专利名称：用于在制造设施中控制材料流的方法和系统的制作方法
技术领域：
本发明涉及诸如在半导体制造设施中使用的制造设施控制的领域，具体地，本发明涉及用于使用扩展的控制区域来在制造设施中控制材料流的方法、系统和计算机程序产品。
背景技术：
在制造设施(例如半导体制造设施)中必须回答的关键问题之一是“当工具变得空闲时在工具上下一步运行哪一批次 ”。这被称为“下一步是什么”的分派决定(dispatch decision)以及通过当前被一般称为“下一个是什么模块”(What-Next-Module)(WNM)来决定。这种决定是分层的一组匹配(将设备与需求匹配(assets with demand))决定的一个，其中，设备(assets)(例如制造工具)可以执行几个制造工艺的一个，并且需求是需要由该工具可以执行的一个制造工艺的批次(例如晶片批次)。WNM必须保证不违反各种系统限制(例如容量限制、批次对工具的兼容性、批量大小限制等)。可以通过业务指南来建立其他的限制(例如批次类型对工具专用策略，工具特定禁止项，工具中的阶段等)。在这些限制内，WNM试图处理一系列分派量度(dispatchingmetrics)，包括优先级、到期日、与批次相关联的设置、最大批量大小、未完工作(WIP)平衡和在所述制造设施上的同步。
分派理想上根据诸如如上所述的那些限制和量度来识别用于优化总的供应链的位置的要在工具上运行的下一批次。当前基于分派的系统通常依赖于基于实时列表(real-time list)的调度(schedule)，其中，可以根据所识别的判断标准来分类立即可用于分派的批次，并且根据这个优先级排序来释放各个批次。这些通常被称为“机会主义的分派系统”。有相当多的现有技术用于处理这种基于列表的分派。一种公知的方法是基于临界比(critical ratio)的概念，所述临界比被定义如下临界比＝(批次到期日-当前日期)/(处理所需标准天数)。
当前的分派方法关注于在工具上(即在局部的控制区域中)当前正等待处理的或者很快要处理的批次。在这种情况下，不知道上游行为、下游要求和未来的分派决定(即在扩展的控制区域中)。这样的信息——如果适当地被利用——可以用于增强在制造设施内的各个工具的性能，并且作为结果，可以增强整体的制造性能。
发明内容
本发明一般地提供一种方法、系统和计算机程序产品，用于使用扩展的控制区域来在制造设施中控制材料流。
本发明的第一方面涉及一种用于在制造设施中控制材料流的方法，包括建立扩展的控制区域，其包括高冲击成套工具(high impact tool set)和至少一个其他成套工具；在所述高冲击成套工具处分析计划中的工作到达；以及，根据在所述高冲击成套工具处的计划中的工作到达的分析来调整在所述高冲击成套工具和所述至少一个其他成套工具之间的材料流。
本发明的第二方面涉及一种用于在制造设施中控制材料流的系统，包括用于建立扩展的控制区域的系统，所述扩展的控制区域包括高冲击成套工具和至少一个其他成套工具；策略器(game planner)，用于在所述高冲击成套工具处分析计划中的工作到达，以及用于根据在所述高冲击成套工具处的计划中的工作到达的分析来调整在所述高冲击成套工具和所述至少一个其他成套工具之间的材料流。
本发明的第三方面涉及在计算机可读介质中存储的程序产品，用于在制造设施中控制材料流，所述计算机可读介质包括用于执行下述步骤的程序代码建立扩展的控制区域，其包括高冲击成套工具和至少一个其他成套工具；在所述高冲击成套工具处分析计划中的工作到达；以及，根据在所述高冲击成套工具处的计划中的工作到达的分析来调整在所述高冲击成套工具和所述至少一个其他成套工具之间的材料流。
通过本发明的实施例的更具体的说明，本发明的上述和其他特征将变得清楚。
图1描述按照本发明的一个实施例的包括策略器(GP)和扩展的控制区域(EZOC)的说明性系统。
图2描述按照本发明的一个实施例的用于使用EZOC在制造设施中控制材料流的处理的说明性流程图。
图3描述按照本发明的一个实施例的用于建立EZOC的处理的说明性流程图。
图4描述按照本发明的一个实施例的在试图改善EZOC的性能中通过GP执行的步骤的说明性流程图。
图5描述按照本发明的一个实施例的用于实现方法的说明性计算机系统。
所述附图仅仅是示意的表示，不意欲描绘本发明的具体参数。所述附图意欲仅仅描述本发明的典型实施例，因此不应当被考虑作为限定本发明的范围。在所述附图中，类似的标号表示类似的元件。
具体实施例方式
通常通过三种方法之一来控制关于在给定工具上下一步要进行什么工作的决定(a)本地机会主义清扫，用于一旦工具变得空闲则迅速地寻找要分派到工具(即机器)的最佳批次；(b)在指定的成套工具(包括一个或多个工具)处在某个时间范围上建立固定的序列时间表；以及(c)对诸如在时间表后的数量、未完工作(WIP)分布或循环时间阻尼(dampening)之类的全局重要性指标(indicator)的流控制驱动。本地控制代理(Local Control Agent)(LCA)是决定技术部件，它根据它使用的任何一种方法和它考虑的任何因素来向其成套工具分派批次。由LCA考虑的因素的示例可以包括工具特性(例如，上/下工具的数量、维修的预期时间、当前设置状态(setup state)、用于处理不同类型的作业的设置时间)、WIP特性(例如全局作业重要性、可用性、数量、处理时间)和业务策略参数。每个LCA根据其本地和全局的域知识来操作其本身的成套工具。假定，可以在生产模式(用于向实际工具分派实际批次)中和在模拟假设分析(what-if)模式中执行每个LCA。
本发明提供了策略器(GP)，用于改善在扩展的控制区域(EZOC)中的一组LCA的协调。在图1中描述了按照本发明的一个实施例的说明性GP 100和EZOC 102。所述EZOC 102包括高冲击成套工具(HITS)104(例如在半导体产业中的熔炉成套工具)、上游成套工具106、下游成套工具108和关键下游成套工具(KDTS)112。按照各自的LCA 110来调度或分派HITS 104、每个上游成套工具106、每个下游成套工具108和每个关键下游成套工具(KDTS)112。上游成套工具106被选择作为用于处理被预期在指定持续时间内(例如在指定的累积循环时间内或在上游成套工具106和HITS 104之间的总的粗加工(rawprocess)时间内)到达HITS 104的作业的那些成套工具。
HITS 104是用于在EZOC 102内的调度目的的关注区域，并且它通常包括如果制造设施未适当地进行调度，则会限制制造设施的整体吞吐量的一组设备。HITS 104可以是这样的成套工具，其生产率高度依赖于可用于批次分配的作业的混合。在例如半导体产业中，熔炉成套工具是HITS 104的一个示例(光刻和离子注入成套工具是其他示例)。熔炉成套工具对于可获得的作业的混合敏感，因为在单一批次中只能一起处理具有共享熔炉处理特性的作业。期望在熔炉操作中运行满批次，所述熔炉操作要求多个作业共享相同熔炉操作参数。同时，不期望在熔炉成套工具等待足够的具有相同操作参数的批次以达到满批次时，使熔炉成套工具成为空闲。因此，在EZOC 102内，GP 100协作和同步上游成套工具106的调度，以便HITS 104(例如熔炉成套工具)趋向于能够运行满批次，并且进一步使得HITS 104的输出趋向于包括不久可以在下游成套工具108、特别是在任何感兴趣的关键下游成套工具(KDTS)112上要被处理的作业。KDTS 112的目的是防止来料不足(由于在KDTS 112内的空闲工具)，并且避免等待由KDTS 112处理的、大量的过量未完工作(WIP)。但是，优化材料到KDTS 112的流动对于GP的优化HITS 104的目的来说可以是是次要重要的。GP 100通过与各自的LCA 110合作和迭代地工作而优化HITS 104和KDTS 112。GP 100通过影响——不控制——由LCA 110做出的无数决定(例如下一步的决定是什么)而将此完成。如图1中所述，LCA 110向GP 100提供诸如计划的输出、批次状态/到达、和工具状态之类的信息。GP 100向LCA 110提供诸如批次到达预报和LCA控制参数之类的信息。
图2说明了按照本发明的一个实施例的用于使用EZOC 102在制造设施中控制材料流的处理的流程图200。参见在图1中说明的系统部件，下面说明流程图200和其他相关联的流程图。
在步骤S201，建立EZOC 102的基础结构。在图3描述的流程图300中更详细地说明了EZOC 102的建立。具体地，在步骤S301中，识别HITS 104。可以例如根据人的判断来识别HITS 104；它通常是一组设备，如果制造设施未被适当地调度，它可以限制制造设施的整体吞吐量，并且它可以是这样的成套工具，其生产率高度依赖于可用于批次分配的作业的混合。还能够使用用于识别HITS 104的自动化方法。
在步骤S302中，识别一个或多个上游成套工具106。例如，上游成套工具106通常被识别为用于处理被预期在指定持续时间内(例如在指定的累积循环时间内或在上游成套工具106和HITS 104之间的总的粗加工时间内)到达HITS 104的作业的那些成套工具。在步骤S303，识别一个或多个KDTS 112。KDTS 112可以例如根据人的判断来识别，并且通常是那些下游成套工具108，对于所述下游成套工具108，避免来料不足和过量的WIP堆集是重要的。也可以再次使用用于选择KDTS 112的自动化方法。最后，在步骤S304，将用于处理在HITS 104和KDTS 112之间的作业的剩余成套工具识别为下游成套工具108。因为通常不需要很经常(例如每天)地建立EZOC 102，仅仅需要定期地执行步骤S301到S304，其对应于图2的步骤S201。但是，通常更频繁地执行流程图200的剩余步骤(下述)。
在流程图200的步骤S202，启动GP 100。这可以响应于多种条件和事件而发生，例如为在EZOC 102内的工具上的作业的完成。另一个示例是如果关键工具变得不可用并且其维修时间预期长。另一个示例是如果早期出乎意料地维修关键工具。被持有(put on hold)、脱离(take off hold)或废弃(scrapped)的WIP作业也可以用于启动GP 102。在步骤202，从制造执行系统(MES)220馈送工具和WIP的变化。从批次分配的角度来看，MES 220用于跟踪和报告制造场地(floor)的状态(例如在生产线中的WIP的位置、哪些工具/机器正在处理WIP、可以获得处理、或者处在维修中)。从制造生产的角度来看，MES 220也将便利事务(transactions)的执行，所述事务诸如是在成套工具之间移动WIP和将WIP从成套工具分段运送(staging)区域向特定工具上移动以及记录机器/工具的故障和维修的那些事务。制造执行系统有时被称为“车间控制系统”。当自其最后的运行起的过去时间大于预定的时段时，也可以触发GP 100。在任何情况下，一旦触发了GP 100，就执行步骤S203。
在步骤S203，获得WIP数据和工具状态信息。对于在EZOC 102内的成套工具处正在处理的、或者在EZOC 102内的成套工具处等待处理的、或者被传送到EZOC 102内的成套工具处的所有WIP作业，由MES 220提供WIP数据和工具状态信息。每个作业被置于三个分组的一个中非EZOC、EZOC-A和EZOC-B。非EZOC作业要求由EZOC 102的成套工具的一个进行的处理，但是不要求在HITS 104上的处理，直到它们已经离开EZOC 102后为止(这些作业可以不曾在HITS 104上被处理)。EZOC-A作业在离开EZOC 102之前将被HITS 104和KDTS 112处理。EZOC-B作业在被HITS 104处理后将离开EZOC 102，并且在离开EZOC 102之前不被KDTS 112处理(如果有的话)。在如下所述的EZOC 102的模拟中考虑这些作业分组的每一个。除了检索EZOC 102的WIP数据之外，步骤S203还从MES 220接收关于工具状态的最新信息(例如在每个成套工具内的上和下的工具的数量、维修的预期剩余时间、工具处理时间(times)等)。
在步骤S204，进行用于改进EZOC 102的性能的一个或多个尝试。如果在步骤S205确定应当停止“改进尝试”迭代，则流程进行到步骤S206，并且GP 100处理结束。如果否定，则流程返回到步骤S204，在这里，进行另一个改进尝试。GP 100的停止判断标准可以基于过去时间、总的迭代次数、自最近显著改进起的总的迭代次数等等。在步骤S206，在步骤S204中提供的改进的参数——如果有的话——被传送到在生产环境中的相关联的“实际世界”LCA 110。
在一个优选实施例中，步骤S204充分迅速地执行以在执行时间期间有对于MES 220的改变的低似然性。但是，在具有较慢执行步骤S204的另一个实施例中，在没有新的WIP/工具数据的情况下，在S204的迭代已经发生了特定时段之后，处理流可以从步骤S205返回到步骤S203(如在虚线(phantom)中所示)，此时可以从MES 220收集新的一组WIP和工具状态信息。
图4说明了在试图改进EZOC 102的性能中由GP 100执行的步骤的流程图400。在步骤S401，模拟作业到达EZOC 102内的每个成套工具。GP 100通过首先在EZOC 102中模拟最上游的成套工具、然后是第二最上游的成套工具等等直到最后已经模拟了所有的KDTS 112来做这件事。在任何给定成套工具处的作业到达是当前在所述成套工具处的那些加上根据通过任何先前的成套工具的模拟所输出的作业而计划到达的那些。同样，由一个成套工具输出的作业可以被输入到在作业行程中的下游的下一个成套工具。这些模拟可以确定地或随机地进行，并且在任何情况下在每个成套工具处调用LCA110的下一步是什么逻辑的内容。在步骤S401完成时，根据LCA 110的现有条件和参数以及政策内容来知道在每个成套工具处的到达WIP(包括其特性)。
在步骤S402，检查从KDTS 112角度看的模拟结果。通过分析在模拟结果中的KDTS 112来料不足或过量的WIP的发生(incidence)，可以向HITS 104的LCA 110提供关于下述的指示如果要具体化不同的作业混合或输出速率，是否更期望HITS 104的输出。同样，HITS 104的LCA 110可以调整其(模拟的)参数，以便在KDTS 112处减轻对于来料不足或过量WIP的任何影响。
在步骤S403，使用步骤S402的分析结果来作为部分的目的，检查在其性能上以及相对于各种其他目的的HITS 104输出。这样的目的的示例可以包括相对于目标的计划输出、相对于目标的独立批次的等待时间/时延、循环时间、生产速率等。步骤403试图识别诸如HITS 104部分批量(例如由于要求相同设置的不足数量的作业)和等待太长时间被处理的WIP作业——特别是高优先级作业——之类的未经勘察的机会。步骤S403选择下述的一些未经勘察的组合进入HITS 104的作业的到达时间上的改变；在HITS 104处等待的作业的优先级上的改变；在HITS 104的LCA 110参数上的改变(例如大批量对循环时间的相对重要性等)。根据它们改进解决方案的潜力来选择未经勘察的组合。步骤S403试验性地进行所述改变，并且重新运行HITS 104的LCA110以确定对于EZOC 102的整体性能，结果产生的影响是否表现为更好。如果是并且所述改变涉及在HITS 104处作业到达上的差别，则GP 100将控制转到步骤S404，其确定是否上游成套工具106能够向HITS 104提供修订的作业顺序和时序。在步骤S404，使用修订的参数(例如修订的作业优先级)以模拟模式来执行上游LCA 110，以确定是否可以取得向HITS 104提供一组改进的作业。如果肯定，则在步骤S405，使用修订的政策和参数设置来模拟EZOC 102的整体材料流(类似于步骤S401)。如果这导致对于EZOC 102性能的整体改善，则在步骤S406预订(book)在“模拟世界视图”中的结果产生的策略/参数。在任何情况下，在步骤S406之后，控制返回图2的步骤S205，用于改进EZOC 102性能的迭代尝试继续，直到已经达到了停止判断标准为止。
通过提高HITS 104和KDTS 112的利用和效率，本发明的使用导致制造设施的改善的性能(或当操作被分散在不同地理位置上时的多个设施)。由本发明提供的另一个优点是它使得可以根据其本地信息的下层特性来优化每个LCA 110。每个LCA 110可以具有其本身的方法和控制结构。
图5描述了按照本发明的一个实施例的用于使用扩展的控制区域来在制造设施中控制材料流的计算机系统500。计算机系统500被提供在计算机基础结构502中。计算机系统500意欲表示能够执行本发明的教程的任何类型的计算机系统。例如，计算机系统500可以是膝上型计算机、台式计算机、工作站、手持设备、服务器、一组计算机等。另外，如下进一步所述，计算机系统500可以通过服务提供器部署和/或操作，所述服务提供器提供按照本发明的用于使用扩展的控制区域来在制造设施中控制材料流的服务。应当明白，用户504可以直接地访问计算机系统500，或可以操作一个通过网络506(诸如因特网、广域网(WAN)、局域网(LAN)、虚拟专用网络(VPN)等)而与计算机系统500通信的计算机系统。在后者的情况下，在计算机系统500和用户操作的计算机系统之间的通信可以经由各种类型的通信链路的任何组合而发生。例如，所述通信链路可以包括可寻址的连接，它们可以利用有线和/或无线传输方法的任何组合。当经由因特网而发生通信时，可以通过传统的基于TCP-IP套接字(socket)的协议来提供连接，并且可以使用因特网服务提供器来建立到因特网的连接。
计算机系统500被示出包括处理单元508、存储器510、总线512和输入/输出(I/O)接口514。而且，计算机系统500被示出与外部设备/资源516和一个或多个存储系统518通信，通常，处理单元508执行在存储器510和/或存储系统518中存储的诸如策略器系统530之类的计算机程序代码。当执行计算机程序代码时，处理单元508可以在/从存储器510、存储系统518和/或输入/输出接口514上读取和/或写入数据。总线512在计算机系500的每个部件之间提供通信链路。外部设备/资源516可以包括用于使得用户能够与计算机系统500交互的任何设备(例如键盘、指示装置、显示器(例如显示器520)、打印机等))和/或使得计算机系统500能够与一个或多个其他计算设备通信的任何设备(例如网卡、调制解调器等)。
计算机基础结构502仅仅是说明可以用于实现本发明的各种类型的计算机基础结构。例如，在一个实施例中，计算机基础结构502可以包括通过网络(例如网络506)来进行通信以执行本发明的各种处理步骤的两个或多个计算设备(例如服务器组)。而且，计算机系统500仅仅表示可以用于本发明实践的许多类型的计算机系统，其中每个可以包括硬件/软件的多种组合。例如，处理单元508可以包括单个处理单元，或可以被分布在一个或多个位置上的一个或多个处理单元上，例如在客户机和服务器上。类似地，存储器510和/或存储系统518可以包括驻留在一个或多个物理位置上的各种类型的数据存储和/或传输媒体的任何组合。而且，输入/输出接口514可以包括用于与一个或多个外部设备/资源516交换信息的任何系统。而且，可以明白，在图5中未示出的一个或多个附加部件(例如系统软件、通信系统、高速缓冲存储器等)可以被包括在计算机系统500中。但是，如果计算机系统500包括手持设备等，则可以明白，一个或多个外部设备/资源516(例如显示器)和/或一个或多个存储系统518可以被包含在计算机系统500中，并且未在外部示出。
存储系统518可以是能够在本发明下提供信息的存储的任何类型的系统(例如数据库)。在这种情况下，存储系统518可以包括一个或多个存储设备，诸如磁盘驱动器或光盘驱动器。在另一个实施例中，存储系统518可以包括分布在例如局域网(LAN)、广域网(WAN)或存储区域网络(SAN)(未示出)上的数据。而且，虽然未示出，但由用户504操作的计算机系统可以包含与关于计算机系统500上述的那些类似的计算机化的部件。
在存储器510中示出了(例如作为计算机程序产品)策略器系统530，其用于使用扩展的控制区域来在制造设施中控制材料流。策略器系统530包括EZOC建立系统532，用于建立扩展的控制区域(例如图1的EZ0C 102)。由EZOC建立系统532通过识别高冲击成套工具(HITS)、上游成套工具、关键下游成套工具(KDTS)和其他下游成套工具来建立EZOC。策略器系统530还包括策略器534和启动系统536，所述启动系统536用于响应于一组预定的条件和/或事件来启动策略器534。
一旦被触发，对于在EZOC内的成套工具处正在处理的、或者在EZOC内的成套工具处等待处理的、或者被传送到EZOC内的成套工具处的所有WIP作业，策略器534从制造执行系统(MES)中获得WIP数据和工具状态信息。策略器534然后迭代地试图改进EZOC的性能，如参见图4中描述的流程图400的上述。EZOC的改进参数然后被策略器534传送到在制造设施中的相关联的LCA。
本发明可以被提供为在订金或收费基础上的业务方法。例如，可以由向消费者提供在此所述功能的服务提供器来建立、保持、支持和/或部署本发明的一个或多个部件。即，可以使用服务提供器来提供用于使用扩展的控制区域来在制造设施中控制材料流的服务，如上所述。
也应当明白，可以以硬件、软件、传播信号或其任何组合来实现本发明。任何种类的计算机/服务器系统——或适合于执行在此所述方法的其他装置——都是适当的。硬件和软件的典型组合可以包括通用计算机系统，它具有计算机程序，所述计算机程序当被安装和执行时，实现在此所述的各自方法。或者，可以使用专用计算机，它包含用于执行本发明的一个或多个功能任务的专用硬件。本发明也可以嵌入在计算机程序产品或传播信号中，所述计算机产品或传播信号包括使得能够实现在此所述方法的所有的各自特征，并且它当被安装到计算机系统中时能够执行这些方法。
本发明可以采取整体硬件实施例、整体软件实施例或包含硬件和软件元素的实施例的形式。在一个优选实施例中，以软件来实现本发明，所述软件包括但是不限于固件、驻留软件、微码等。
本发明可以采取可以从计算机可使用或计算机可读介质访问的计算机程序产品的形式，所述介质提供程序代码以由计算机或任何指令执行系统使用或与其相结合地使用。对于本说明书，计算机可使用或计算机可读介质可以是能够包含、存储、通信、传播或传送由指令执行系统、装置或器件使用或与其相结合使用的程序的任何装置。
所述介质可以是电、磁、光、电磁、红外线或半导体系统(或装置或器件)，或者是传播介质。计算机可读介质的示例包括半导体或固态存储器、磁带、可装卸计算机磁盘、随机存取存储器(RAM)、只读存储器(ROM)、硬磁盘和光盘。光盘的当前示例包括致密盘-只读盘(CD-ROM)、致密盘一读取/写入盘(CD-R/W)和数字通用盘(DVD)。
在本上下文中的计算机程序、传播信号、软件程序、程序或软件表示意欲使得具有信息处理能力的系统直接或在下述之一或两者之后执行特定功能的一组指令的、以任何语言、代码或符号的任何表达式(a)转换到另一个语言、代码或符号；和/或(b)以不同材料形式的再现。
本发明的优选实施例的上述说明已经给出用于图解和说明。它不意欲是穷尽性的或将本发明限定到所公开的精确形式，并且显然，许多修改和改变是可能的。对于本领域内的技术人员，显然，这些修改和改变意欲被包括在由所附权利要求限定的本发明的范围内。
权利要求
1.一种用于在制造设施中控制材料流的方法，包括建立扩展的控制区域，其包括高冲击成套工具和至少一个其他成套工具；在所述高冲击成套工具处分析计划中的作业到达；以及根据在所述高冲击成套工具处的计划中的作业到达的分析来调整在所述高冲击成套工具和所述至少一个其他成套工具之间的材料流。
2.按照权利要求1的方法，其中，所述至少一个其他成套工具包括上游成套工具。
3.按照权利要求2的方法，其中，所述上游成套工具包括用于处理在指定时段内预期到达高冲击成套工具的作业的成套工具。
4.按照权利要求1的方法，其中，所述至少一个其他成套工具包括下游成套工具。
5.按照权利要求4的方法，其中，所述下游成套工具包括关键下游成套工具。
6.按照权利要求5的方法，还包括调整在高冲击成套工具和关键下游成套工具之间的材料流，以防止关键下游成套工具的来料不足或在关键下游成套工具处堆集过量的未完成工作。
7.按照权利要求1的方法，其中，所述高冲击成套工具和所述至少一个其他成套工具的每个包括本地控制代理。
8.按照权利要求1的方法，其中，所述高冲击成套工具包括以下成套工具如果未适当的进行调度，则其限制所述制造设施的整体吞吐量。
9.一种用于在制造设施中控制材料流的系统，包括用于建立扩展的控制区域的系统，所述扩展的控制区域包括高冲击成套工具和至少一个其他成套工具；策略器，用于在所述高冲击成套工具处分析计划中的作业到达，以及用于根据在所述高冲击成套工具处的计划中的作业到达的分析来调整在所述高冲击成套工具和所述至少一个其他成套工具之间的材料流。
10.按照权利要求9的系统，其中，所述至少一个其他成套工具包括上游成套工具。
11.按照权利要求10的系统，其中，所述上游成套工具包括用于处理在指定时段内预期到达高冲击成套工具的作业的成套工具。
12.按照权利要求9的系统，其中，所述至少一个其他成套工具包括下游成套工具。
13.按照权利要求12的系统，其中，所述下游成套工具包括关键下游成套工具。
14.按照权利要求13的系统，其中，所述策略器被进一步配置来调整在高冲击成套工具和关键下游成套工具之间的材料流，以防止关键下游成套工具的来料不足或在关键下游成套工具处堆集过量的未完成工作。
15.按照权利要求9的系统，其中，所述高冲击成套工具和所述至少一个其他成套工具的每个包括本地控制代理。
16.按照权利要求9的系统，其中，所述高冲击成套工具包括以下成套工具如果未适当的进行调度，则其限制所述制造设施的整体吞吐量。
全文摘要
本发明提供了一种方法、系统和计算机程序产品，用于使用扩展的控制区域来在制造设施中控制材料流。按照本发明实施例的方法包括建立扩展的控制区域，其包括高冲击成套工具和至少一个其他成套工具；在所述高冲击成套工具处分析计划中的作业到达；以及，根据在所述高冲击成套工具处的计划中的工作到达的分析来调整在所述高冲击成套工具和所述至少一个其他成套工具之间的材料流。
文档编号H01L21/00GK1959570SQ200610136608
公开日2007年5月9日 申请日期2006年10月31日 优先权日2005年10月31日
发明者肯尼思·J·福代斯, 理查德·G·伯达, 艾尔弗雷德·T·德格博茨, 布赖恩·T·登顿, 罗伯特·J·米尔恩 申请人:国际商业机器公司