专利名称：传输系统的制作方法
技术领域：
本发明的总体构思涉及一种传输系统，更具体地讲，涉及一种在传输位置和存储位置之间传输起重单元或工件的过程中稳定地支撑该起重单元或该工件的传输系统。
背景技术：
通常，传输系统包括传输装置，沿着诸如轨道的路径运送以传输工件；加工站，设置在所述路径上以处理工件；缓冲装置，设置在所述路径的旁边以临时存储工件。
传输装置可分为自动型、高架(overhead)型等。以下，将通过示例的方式描述悬挂型的传输装置。悬挂型传输装置可将用于制造半导体的掩模版(reticle)、FOUP(前开式晶圆盒)等自动地传输到加工站或缓冲装置。传输装置的传输速度直接受工件的传输速度和工件的装载/卸载速度的影响，也可以影响整个制造时间。
2004年6月16日公开的第2004-50704号韩国专利首次公布公开了一种传统的悬挂型传输工具系统(transferring vehicle system)，该系统包括行进路径，被支撑到天花板；传输工具，支撑工件沿行进路径行进；起重机，设置在传输工具内部以上下移动；仓库和缓冲装置，设置在行进路径的旁侧。另外，悬挂型传输工具系统还包括辊子运送器，该辊子运送器与传输工具的内侧结合以在装载位置和撤回位置之间移动，用于支撑或释放工件。另外，天花板传输工具系统也包括辊子运送器，该辊子运动件将工件支撑在仓库和缓冲装置中以放入/取出工件。
为了将工件从传输工具移动到仓库或缓冲装置，首先，传送工具的辊子运送器位于移动装载位置。然后，设置各个辊子运送器具有相同的水平，操作仓库或缓冲装置的辊子运送器。然后，将工件从传送工具的辊子运送器移动到仓库或缓冲装置的辊子运送器。
然而，在传统的悬挂型传输工具系统中，传输工具和仓库(或缓冲装置)之间的移动中的震动会损坏工件。另外，当工件的方向偏离时，工件的装载/卸载易于失败。另外，因为传输工具的辊子运送器在移动装载位置和撤回位置之间移动，所以传输工具的辊子运送器的构造和控制复杂，增加了传输时间。此外，如缓冲装置被放置在传输工具的传输路径的侧面的相对两侧将是便利的。
发明内容
本发明总体构思提供了一种在传输位置和存储位置之间传输工件时稳定地支撑起重单元或工件以快速地装载和/或卸载工件的传输系统。
将在接下来的描述中部分阐述本发明另外的方面和/或优点，还有一部分通过描述将是清楚的，或者可以经过本发明的实施而得知。
本发明总体构思的前述和/或其它方面通过提供一种沿轨道行进以传输并装载和/或卸载工件的传输系统来实现，所述传输系统包括传输装置和一个或多个缓冲装置。所述传输装置设置有主体单元，以沿轨道行进；滑动单元，与主体单元结合以相对于主体单元在传输位置和存储位置之间相对移动；起重单元，与滑动单元结合以上下移动工件。所述缓冲装置设置在传输装置的行进路径的旁侧以支撑位于存储位置的工件，并设置有支撑部分，用于当滑动单元在传输位置和存储位置之间移动时支撑滑动单元。
所述滑动单元可包括滑动单元主体，与所述主体单元的下部结合；多个滑动支架，设置到所述滑动单元主体的第一侧并沿所述起重单元的上和/或下方向布置；滑动驱动部分，用于供给驱动力，使得所述滑动支架在所述传输位置和所述存储位置之间移动。
所述滑动驱动部分可包括驱动电机，与所述滑动单元主体的第二侧结合；驱动齿轮，与所述驱动电机连接以旋转；驱动齿条，与所述滑动支架之一结合并与所述驱动齿轮啮合。
所述滑动单元可包括滑动导向部分，置于所述各个滑动支架之间以相对于所述滑动支架中的一个引导所述滑动支架中的另一个；相对移动部分，当所述滑动驱动部分移动所述滑动支架中的一个时，所述相对移动部分相对地移动所述滑动支架中的至少另一个；移动支撑部分，与所述滑动单元主体结合，以可移动地支撑所述滑动支架。
所述滑动导向部分可包括线性移动导向件。
所述滑动支架可包括平面的第一滑动支架，与所述滑动单元主体的上部结合；平面的第二滑动支架，位于所述第一滑动支架下方一定距离处，并与所述驱动齿条结合；平面的第三滑动支架，位于所述第二滑动支架的下方一定距离处；平面的第四滑动支架，位于所述第三滑动支架的下方一定距离处并与所述起重单元结合。
所述相对移动部分可包括第一相对移动构件，将由所述滑动驱动部分驱动的所述第二滑动支架相对于所述第一滑动支架的相对移动传递到所述第三滑动支架相对于所述第二滑动支架的相对移动；第二相对移动构件，将所述第三滑动支架相对于所述第二滑动支架的相对移动传递到所述第四滑动支架相对于所述第三滑动支架的相对移动。
所述第一相对移动构件可包括第一相对移动齿条，与所述第一滑动支架的下部结合并平行于所述滑动导向部分设置；第一相对移动轴，与所述第二滑动支架可旋转地结合；第一相对移动齿轮，设置在所述第一相对移动轴的第一侧，以根据所述第二滑动支架的所述相对移动与所述第一相对移动齿条可旋转地啮合；第二相对移动齿轮，设置在所述第一相对移动轴的第二侧，以根据所述第一相对移动齿轮的旋转而旋转；第二相对移动齿条，与所述第三滑动支架的上部结合并平行于所述滑动导向部分，与所述第二相对移动齿轮啮合以相对于所述第二滑动支架相对地移动所述第三滑动支架。
所述第二相对移动构件可包括第三相对移动齿条，与所述第二滑动支架的下部结合并平行于所述滑动导向部分；第二相对移动轴，与所述第三滑动支架可旋转地结合；第三相对移动齿轮，设置在所述第二相对移动轴的第一侧，以根据所述第三滑动支架的所述相对移动与所述第三相对移动齿条可旋转地啮合；第四相对移动齿轮，设置在所述第二相对移动轴的第二侧，以根据所述第三相对移动齿轮的旋转而旋转；第四相对移动齿条，与所述第四滑动支架的上部结合，平行于所述滑动导向部分设置，并与所述第四相对移动齿轮啮合以相对于所述第三滑动支架相对地移动所述第四滑动支架。
所述移动支撑部分可包括辊子，所述辊子与所述滑动单元主体结合以可移动地支撑所述滑动支架。
所述缓冲装置可包括工件支撑板，用于支撑所述工件；多个缓冲支撑构件，在所述起重单元的上和/或下方向延伸，被支撑到安装表面并与所述工件支撑板结合；平面的缓冲支撑支架，与所述缓冲支撑构件结合以与所述支撑部分结合。
所述支撑部分可包括用于可移动地支撑所述滑动支架的辊子。
所述缓冲装置可设置在相对于所述传输装置的所述行进方向的相对的两侧并距离所述传输装置一定的距离。
本发明总体构思的前述和/或其它方面可通过提供一种传输工件的传输系统来实现，所述传输系统包括传输装置，所述传输装置具有主体单元，沿轨道的行进路径进行；滑动单元，与所述主体单元结合并具有第一支架和第二支架；滑动驱动部分，相对于所述主体单元使所述第一支架移动第一距离；相对移动部分，根据所述第一支架的移动，相对于所述第一支架使所述第二支架移动第二距离；起重单元，与所述第二支架结合以传送工件。
通过下面结合附图进行的对实施例的描述，本发明的这些和其它方面和优点将会变得清楚和更易于理解，在附图中图1是示意性示出根据本发明总体构思的实施例的传输系统的平面图；图2是沿图1中的线II-II截取的剖视图；图3是沿图1中的线III-III截取的剖视图；图4是图1中的传输系统的滑动单元的剖视图；图5A是示出图1中的传输系统的第一相对移动构件的工作状态的透视图；图5B是示出图1中的传输系统的第二相对移动构件的工作状态的透视图；图6A至图6D是示出图1中的传输系统的工作过程的侧面剖视图。
具体实施例方式
现在将详细解释本发明总体构思的实施例，本发明总体构思的示例示出在附图中，其中，相同的标号始终表示相同的元件。以下，将参照附图来描述实施例以解释本发明的总体构思。在下文中，在各种传输装置中，将示例性地描述在半导体工艺中使用的传输掩模版、FOUP等的悬挂型传输装置。
如图1至图4所示，根据本发明总体构思的实施例的传输系统10包括轨道15，由安装表面(如天花板)支撑或设置在安装表面(如天花板)上；传输装置20，设置有沿着轨道15行进的主体单元21；滑动单元30，与主体单元21结合以在传输位置和存储位置之间相对移动；起重单元80，与滑动单元30结合以向上和向下移动工件13；缓冲装置90，位于传输装置20的行进方向旁侧以支撑位于存储位置的工件13，并设置有至少一个支撑部分91以当滑动单元30在传输位置和存储位置之间移动时支撑滑动单元30。还是参照图1，传输系统10将工件13装载到加工站3和/或从加工站3卸载工件13，从而加工站3执行预定的工艺。同时，传输系统10可临时将工件13存储在缓冲装置90。
参照图2和图3，工件13由将要移动的起重单元80的下部支撑，并被装载到加工站3或缓冲装置90和/或从加工站3或缓冲装置90卸载。工件13包括制造半导体所用的掩模版和FOUP(前开式晶圆盒)等。工件13由滑动单元30内的起重单元80支撑，以在传输位置和存储位置之间移动，其中，在所述传输位置处，沿着轨道15传输工件13，在所述存储位置处，由缓冲装置90的工件支撑板97支撑工件13以临时存储工件13。
参照图3，轨道15由安装表面(如天花板)支撑或与安装表面(如天花板)结合，以与传输装置20的行进轮25和导向轮27接触，使得传输装置20行进。参照图1，轨道15具有各种方向的多个分支。
传输装置20包括主体单元21，沿着轨道15行进；滑动单元30，与主体单元21结合以在传输位置和存储位置之间相对移动；起重单元80，与滑动单元30结合，以将工件13向上下或向左右移动。如果需要可以设置多个传输单元20，可以控制多个传输单元20按顺序地传输工件13，而不互相阻碍。
参照图2和图3，主体单元21包括单位主体23；行进轮25，与单位主体23结合并与轨道15的上部接触，使得传输单元20行进；导向轮27，与轨道15的内侧接触，从而传输装置20沿着轨道15的行进路径稳定地行进而不会偏离轨道15。主体单元21的下部28与滑动单元30结合。主体单元21可包括驱动部分(未示出)，以将驱动力提供给行进轮25。
参照图3和图4，滑动单元30与主体单元21结合，以相对于主体单元21在传输位置和存储位置之间相对移动。滑动单元30包括；滑动单元主体31，与主体单元21的下部28结合；多个滑动支架41(43、45、47和49)，设置在滑动单元主体31的一侧并沿起重单元80的上/下方向布置；滑动驱动部分33，用于提供驱动力，使得滑动支架41在传输位置和存储位置之间移动。此外，滑动单元30包括至少一个滑动导向部分51，置于滑动支架41之间以相对于滑动支架41中的一个引导滑动支架41中的另一个；相对滑动部分55，如果滑动驱动部分33使滑动支架41中的一个移动，则相对滑动部分顺序地使滑动支架41中的至少另一个相对移动；移动支撑部分79，与滑动单元主体31结合，以可移动地支撑滑动支架41。从而，被起重单元80支撑的工件13可以被滑动单元30稳定并快速地移动到缓冲装置90。
参照图4，滑动单元主体31以弯曲的平面形状形成，并在滑动支架41的移动方向上是开口的。移动支撑部分79与滑动单元主体31结合以可滑动地支撑滑动支架41，使其在传输位置和存储位置之间移动。驱动电机35与滑动单元主体31的一侧结合。第一滑动支架43与滑动单元主体31的上部结合。
参照图4，滑动驱动部分33包括驱动电机35、连接到驱动电机35的驱动齿轮37和驱动齿条39，驱动齿条39与第二滑动支架45结合以与驱动齿轮37互锁。这里，驱动电机35可包括伺服电动机，并通过控制伺服电动机来控制滑动支架41的移动距离。另外，驱动电机35可以按顺时针方向和逆时针方向旋转，以使滑动支架41移动到设置在相对于传输装置20的行进方向的相对的两侧的缓冲装置90。因此，第二滑动支架45在驱动电机35的作用下移动，第二滑动支架45相对地移动第三滑动支架47和第四滑动支架49。
参照图3至图5B，滑动支架41按多个设置在滑动单元主体31的一侧，并被布置在起重单元80的上/下方向上。滑动支架41包括第一滑动支架43，以平面形状形成并与滑动单元主体31的上部结合；第二滑动支架45，位于第一滑动支架下方一定距离处，以平面形状形成并与驱动齿条39结合；第三滑动支架47，位于第二滑动支架45下方一定距离处并以平面形状形成；第四滑动支架49，位于第三滑动支架47下方一定距离处，以平面形状形成并与起重单元80结合。第二滑动支架45、第三滑动支架47和第四滑动支架49被移动支撑部分79可滑动地支撑。这里，考虑到工件13的尺寸、缓冲装置90的容积等，滑动支架41可选择性地包括五个以上的滑动支架或三个以下的滑动支架。滑动导向部分51结合在滑动支架41之间以包括LM(线性移动)导向件。另外，相对移动部分55被设置成穿过滑动支架41或与滑动支架41结合。因此，滑动支架41可滑动以相互排列，使得起重单元80在传输位置和存储位置之间移动，因此，被起重单元80支撑的工件13可以被稳定并快速地移动。
参照图3和图4，至少一个滑动导向部分51置于各个滑动支架41之间，从而可以相对于滑动支架41中的一个引导滑动支架41中的另一个。滑动导向部分51包括LM导向件。可以在滑动支架41的相对的两侧上设置滑动引导部分51，以稳定地引导滑动支架41。滑动导向部分51可设置成各种已知装置(如辊子和辊子导向件)，所述的各种已知装置可以引导滑动支架41在传输位置和存储位置之间移动。因此，滑动支架41可以稳定地相对移动参照图4至图6D，如果滑动驱动部分33驱动第二滑动支架45，则相对移动部分55使得第三滑动支架47和第四滑动支架49顺序地相对移动。相对移动部分55包括第一相对移动构件61，将第二滑动支架45相对于第一滑动支架43的相对移动传递到第三滑动支架47相对于第二滑动支架45的相对移动；第二相对移动构件71，将第三滑动支架47相对于第二滑动支架45的相对移动传递到第四滑动支架49相对于第三滑动支架47的相对移动。相对移动部分55具有齿条和齿轮构造，以当传输装置20行进时将移动滑动支架41的外部力最小化。因此，滑动支架可以在传输位置和存储位置之间稳定快速地移动。
参照图4至图5B，第一相对移动构件61包括第一相对移动齿条63，与第一滑动支架43的下部结合并平行于滑动导向部分51设置；第一相对移动轴65，通过轴承等与第二滑动支架45可旋转地连接；第一相对移动齿轮66，设置在第一相对移动轴65的第一侧，以根据第二滑动支架45的移动与第一相对移动齿条63可旋转地互锁；第二相对移动齿轮67，设置在第一相对移动轴65的第二侧，以根据第一相对移动齿轮66的旋转而旋转；第二相对移动齿条68，与第三滑动支架47的上部结合并平行于滑动导向部分51设置，与第二相对移动齿轮67互锁以相对于第二滑动支架45相对地移动第三滑动支架47。这里，第一相对移动齿轮66和第二相对移动齿轮67具有相同的节圆直径、模数(module)等，也可具有不同的尺寸等。
因此，参照图5A，如果驱动齿轮37在驱动电机35的作用下旋转，则与滑动支架45结合并与驱动齿轮37啮合的驱动齿条39相对于第一滑动支架43或滑动单元主体31移动。因此，与驱动齿条39结合的第二滑动支架45被移动支撑部分79支撑地并被滑动向导部分51引导地从传输位置滑动到存储位置。如果第二滑动支架45移动，则与第一滑动支架43的下部结合的第一相对移动齿条63与第一相对移动齿轮66啮合，其中，第一相对移动齿轮66与第二滑动支架45结合，因此，与第二滑动支架45结合的第二相对移动齿轮67旋转。如果第二相对移动齿轮67旋转，则与第二相对移动齿轮67啮合并与第三滑动支架47结合的第二相对移动齿条68向存储位置移动。因此，与第二相对移动齿条68结合的第三滑动支架47可以向存储位置移动。例如，如果第二滑动支架45相对于第一滑动支架43从传输位置向存储位置移动100mm，则第三滑动支架47相对于第二滑动支架45向存储位置移动100mm，因此，第三滑动支架47可以相对于第一滑动支架43从传输位置向存储位置移动200mm。这些相对移动过程同时完成。
参照图4至图5B，第二相对移动构件71包括第三相对移动齿条73，与第二滑动支架45的下部结合并平行于滑动导向部分51；第二相对移动轴75，通过轴承等与第三滑动支架47可旋转地结合；第三相对移动齿轮76，设置在第二相对移动轴75的第一侧，以根据第三滑动支架47的移动而与第三相对移动齿条73可旋转地啮合；第四相对移动齿轮77，设置在第二相对移动轴75的第二侧，以根据第三相对齿轮76的旋转而旋转；第四相对移动齿条78，与第四滑动支架49的上部结合，平行于滑动导向部分51设置并与第四相对移动齿轮77啮合，以使第四滑动支架49相对于第三滑动支架47相对地移动。这里，第三相对移动齿轮76和第四相对移动齿轮77具有相同的节圆直径、模数等，也可具有不同的尺寸。
因此，参照图5B，如果第二滑动支架45移动，则第三滑动支架47通过第一相对移动构件61从传输位置移动到存储位置。同时，如果第二滑动支架45移动，则与第二滑动支架45的下部结合的第三相对移动齿条73与第三相对移动齿轮76啮合，其中，第三相对移动齿轮76与第三移动支架47结合，因此，第三相对移动齿轮76旋转。如果第三相对移动齿轮76旋转，则第四相对移动齿轮77旋转，与第四相对移动齿轮77啮合并与第四滑动支架49结合的第四相对移动齿条78向存储位置移动。因此，与第四相对移动齿条78结合的第四滑动支架49可以向存储位置移动。例如，如果第二滑动支架45相对于第一滑动支架43从传输位置向存储位置移动100mm，则第三滑动支架47相对于第二滑动支架45向存储位置移动100mm，因此，第三滑动支架47相对于第一滑动支架43从传输位置向存储位置移动200mm。另外，第四滑动支架49相对于第三滑动支架47向存储位置移动100mm，并且相对于第二滑动支架45向存储位置移动200mm，因此，第四滑动支架49相对于第一滑动支架43向存储位置移动300mm。通过驱动驱动电机35来同时完成这些相对移动过程。如果第四滑动支架49到达缓冲装置90的存储位置，则控制部分(未示出)可控制驱动电机35使其停止。滑动支架41在移动的同时由与滑动单元主体31结合的移动支撑部分79和与缓冲支撑支架95(图3)结合的支撑部分91支撑并被滑动导向部分51滑动地引导。
因此，起重单元80可以通过滑动支架41从传输位置稳定并快速地移动到存储位置。
参照图3和图4，移动支撑部分79与滑动单元主体31结合，滑动地支撑第二滑动支架45、第三滑动支架47和第四滑动支架49。移动支撑部分79包括具有轴承的圆柱辊，或者可以包括其它已知构造。如果需要，移动支撑部分79可分别与第二滑动支架45、第三滑动支架47和第四滑动支架49结合。因此，滑动支架41可被稳定地支撑以在传输位置和存储位置之间移动。
参照图3，起重单元80与滑动单元30的下部结合，以上下移动工件13。可控制起重单元80关于具有上/下方向的轴旋转预定的角度。起重单元80可包括用于抓紧工件13的夹子(未示出)。
参照图2和图3，至少一个缓冲装置90被安装表面(如天花板)支撑并位于相对于传输装置20的行进方向的相对的两侧，以支撑位于存储位置的工件13。缓冲装置90包括支撑部分91、工件支撑板97、多个缓冲支撑构件93和缓冲支撑支架95，其中，所述多个缓冲支撑构件93以伸长的圆杆形形成在起重单元80的上/下方向上，以被支撑到安装表面并与缓冲工件支撑板97结合；所述缓冲支撑支架95以平面形状形成，与缓冲支撑构件93结合并设置在相对于滑动单元30的移动方向的相对的两侧上以支撑支撑部分91。
缓冲装置90可在相对于传输装置20的行进方向的相对的两侧上距离传输装置20一定的距离。因此，传输系统10可以提高空间利用的效率和创建各种传输路径。
支撑部分91包括多个第一支撑构件91a，用于支撑第二滑动支架45；多个第二支撑构件91b，用于支撑第三滑动支架47；多个第三支撑构件91c，用于支撑第四滑动支架49。因此，在传输位置和存储位置之间的移动时，滑动单元30可稳定并快速地移动同时被支撑部分91支撑。
这里，传输系统10可包括控制部分(未示出)，用于控制传输装置20以将工件传输到预定位置，用于控制滑动单元30使其在传输位置和存储位置之间移动，或用于控制起重单元80使工件13装载到缓冲装置90或加工站3和/或从缓冲装置90或加工站3卸载工件13。
在下文中，将参照图5A至图6D描述传输系统10的移动过程。
首先，向传输系统10供给功率，传输装置20沿轨道15行进到预定的位置。传输装置20到达该预定位置然后停止。
参照图6A，如果滑动驱动部分33的驱动电机35驱动，则第二滑动支架45从传输位置向存储位置移动。然后，第三滑动支架47和第四滑动支架49通过相对移动部分55同时向存储位置相对地移动，从而形成阶梯形。因此，与第四滑动支架49的下部结合的用于支撑工件13的起重单元80可以从传输位置移动到缓冲装置90的存储位置。这时，滑动支架41被移动支撑部分79和支撑部分91支撑，并被置于各个滑动支架41之间的滑动导向部分51引导。
参照图6B，如果起重单元80到达存储位置，则滑动驱动部分33的驱动电机35停止旋转。
参照图6C，起重单元80向下移动以将工件13安放在缓冲装置90的工件支撑板97上，并释放工件13，然后向上移动。
参照图6D，驱动电机35驱动，使得滑动支架41从存储位置移动到传输位置。这时，驱动电机35可以按驱动电机35驱动使得滑动支架41从传输位置移动到存储位置时的旋转方向的相反方向旋转。
另外，在缓冲装置90位于相对于行进方向的相对的两侧上的情况下，采用相同的步骤来操作传输系统10，因此将避免对其的重复描述。
因此，起重单元80在传输位置和存储位置之间移动的过程中可以被滑动支架41稳定地支撑，从而快速地装载/卸载工件13。另外，传输系统10包括置于传输装置20的行进方向的相对的两侧的缓冲装置90，从而提高空间利用的效率并创建各种传输路径。
如上所述，根据本发明的传输系统可以使得起重单元在传输位置和存储位置之间移动的过程中被滑动支架稳定地支撑，从而快速地装载/卸载工件。
另外，根据本发明的传输系统包括设置在相对于传输装置的行进方向的相对的两侧的缓冲装置，从而提高空间利用的效率并创建各种传输路径。
尽管已经示出和描述了本发明总体构思的一些实施例，但是本领域的技术人员应该理解，在不脱离本发明总体构思的原理和精神的情况下，可以对这些实施例做出修改，本发明总体构思的范围由权利要求及其等同物限定。
权利要求
1.一种沿轨道行进以传输并装载和/或卸载工件的传输系统，包括传输装置，具有主体单元、滑动单元和起重单元，其中，所述主体单元沿着所述轨道行进，所述滑动单元与所述主体单元结合以相对于所述主体单元在传输位置和存储位置之间相对移动，所述起重单元与所述滑动单元结合以上下移动所述工件；一个或多个缓冲装置，设置在所述传输装置的行进路径的旁侧以支撑位于所述存储位置的所述工件，并具有支撑部分以当所述滑动单元在所述传输位置和所述存储位置之间移动时支撑所述滑动单元。
2.根据权利要求1所述的传输系统，其中，所述滑动单元包括滑动单元主体，与所述主体单元的第一部分结合；多个滑动支架，设置到所述滑动单元主体的第一侧并沿所述起重单元的上和/或下方向布置；滑动驱动部分，用于供给驱动力，使得所述滑动支架在所述传输位置和所述存储位置之间移动。
3.根据权利要求2所述的传输系统，其中，所述滑动驱动部分包括驱动电机，与所述滑动单元主体的第二侧结合；驱动齿轮，与所述驱动电机连接以旋转；驱动齿条，与所述滑动支架之一结合并与所述驱动齿轮啮合。
4.根据权利要求2或3所述的传输系统，其中，所述滑动单元包括滑动导向部分，置于所述各个滑动支架之间以相对于彼此引导所述滑动支架；相对移动部分，当所述滑动驱动部分移动所述滑动支架中的一个时，所述相对移动部分相对地移动所述滑动支架中的至少另一个；移动支撑部分，与所述滑动单元主体结合，以可移动地支撑所述滑动支架。
5.根据权利要求4所述的传输系统，其中，所述滑动导向部分包括线性移动导向件。
6.根据权利要求4所述的传输系统，其中，所述滑动支架包括平面的第一滑动支架，与所述滑动单元主体的上部结合；平面的第二滑动支架，位于所述第一滑动支架下方一定距离处，并与所述驱动齿条结合；平面的第三滑动支架，位于所述第二滑动支架的下方一定距离处；平面的第四滑动支架，位于所述第三滑动支架的下方一定距离处并与所述起重单元结合。
7.根据权利要求5所述的传输系统，其中，所述相对移动部分包括第一相对移动构件，将由所述滑动驱动部分驱动的所述第二滑动支架相对于所述第一滑动支架的相对移动传递到所述第三滑动支架相对于所述第二滑动支架的相对移动；第二相对移动构件，将所述第三滑动支架相对于所述第二滑动支架的相对移动传递到所述第四滑动支架相对于所述第三滑动支架的相对移动。
8.根据权利要求7所述的传输系统，其中，所述第一相对移动构件包括第一相对移动齿条，与所述第一滑动支架的下部结合并平行于所述滑动导向部分设置；第一相对移动轴，与所述第二滑动支架可旋转地结合；第一相对移动齿轮，设置在所述第一相对移动轴的第一侧，以根据所述第二滑动支架的所述相对移动与所述第一相对移动齿条可旋转地啮合；第二相对移动齿轮，设置在所述第一相对移动轴的第二侧，以根据所述第一相对移动齿轮的旋转而旋转；第二相对移动齿条，与所述第三滑动支架的上部结合并平行于所述滑动导向部分，与所述第二相对移动齿轮啮合以相对于所述第二滑动支架相对地移动所述第三滑动支架。
9.根据权利要求7所述的传输系统，其中，所述第二相对移动构件包括第三相对移动齿条，与所述第二滑动支架的下部结合并平行于所述滑动导向部分；第二相对移动轴，与所述第三滑动支架可旋转地结合；第三相对移动齿轮，设置在所述第二相对移动轴的第一侧，以根据所述第三滑动支架的所述相对移动与所述第三相对移动齿条可旋转地啮合；第四相对移动齿轮，设置在所述第二相对移动轴的第二侧，以根据所述第三相对移动齿轮的旋转而旋转；第四相对移动齿条，与所述第四滑动支架的上部结合并平行于所述滑动导向部分设置，与所述第四相对移动齿轮啮合以相对于所述第三滑动支架相对地移动所述第四滑动支架。
10.根据权利要求4所述的传输系统，其中，所述移动支撑部分包括辊子，所述辊子与所述滑动单元主体结合以可移动地支撑所述滑动支架。
11.根据权利要求1所述的传输系统，其中，所述缓冲装置包括工件支撑板，用于支撑所述工件；多个缓冲支撑构件，在所述起重单元的上和/或下方向延伸，被支撑到安装表面并与所述工件支撑板结合；平面的缓冲支撑支架，与所述缓冲支撑构件结合以与所述支撑部分结合。
12.根据权利要求11所述的传输系统，其中，所述支撑部分包括用于可移动地支撑所述滑动支架的辊子。
13.根据权利要求1所述的传输系统，其中，所述缓冲装置设置在相对于所述传输装置的所述行进方向的相对的两侧并距离所述传输装置一定的距离。
14.一种传输工件的传输系统，所述传输系统包括传输装置，具有主体单元，沿轨道的行进路径进行；滑动单元，与所述主体单元结合并具有第一支架和第二支架；滑动驱动部分，相对于所述主体单元使所述第一支架移动第一距离；相对移动部分，根据所述第一支架的移动，相对于所述第一支架使所述第二支架移动第二距离；起重单元，与所述第二支架结合以传送工件。
15.根据权利要求14所述的传输系统，还包括缓冲装置55，与所述传输装置相邻地设置，并具有当所述第一支架和所述第二支架移动时支撑所述第一支架的第一支撑部分和支撑所述第二支架的第二支撑部分。
16.根据权利要求15所述的传输系统，其中，设置所述第一支撑部分以支撑所述第一支架的第一长度，设置所述第二支撑部分以支撑所述第二支架的第二长度。
17.根据权利要求15所述的传输系统，其中，所述第二支架和所述起重单元相对于所述主体单元移动第三距离。
18.根据权利要求14所述的传输系统，其中所述滑动单元还包括另一支架和另一相对移动部分，所述另一支架设置在所述第一支架和所述第二支架之间，所述另一相对移动部分根据所述第一支架的移动使所述另一支架相对于所述第一支架移动另一距离；所述相对移动部分使所述第二支架相对于所述另一支架移动第三距离。
19.根据权利要求14所述的传输系统，其中，所述滑动单元还包括滑动导向部分，所述滑动导向部分引导所述第一支架和所述第二支架以相对于彼此和所述主体单元移动。
20.根据权利要求14所述的传输系统，其中，所述第一支架和所述第二支架在垂直于所述行进路径的方向上分别具有第一长度和第二长度。
全文摘要
本发明提供了一种沿轨道行进以传输并装载和/或卸载工件的传输系统，所述传输系统包括传输装置和一个或多个缓冲装置。所述传输装置设置有主体单元，以沿轨道行进；滑动单元，与主体单元结合以在传输位置和存储位置之间相对于主体单元相对移动；起重单元，与滑动单元结合以上下移动工件。所述缓冲装置设置在传输装置的行进路径的旁侧以支撑位于存储位置的工件，并设置有支撑部分，用于当滑动单元在传输位置和存储位置之间移动时支撑滑动单元。
文档编号H01L21/677GK101041398SQ20071000422
公开日2007年9月26日 申请日期2007年1月18日 优先权日2006年3月22日
发明者张珉九 申请人:三星电子株式会社