14’)电性连接至另一外部电压。进一步地，测试垫12’与测试垫12则直接位于各股的连接部20’(或20)上。要说明的是，封口钩部16(或16’)或是连接部20(或20’)可视容纳各测试垫而调整其局部宽长。
进一步地，在任一延伸部18(或18’)内包含对应的至少一转角，使得第一股的延伸部18的一部份相邻且平行于第二股的延伸部18’的一部份。当要进行连续测试时，可对测试垫12与14，或是测试垫12’与14’施加外部电压，这样就可进行连续性测试。可选择地，当要进行桥接测试时，可对测试垫12与14’，或是测试垫12’与14施加外部电压即可进行测试。
因此，本发明提供一种测试式样，用于静态随机存储器的桥接的测试，其包含至少两个测试单元，每一测试单元由一第一股与一第二股以一相嵌方式组成。其特征为任一股由一封口钩部、对应的一延伸部与对应的一连接部组成；任一连接部可通过至少一第一测试垫电性连接至一外部电压；其中第一股封口钩部与第二股的封口钩部平行；任一封口钩部与对应的延伸部之间形成至少一第一转角，使得第一股的封口钩部相邻且平行于第二股的封口钩部与第二股的延伸部；延伸部与对应的连接部之间形成一第二转角，使得第一股的连接部相邻且平行于第二股的延伸部，以构成该相嵌方式。再者，本发明特征还包含此测试单元的第一股的连接部的一端与另一测试单元的第一股的连接部相连接；此测试单元的第一股的连接部的另一端同时与对应的延伸部与第一测试垫相连接；此测试单元的第二股的延伸部与另一测试单元的第二股的延伸部相邻且平行；此测试单元的第二股的连接部与另一测试单元的第二股的连接部相连接；及另一测试单元的第二股的连接部与一第二测试垫相连接至一其它外部电压，当施加两外部电压于第一测试垫与第二测试垫时，可用作桥接测试。
再者，本发明进一步提供一种测试式样，用于静态随机存储器的桥接与连续性的测试，其包含至少一个测试单元，测试单元由一第一股与一第二股以一相嵌方式组成，特征在于任一股由一封口钩部、对应的一延伸部与对应的一连接部组成；任一连接部包含对应的至少一第一测试垫电性连接至一外部电压，以及任一封口钩部包含对应的至少一第二测试垫电性连接至另一外部电压。其中第一股封口钩部与第二股的封口钩部平行。任一封口钩部与对应的延伸部之间形成至少一第一转角，使得第一股的封口钩部相邻且平行于第二股的封口钩部与第二股的延伸部。延伸部与对应的连接部之间形成一第二转角，使得第一股的连接部相邻且平行于第二股的延伸部，以构成该相嵌方式，如此可供选择性地在不同的测试垫上施加电压，可同时作为桥接与连续性的测试。
以上所述的实施例仅为了说明本发明的技术思想及特点，其目的在使本领域的技术人员能够了解本发明的内容并据以实施，本发明的内容并不局限于上述具体实施例，即凡依本发明所揭示的精神所作的等同变化或修饰，仍应涵盖在本发明的专利范围内。
权利要求
1.一种桥接与连续性测试的测试式样，用于静态随机存储器的桥接与连续性的测试，该测试式样包含至少一个测试单元，该测试单元由一第一股与一第二股以一相嵌方式组成，其特征在于任一所述股由一封口钩部、对应的一延伸部与对应的一连接部组成，任一所述连接部可通过至少一第一测试垫电性连接至一外部电压，其中该第一股封口钩部与该第二股的封口钩部平行、任一该封口钩部与对应的该延伸部之间形成至少一第一转角，使得该第一股的封口钩部相邻且平行于该第二股的封口钩部与该第二股的延伸部、以及该延伸部与对应的该连接部之间形成一第二转角，使得该第一股的连接部相邻且平行于该第二股的延伸部，以构成所述相嵌方式。
2.根据权利要求1所述的桥接与连续性测试的测试式样，当用于桥接的测试时，进一步包含至少两个该测试单元，其特征在于该测试单元的第一股的连接部的一端与另一该测试单元的第一股的连接部相连接，以及该测试单元的第一股的连接部的另一端同时与对应的该延伸部与该第一测试垫相连接；该测试单元的第二股的延伸部与另一该测试单元的第二股的延伸部相邻且平行；该测试单元的第二股的连接部与另一该测试单元的第二股的连接部相连接；及另一该测试单元的第二股的连接部与一第二测试垫相连接至一其它外部电压，当在该第一测试垫与该第二测试垫施加该两外部电压时，可用以作为桥接测试。
3.根据权利要求1所述的桥接与连续性测试的测试式样，其特征在于，其中任一该延伸部进一步包含对应的至少一第三转角，使得该第一股的延伸部的一部份相邻且平行于该第二股的延伸部的一部份。
4.根据权利要求3所述的桥接与连续性测试的测试式样，其特征在于，其中任一该股的封口钩部包含对应的至少一第二测试垫。
5.根据权利要求4所述的桥接与连续性测试的测试式样，其特征在于，其中在该第一股的封口钩部所对应的第二测试垫与该第一股的连接部所对应的第一测试垫施加电压时，可用作连续性测试。
6.根据权利要求4所述的桥接与连续性测试的测试式样，其特征在于，其中在该第二股的封口钩部所对应的第二测试垫与该第二股的连接部所对应的第一测试垫施加电压时，可用作连续性测试。
7.根据权利要求4所述的桥接与连续性测试的测试式样，其特征在于，其中在该第一股的封口钩部所对应的第二测试垫与该第二股的连接部所对应的第一测试垫施加电压时，可用作桥接测试。
8.根据权利要求4所述的桥接与连续性测试的测试式样，其特征在于，其中在该第二股的封口钩部所对应的第二测试垫与该第一股的连接部所对应的第一测试垫施加电压时，可用作桥接测试。
9.一种桥接与连续性测试的测试式样，用于静态随机存储器的桥接与连续性的测试，该测试式样包含至少一个测试单元，该测试单元由一第一股与一第二股以一相嵌方式组成，其特征在于任一该股由一封口钩部、对应的一延伸部与对应的一连接部组成，任一该连接部包含对应的至少一第一测试垫电性连接至一外部电压，以及任一该封口钩部包含对应的至少一第二测试垫电性连接至另一外部电压，其中该第一股封口钩部与该第二股的封口钩部平行、任一该封口钩部与对应的该延伸部之间形成至少一第一转角，使得该第一股的封口钩部相邻且平行于该第二股的封口钩部与该第二股的延伸部、以及该延伸部与对应的该连接部之间形成一第二转角，使得该第一股的连接部相邻且平行于该第二股的延伸部，以构成该相嵌方式。
10.根据权利要求9所述的桥接与连续性测试的测试式样，其特征在于，其中在任一该延伸部内进一步包含对应的至少一第三转角，使得该第一股的延伸部的一部份相邻且平行于该第二股的延伸部的一部份。
11.根据权利要求9所述的桥接与连续性测试的测试式样，其特征在于，其中在该第一股的封口钩部所对应的第二测试垫与该第一股的连接部所对应的第一测试垫施加电压时，可用作连续性测试。
12.根据权利要求9所述的桥接与连续性测试的测试式样，其特征在于，其中在该第二股的封口钩部所对应的第二测试垫与该第二股的连接部所对应的第一测试垫施加电压时，可用作连续性测试。
13.根据权利要求9所述的桥接与连续性测试的测试式样，其特征在于，其中在该第一股的封口钩部所对应的第二测试垫与该第二股的连接部所对应的第一测试垫施加电压时，可用作桥接测试。
14.根据权利要求9所述的桥接与连续性测试的测试式样，其特征在于，其中在该第二股的封口钩部所对应的第二测试垫与该第一股的连接部所对应的第一测试垫施加电压时，可用作桥接测试。
15.一种桥接与连续性测试的测试式样，用于静态随机存储器的桥接的测试，该测试式样包含至少两个测试单元，每一该测试单元由一第一股与一第二股以一相嵌方式组成，其特征在于任一该股由一封口钩部、对应的一延伸部与对应的一连接部组成，任一该连接部可通过至少一第一测试垫电性连接至一外部电压，其中该第一股封口钩部与该第二股的封口钩部平行、任一该封口钩部与对应的该延伸部之间形成至少一第一转角，使得该第一股的封口钩部相邻且平行于该第二股的封口钩部与该第二股的延伸部、以及该延伸部与对应该连接部之间形成一第二转角，使得该第一股的连接部相邻且平行于该第二股的延伸部，以构成该相嵌方式；该测试单元的第一股的连接部的一端与另一该测试单元的第一股的连接部相连接，以及该测试单元的第一股的连接部的另一端同时与对应的该延伸部与该第一测试垫相连接；该测试单元的第二股的延伸部与另一该测试单元的第二股的延伸部相邻且平行；该测试单元的第二股的连接部与另一该测试单元的第二股的连接部相连接；及另一该测试单元的第二股的连接部与一第二测试垫相连接至一其它外部电压，当在该第一测试垫与该第二测试垫施加两处部电压时，可用作桥接测试。
全文摘要
本发明提供一种测试式样，用于静态随机存储器的桥接与连续性的测试。此测试式样包含至少一个测试单元，由一第一股与一第二股以一相嵌方式组成。其特征之一为任一股由一封口钩部、对应的一延伸部与对应的一连接部组成。其次，任一连接部可通过至少一第一测试垫电性连接至一外部电压，其中第一股封口钩部与第二股的封口钩部平行，任一封口钩部与对应的延伸部之间形成至少一转角，使得第一股的封口钩部相邻且平行于第二股的封口钩部与第二股的延伸部。进一步地，延伸部与对应的连接部之间形成另一转角，使得第一股的连接部相邻且平行于第二股的延伸部，如此以构成所谓的相嵌方式。
文档编号H01L23/544GK1610086SQ200310108059
公开日2005年4月27日 申请日期2003年10月21日 优先权日2003年10月21日
发明者何军, 李栋, 冷德学, 蔡孟锦 申请人:上海宏力半导体制造有限公司