具有自我形成间隙的可程序化电阻存储单元的制作方法

专利名称：具有自我形成间隙的可程序化电阻存储单元的制作方法
技术领域：
本发明涉及以相变化为基础的存储材料的可程序化电阻材料及其制 造方法，此相变化材料包括以硫化物为基础的材料及其它材料。
背景技术：
以相变化为基础的存储材料被广泛地运用于读写光盘片中。这些材料 包括有至少两种固态相，即一大部分为非晶态的固态相，以及一大体上为 结晶态的固态相。激光脉冲用于读写光盘片中，以在二种固态相中切换， 并读取此种材料在相转换之后的光学性质。
如硫化物及类似材料的这类相变化存储材料，可通过施加其幅度适用 于集成电路中的电流，而致使晶相转换。 一般而言，非晶态的特征是其电 阻率高于结晶态，此电阻值可轻易测量得到而用以作为指示。这种特性则 引发使用可程序化电阻材料以形成非易失性内存电路等兴趣，此电路可用 于随机存取读写。
从非晶态转变至结晶态一般为一低电流步骤。从结晶态转变至非晶态
(以下指称为重置(reset))—般为一高电流步骤，其包括一短暂的高电流密度 脉冲以融化或破坏结晶结构，其后此相变化材料会快速冷却，抑制相转换 的过程，使得至少部份相变化结构得以维持在非晶态。理想状态下，致使 相变化材料从结晶态转变至非晶态的重置电流幅度应越低越好。为降低重 置所需的重置电流幅度，可通过减低在内存中的相变化材料元件的尺寸、 以及减少电极与此相变化材料的接触面积而实现，因此可针对此相变化材 料元件施加较小的绝对电流值而实现较高的电流密度。「设置」及「重置」 等名词是根据存储单元的情况而选定，在此仅为便于讨论而使用。
在以非常小的尺度制造这些装置、以及为满足生产大型存储装置时所 需求的严格制作工艺变量时，则会遭遇到一些问题。与相变化单元小尺度 相关的问题之一，由围绕在主动区域的材料的导热性所引起。为了导致相转换，相变化材料中主动区域的温度必须达到相转换的临界值。然而，由 流经材料的电流所产生的热能会被所围绕结构传导离开。相变化材料中主 动区域的热能被传导开，会减缓电流的加热效应，并势垒相变化的进行。 现有技术利用形成热隔离阻挡，将形成的热隔离阻挡围绕在相变化材料周 围来解决此问题。形成密封的空隙围绕存储材料是其中一种方法，其公开
于美国专利第6，815,704号，标题为，，PHASE CHANGE MEMORY DEVICE EMPLOYING THERMALLY INSULATING VOIDS"，由Chen发明。
在相变化材料的周围形成绝热空隙能够提供良好的绝热效果。然而， 形成这种空隙的现有制作工艺很困难且不稳定，也无法将空隙正确地置放 于相变化存储构件的主动区域中。
因此，目前急需的是，能够得以实施且正确的将空隙置放于主动区域 旁的一种制造具有绝热空隙的相变化存储单元的方法。

发明内容
有鉴于此，本发明的一个目的在于提供一种适用于大规模集成电路的 相变化随机存取存储器PCRAM装置。在此所述的技术包括具有第一电极、 第二电极与定义第一电极与第二电极间的电极间电流路径的存储材料。存 储材料具有至少两种可转换的固态相，例如硫化物为基础的材料、或其它 相关材料，而其转换是通过对该材料施加电流、或在第一及第二电极间施 加电压而实现的。
间隙是形成于存储材料的主动区域与主动区域存储材料附近伸縮性 的材料之间。此间隙将存储材料的主动区域与其邻近的伸縮性材料隔热分 离。在特定实施例中，伸縮性材料包括多孔介电材料，而间隙的形成是利 用将存储材料加热，使得多孔介电材料朝存储材料的反方向收縮，以形成 自行与存储材料的加热、主动区域排列的间隙。具有隔热空隙的存储单元 的实施例包括「柱状」、「桥状」、及「伞状」存储单元。
在此所述的实施例中，提供一存储单元阵列。此阵列包括多个存储单 元、至少有些存储单元在存储材料的主动区域及邻近的介电材料之间具有 隔热间隙。在特定实施例中，阵列工作期间所使用的电脉冲(好比重置脉 冲)会在存储材料的主动区域产生足够的热能，导致伸縮性介电材料朝存储材料的反方向縮小。
实施例的存储单元可利用现有逻辑电路及存储阵列电路实施，好比
CMOS技术。
进一步地，在此所述的一阵列实施例中，电极层与带有热绝缘覆盖层 的桥接器阵列上的电路包括多个位线。在此所述的电极层上带有位线的实 施例中，电极层中作为存储单元的第一电极的电极构件被共享，使得单一 电极构件提供阵列一行中两个存储单元的第一电极。进一步地，在此所述 的实施例中，多个位线中的位线，沿着阵列中对应的行而排列，且对应行 中的两个邻近存储单元共享一接触结构，以接触该第一电极。
本发明还提供了一种制造存储装置的方法。本方法包括形成第一电 极；形成与第一电极电耦接的存储材料；形成接触存储材料的伸缩性介电 材料；形成第二电极；以及接着在存储材料的一部分与伸缩性介电材料的 一部份之间形成一间隙。
本发明的其它方面及优势可从以下说明书附图、详细描述以及权利要 求范围中得知。


图1是本发明一实施例中具有热隔离间隙的存储单元的实施例。
图2到图10是一存储阵列的制作工艺顺序的剖面图，其包括带有本 发明的 一 实施例的热隔离间隙的存储单元。
图IIA到图11B是存储单元的一部份的剖面图，根据本发明的一实施 例显示多孔介电材料的縮小以形成热隔离间隙。
图12是本发明的一实施例中带有热隔离间隙的一伞状类型存储单元 的剖面图。
图13是本发明的一实施例中带有热隔离间隙的一桥接器类型存储单 元的剖面图。
图14是一实施例中包括相变化存储构件的一存储阵列的示意图。 图15是一实施例中包括一相变化存储阵列的集成电路装置的方块图。
主要元件符号说明10 存储单元12 柱状存储材料14 第一电极 16 第二电极 18 导电柱体 20 伸縮性层 22 介电材料 24 周围间隙 28 主动区域 48 存储材料层 50 导电材料层52、 52，、 54、 54' 图案化光刻胶56、 58 柱状存储材料60、 62 柱状导电材料60a、 62a顶面64 伸縮性材料层66 介电层68 顶面70 平面72 导电层74、 78 间隙90， 存储单元99 衬底110 存储单元111、 112介电沟道113、 114多晶硅字线115、 117漏极区域116 共同源极区域118 介电填充层119 共同源极线120、 141 导电栓塞125、 126传导接触点291 底电极293 伸縮性介电材料层294 介电材料层295 主动区域296 存储材料层298 导电栓塞299 图案化导电层 310 存储单元 312 桥接器314 第一电极316 第二电极318 第一介电层320 伸縮性部分321 伸縮性介电层322 间隙 324 介电层1400 存储阵列1401 共同源极线 1404、 1406 字线 1408、 1410 位线1412 Y译码器以及字线驱动器1414 X译码器以及一组感应放大器1416、 1418、 1420、 1422 存取晶体管1424、 1428、 1429、 1430 电极构件1426、 1432 存储单元1500 集成电路1502 存储阵列1504 列译码器1506字线1508行译码器1510位线1512总线1514感应放大器以及数据读入线路1516数据总线1518数据输入线路1519其它电路1520数据输出线路1522偏压安排状态机器1524偏压安排供给电压具体实施方式
请参照图1至图15，图1至图15为相变化存储单元、该存储单元的 阵列以及制造该存储单元的方法的详细描述。图1示出了一存储单元10的基本结构，此结构包括位于第一电极14 上方的一柱状存储材料12、包括导电柱体18的第二电极16、围绕存储材 料12的伸缩性层20，此伸縮性层20较佳地为介电材料或其它比可程序化 电阻材料在高电阻状态的电阻率更高的材料、介电材料22 (也称为介电填 充材料)、以及形成于伸縮性层柱状存储材料12旁的周围间隙24。此间隙 为伸縮性层20中的空隙，其是自我形成，且自我对准。在特定实施例中，存储材料为可程序化电阻材料，其形成电极间电流 路径，并从第一电阻改变为第二电阻，以响应一程序信号或重置信号(例 如以硫化物为基础的相变化存储材料)，存储材料置于第一与第二电极之 间，且可被程序化和重置上千次以上。导电柱体18为氮化钛或其它适合 的材料，这些适合的材料是选自与可程序化电阻材料及基本接点兼容的材 料，例如氮化钽、氮化铝钛、氮化铝钽、或选自包括钛、钨、钼、铝、钽、 铜、钼、铱、镧、镍及钌及其合金的一群组的材料，此材料传导第二电极 16 (—般为图样化的金属层)与柱状存储材料12间的电性，且提供存f 材料与第二电极(通常包括金属层，例如铜层或铝层)间的扩散势垒。'柱状存储材料12包括主动区域28，主动区域28中电阻率的改变是为了响应程序化及重置程序期间所产生的热能。举例而言，主动区域28可利用硫化物为基础的相变化存储材料设置(或程序化)为一较低电阻的结晶 态，或是重置为一较高电阻的非晶态。可程序化电阻存储材料将其电阻状态维持在程序化及重置信号间(即非易失)，存储材料10的状态是利用读 取于第一电极14与第二电极16间的电阻率来决定的，如熟此技艺者皆知。在程序化及重置期间，热能的产生是集中在主动区域。伸縮性层20 在主动区域28旁的区域收縮，以响应主动区域28中所产生的热能，以形 成自我对准的周围间隙24，并因此而围绕于主动区域28。电流会穿过存 储单元，以加热主动区域足以导致伸縮性层朝存储单元的反方向縮小，形 成间隙24。用以加热伸缩性层的电子信号可在制作工艺期间施加，且包括 例如与重置信号相同或更多的功率。举例而言，用以在伸縮性层20中产 生周围间隙24的电子信号可比重置信号的时间来的久，电流来的高，但 由于间隙所提供的热隔离，使得随后重置信号仅需要较少的能量。间隙24以自我对准的方式形成在主动区域旁，并因此提供主动区域 与伸縮性层(即邻近介电材料)间的热隔离。换句话说，在存储单元10 的程序化或重置操作期间，间隙24会防止热能流出主动区域28。这降低 了改变存储单元10的电阻状态(即程序化或重置)所需的能量。在特定实施例中，伸縮性层20为多孔介电材料层。电流通过存储单 元会加热柱状存储材料12，尤其是主动区域28，因而也会加热多孔介电 材料并导致其縮小。当主动区域28旁的多孔介电材料縮小时，会被拉离 柱状存储材料12，形成限制程序化或重置期间所产生的热能到主动区域 28的间隙24。在某些实施例中，多孔介电材料的导热性比介电材料22来的低。这 进一步地降低了在程序化或重置操作期间主动区域28的导热性(即进一 步限制主动区域28的热能)，因此更为理想。由于多孔介电材料的介电常 数较低，半导体制作工艺技术中使用的许多多孔介电材料，其包括沉积材 料与旋转涂布材料。多孔介电材料可包括硅、氧、氮、碳、氟、或氢等。 许多低介电常数材料适合做为伸縮性介电材料22，其中低介电常数材料的 电容性比氧化硅来的低，并包括氟氧化硅、倍半氧硅垸(silsesquioxane)X聚环烯醚(polyarylene ether)、对二甲苯聚体(parylene)、氟聚合物、氟化非 晶碳、类钻石碳、多孔性氧化硅、介多孔(mesoporous)氧化硅、多孔性倍 半氧硅垸、多孔性聚亚酰胺及多孔性环烯醚。单层或多层结构都可以提供 热绝缘及电绝缘效果。基于多孔介电材料在温度升高时具有縮小的倾向，多孔介电材料在半 导体元件中的应用受到许多限制。许多多孔介电材料的应用仅限制在不会 暴露于升高的处理温度的情况(或层次)。然而，在存储单元10中，多孔介 电层的伸縮性性是一个理想的特征。存取电路可以以许多设定型态实施来接触第一电极14与第二电极 16，以提供控制存储单元10的作业，使得存储单元IO可以被程序化将主 动区域28设定为存储材料转两种可逆转换地固态相中的一种。举例而言， 存储单元可利用硫化物为基础的相变化存储材料设定为较高电阻状态，其 中电流路径中柱状的至少一部分是处于非晶态相，而电流路径中柱状大部 分较低的电阻状态为结晶态相。柱状存储材料12的主动区域28是存储材料被诱发在至少两种固态相 的间作改变的区域。在所示实施例中，主动区域28位于以自我对准的方 式形成于伸縮性层20中的间隙24旁。本领域技术人员可得知，在所示图 中，主动区域可以是非常小的区域，以降低诱导相变化所需的电流强度。 自我形成的间隙会自动与主动区域对准。存储单元的实施例包括以相变化为基础的存储材料，该存储材料包括 以硫化物为基础的材料与其它材料，例如硫元素与下列四元素的任一者 氧(0)、硫(S)、硒(Se)、以及碲(Te)，形成元素周期表上第VI族的部分。硫化物为具有较多正电元素或根基的化合物，硫化合物合金为将硫 化合物与其它材料如过渡金属等结合。 一硫化合物合金通常包括一个以上选自元素周期表第六栏的元素，例如锗(Ge)以及锡(Sn)。通常，硫化 合物合金包括下列元素中一个以上的复合物锑(Sb)、镓(Ga)、铟(In)、 以及银(Ag)。许多以相变化为基础的存储材料已经被描述于技术文件中， 包括下列合金:镓/锑、铟/锑、铟/硒、锑/碲、锗/锑、锗/碲、锗/锑/碲、铟 /锑/碲、镓/硒/碲、锡/锑/碲、铟/锑/锗、银/铟/锑/碲、锗/锡/锑/碲、锗/锑/ 硒/碲、以及碲/锗/锑/硫。在锗/锑/碲合金家族中，可以尝试大范围的合金成分。此成分可以下列特征式表示TeaGebSM00-(a+b)。一位研究员描述了最有用的合金为，在沉积材料中所包含的平均碲浓 度远低于70%，典型地低于60%，并在一般型态合金中的碲含量范围从最 低23%至最高58%，且最佳是位于48%至58%的碲含量。锗的浓度是高于 约5%，且锗的浓度在材料中的平均范围从最低8%至最高30%， 一般低于 50%。最佳地，锗的浓度范围位于8%至40%。在此成分中所剩下的主要 成分则为锑。(Ovshinky '112专利，栏10 U)由另一研究者所评估的特 殊合金包括Ge2Sb2Te5 、 GeSb2Te4 、 以及GeSb4Te7 。 ( Noboru Yamada ， "Potential of Ge-Sb-Te Phase-change Optical Disks for High-Data-RateRecording",SPIEv.3109, pp. 28-37(1997))更一般地，过渡 金属如铬(Cr)、铁(Fe)、镍(Ni)、铌(Nb)、钯(Pd)、铂(Pt)、以及上述的混合 物或合金，可与锗/锑/碲结合以形成一相变化合金，该相变化合金包括有 可程序化的电阻性质。可使用的存储材料的特殊范例，例如Ovshinsky '112 专利中栏11-13所述，该范例在此列入以供参考。在此，适用于一PCRAM 的材料为Ge2Sb2Te5，其通常被称为GST。相变化合金能在此单元主动信道区域内依其位置顺序，在材料为一般 非晶状态的第一结构状态与为一般结晶固体状态的第二结构状态之间切 换。这些合金至少为双稳定态。此词汇「非晶」是用以指称一相对较无次 序的结构，其较之一单晶更无次序性，而带有可检测的特征如较之结晶态 具有更高的电阻值。此词汇「结晶态」是用以指称一相对较有次序的结构， 其较之非晶态更有次序，因此包括有可检测的特征例如比非晶态具有更低 的电阻值。典型地，相变化材料可电切换至完全结晶态与完全非晶态之间 所有可检测的不同状态。其它受到非晶态与结晶态的改变而影响的材料特 性包括，原子次序、自由电子密度、以及活化能。此材料可切换成为不同 的固态、或可切换成为由两种以上固态所形成的混合物，提供从非晶态至 结晶态之间的灰阶部分。此材料中的电性质也可能随之改变。相变化合金可通过施加一电脉冲而从一种相态切换至另一相态。先前 观察指出， 一较短、较大幅度的脉冲倾向于将相变化材料的相态改变成大 体为非晶态。 一较长、较低幅度的脉冲倾向于将相变化材料的相态改变成 大体为结晶态。在较短、较大幅度脉冲中的能量够大，因此足以破坏结晶结构的键能，同时够短因此可以防止原子再次排列成结晶态。在适当实验 的情形下，可决定特别适用于一特定相变化合金的适当脉冲量变曲线。在 本文的后续部分，此相变化材料是以GST代称，同时我们也需要了解，也可使用其它类型的相转换材料。在本文中所描述的一种适用于PCRAM 中的材料，为Ge2Sb2Te5。可用于本发明其它实施例中的其它可程序化的存储材料包括，掺杂 N2的GST、 GexSby、或其它以不同结晶态转换来决定电阻的物质； PrxCayMn03、 PrSrMnO、 ZrOx、 TiOx、 NiOx、 WOx、经掺杂的SrTi03或其 它利用电脉冲以改变电阻状态的材料；或其它使用一电脉冲以改变电阻状 态的物质； TCNQ(7,7,8,8-tetracyanoquinodimethane) 、 PCBM (methanofUllerene 6，6-phenyl C61-butyric acid methyl ester) 、 TCNQ-PCBM、 Cu-TCNQ、 Ag-TCNQ、 C60-TCNQ、以其它物质掺杂的TCNQ、或任何其 它聚合物材料其包括有以一电脉冲而控制的双稳定或多稳定电阻态。图2到图10显示一实施例中制造存储单元的示范制作工艺的剖面图。 图2显示实施一般CMOS制作工艺技术后，制作工艺的第一阶段，其中包 括存取电路的衬底99已经完成。存取电路形成于半导体衬底110上。在 此范例中，好比浅沟道隔离(STI)介电沟道111及112的分隔结构，将各对 存储单元存取晶体管阵列分隔开来。存取晶体管是由衬底110中的共同源 极区域116以及衬底110中的漏极区域115和117所形成的。多晶硅字线 113和114形成存取晶体管的栅极。介电填充层118形成于多晶硅字线113、 114之上。接触栓塞结构141和120接触各存取晶体管漏极115和117。 共同源极线119沿着阵列中的一列接触源极区。包括多个存储单元的存取 电路的衬底99具有一接触面100，其带有传导接触点125、 126的阵列， 位于接触栓塞121、 Ml的顶接触面上，而接触栓塞121、 141与存取电路 连接。存取电路的其它组态也适用于本发明，包括利用二极管代替晶体管 的组态。图3是显示图2中的晶圆下一步骤的剖面图，其带有一存储材料层48 (好比GST层)以及一导电材料层50 (好比TiN层)。其它存储材料或导 电材料也可以替代使用。形成硫化物材料利用物理气相沉积(PVD)溅射或、磁控(Magnetron)溅射方式，其反应气体为氩气、氮气、及/或氦气、压力为1 mTorr至100mTorr。此沉积步骤一般在室温下进行。 一长宽比为1~5的 准直器(commater)可用以改良其填入表现。为了改善其填入表现，也可使 用数十至数百伏特的直流偏压。另一方面，同时合并使用直流偏压以及准 直器也是可行的。有时需要在真空中或氮气环境中进行一沉积后退火处理，以改良硫化 物材料的结晶态。此退火处理的温度典型地位于10(TC至40(TC，而退火 时间则少于30分钟。导电材料作为存储材料与一随后电极层间的扩散阻挡(参照图9,参 考标记72)，并电性耦接存储材料到电极层。图4为图3所显示的晶圆下一步骤的剖面图，其具有图案化光刻胶52、 54位于导电材料层50之上。图案化光刻胶52、 54根据任何一种现有技术 制造图案，以提供随后蚀刻制作工艺的一掩膜。图案化光刻胶52、 54大 致上位于导电栓塞120、 141之上，并会用以形成存储单元。存储单元通 常是越小越好，以提供较高的封装密度，也可将存储单元中的可程序化存 储材料的体积最小化，因此减少改变主动区域中电阻状态所需的能量。图5为图4所显示的晶圆选择性修剪光刻胶图案后的剖面图。修剪是 将图案化光刻胶的大小减少为比最小的光刻特征尺寸还小。举例而言，若 图4所显示的图案化光刻胶52、 54是使用特定光刻技术所能制造的最小 的图案化光刻胶，则图5中修剪后的图案化光刻胶52'、 54，会比较小(即 「次光刻」)。修剪提供比从单纯光刻制作工艺所能获得还小的特征尺寸。 光刻胶修剪是利用例如氧离子以等向蚀刻光刻胶，来修减其宽度及厚度。 在另一方面，硬式掩膜层(好比SiNx或Si02等可利用光刻技术定义图案 的低温沉积层)在利用等向性湿式蚀刻修剪，例如蚀刻二氧化硅的稀释氢 氟酸、或蚀刻氮化硅的热磷酸、或等向氟或氢溴酸为基础的反应离子蚀刻 蚀刻。图6为图5所显示的晶圆移除导电阻挡层及存储材料层的一部份，以 形成柱状导电材料60、 62以及柱状存储材料56、 58在导电栓塞120、 141 后的剖面图。修剪后的图案化光刻胶52，、 54，形成比最小光刻特征尺寸还 小的柱状。图7为图6所显示的晶圆，在移除光刻胶52'、 54'，并沉积一层#縮性材料64在柱状导电材料60、 62以及柱状存储材料56、 58之上，与一 层介电材料66 (「介电填充层」)形成于伸缩性材料64上的后的剖面图。 在一实施例中，伸縮性材料为多孔介电材料，加热后即会縮小。在柱状存 储材料56、 58做区域化的加热，会导致伸縮性材料密度化并朝向远离柱 状存储材料的方向縮小，形成一间隙如上述。介电填充层包括二氧化硅、 聚亚酰胺、氮化硅或其它介电填充材料。在一特定实施例中，介电填充材 料层为二氧化硅或氮化硅，其密度比多孔介电材料层64大。图8为图7所显示的晶圆在平坦化介电层66以露出出柱状导电材料 60、 62的顶面60a、 62a以及伸缩性材料层64的顶面68后的剖面图。化 学机械研磨(CMP)技术是用于一特定实施例。介电层66提供存储单元 结构的机械支持并提供一平面供随后的制作工艺。伸縮性材料层的露出面 68为一相对较窄，且主要与介电层66的平面70以及导电材料的平面60a、 62a平行。图9是所显示的晶圆带有导电层72形成于介电填充层上的剖面图。 在一特定实施例中，导电层72为一 「第一金属」位线层。导电层72透过 导电柱体60、 62以及柱体存储材料56、 58，耦接导电栓塞120、 141。导 电栓塞120形成存储单元的一第一电极(比较图1，参考标记14)，而传 导层形成存储单元的第二电极(比较1图，参考标记16)。其它导电栓塞 材料也可代替使用，包括用于导电栓塞及存储材料间扩散阻挡(未图示) 的材料。存储单元是利用电流通过柱状存储材料56而进行程序化，其加热一 主动区域(参照图1，参考标记28)，以将存储材料的至少一部分的电阻 状态从相对较低的电阻状态改变为相对较高的电阻状态，反之亦然。图10为所示的晶圆形成间隙74、 78于伸缩性材料层64后的剖面图 (参照第一图，参考标记24、 26)。间隙是基于伸縮性材料的縮小而形成， 并随着电流通过导电栓塞120、 141与导电层72之间(其加热存储材料)， 朝柱状存储材料56、 58的反方向拉开。利用施加间隙形成的电流到存储 单元(例如在一或多个设置-重置周期或足以形成间隙的一较高电流加热脉 冲)，以在测试芯片期间的一个代表制作工艺中形成间隙。在施加形成间 隙的电流后，即进行一般装置测试。 c图2至图10中晶圆的部分仅显示两个存储单元。典型地，根据本发 明的一实施例，带有一存储器阵列的集成电路将会有更多的存储单元，通 常数千或数百万个。图11A是存储单元90的一部份的剖面图，其显示形成一间隙前存储材料56及相对较密集的介电填充材料66之间的伸縮性材料64。在此范例 中，伸縮性材料为一多孔介电材料，如上述。图11B为存储单元90，选择 性形成一间隙80的剖面图。伸縮性材料64，己被存储材料56的主动区域 所产生的热能密集化，从存储材料的主动区域收縮以形成间隙80，该存储 材料比介电填充材料还热。多孔介电材料在存储材料旁较为理想，因为即 使密集化后多孔介电材料比类似地非多孔介电材料有较低的热传导性及 较低的热容量。密集化的多孔绝缘材料更可以容纳在设置及重置操作期间 存储材料56所产生的热能。间隙80破坏存储材料56与介电填充材料之 间的热路径，将存储单元设置与重置操作期间所产生的热能，限制在存储 材料的理想区域。图12为一代表性的「伞状」类型存储单元110，其包括在此所述的技 术的自我对准间隙。图12的存储单元110包括一底电极291，成一柱状穿 过介电材料层294。存储材料层296沉积接触底电极291的顶面。电极291 顶面的小区域建立一主动区域295于存储材料层296。伸缩性介电材料层 293沉积在存储材料层296上，覆盖主动区域295的一个区域上。介电填 充层覆盖伸縮性介电材料层293及存储材料层296。存储材料层296耦接 穿过导电栓塞298以及穿过介电填充层和包括位线的图案化传导层299。 间隙297利用如上述方式的一间隙形成电流通过底电极291，并建立于可 伸縮的介电材料293。图13为本发明的一实施例中一存储单元310的剖面图。存储单元的 类型一般称为一 「桥接器」类型可程序化电阻存储单元。实施窄型桥接器 存储材料的技术被公开于美国专利申请案号11/155,067，标题为「THIN FILM FUSE PHASE CHANGE FRAM AND MANUFACTURING METHOD」，申请日为2005年6月17日，包含在此供参考，此技术已发 展到像此文件所述的合成桥接器结构，以在桥接器中形成非常窄的主动材 料层。存储材料的桥接器312 (例如GST)电性耦接第一电极314与第二电 极316，由介电栅分离开，其包括一第一介电层318与一平面化的介电层 324，其中已经形成有第一电极314、介电栅以及第二电极316。第二可收 縮介电层321形成于桥接器312之上。介电填补层325形成于桥接器312 之上。间隙322形成于栅体的伸縮性部分320以及在伸縮性介电层321， 以形成围绕存储材料的主动区域的间隙。在桥接器312比主动区域的大小 窄且材料层321围绕桥接器的边缘的实施例中，所形成的间隙延伸于桥接 器312的所有四个边。在某些实施例中(例如图l的存储单元)，在存储材料形成于衬底后， 会形成伸縮性介电材料。在另一实施例中，伸縮性介电材料是在存储材料 形成于衬底前形成于衬底上。然而，在每个顺序中，存储材料的一部份(例 如主动区域)会在伸缩性介电材料的一部份旁，且一或多个间隙是透过伸 缩性介电材料的收縮，形成于存储材料与伸縮性介电材料之间。在一特定 实施例中，间隙是在存储材料被加热时且热能将存储材料旁的可收缩存储 材料收縮时形成的。在一更具体的实施例中，主动区域是以重置脉冲加热， 且在重置期间所加热的热能会导致伸缩性介电材料收缩。在进一步的实施 例中，连续的重置脉冲会增加存储材料与伸縮性介电材料之间的所形成的 间隙。图14示出了一存储阵列1400的示意图，其可参考图1、图12与图 13所述的存储单元或实施例的其它存储单元实施。在图14的说明中，共 同源极线1401、字线1404、与字线1406、大致上平行于Y轴。位线1408 与1410大致上平行于X轴。因此，在方块1412中的Y译码器以及字线 驱动器，耦接至字线1404、 1406。在方块1414中的X译码器以及一组感 应放大器，则耦接至位线1408、 1410。共同源极线1401耦接至存取晶体 管1416、 1418、 1420、 1422的源极终端。存取晶体管1418的栅极耦接至 字线1406。存取晶体管1420的栅极耦接至字线1404。存取晶体管1422 的栅极耦接至字线1406。存取晶体管1416的栅极耦接至字线1404。存取 晶体管1416的漏极耦接至存储单元1426的电极构件1424，再接着耦接电 极构件1428。相似地，存取晶体管1418的漏极耦接至存储单元U432的电 极构件1430，再接着耦接电极构件1429。存储单元1426、 1432在存储单间隙，以将存储材料的主动区域的热能与邻 近的介电材料分隔。电极构件1428耦接至存储单元1426以及位线1408。电极构件1429 耦接至存储单元1432以及位线1408。存取晶体管1420、 1422也在位线 1410上耦接至相对应的存储单元。图中可见，共同源极线1401是由二列 存储单元所共享，其中的列沿着Y轴而排列。相似地，位线1408耦接至 阵列中的一行存储单元，而在阵列中的行则是沿着X轴排列。图15为根据本发明一实施例的集成电路1500的简化方块图。集成电 路1500包括一存储阵列1502，其利用自我对准间隙，相变化存储单元而 建立在一半导体衬底上。 一列译码器1504耦接至多条字线1506，并沿着 存储阵列1502中的各列而排列。 一行译码器1508耦接至多条位线1510， 这些位线沿着存储阵列1502中的各行而排列，并用以从存储阵列1502中 的存储单元读取并程序化数据。地址是从总线1512提供至行译码器1508 以及列译码器1504。在方块1514的中的感应放大器以及数据读入(data-in) 线路，是经由数据总线1516而耦接至行译码器1508。数据是从集成电路 1500上的输入/输出端、或从集成电路1500的其它内部或外部数据来源， 经由数据输入线路1518而提供至方块1514的数据输入结构。在所述实施 例中，此集成电路包括其它电路1519，例如泛用目的处理器或特定目的应 用电路、或以薄膜相转换存储单元阵列所支持而可提供系统单芯片功能的 整合模块。数据从方块1514中的感应放大器经由数据输出线路1520，而 传送至集成电路1500的输入/输出端，或传送至集成电路1500内部或外部 的其它数据目的。在本实施例中使用偏压安排状态机器1522的一控制器，是控制偏压 安排供给电压1524的应用，例如读取、程序化、擦除、擦除确认与程序 化确认电压等。此控制器可使用现有的特定目的逻辑电路。在替代实施例 中，此控制器包括一泛用目的处理器，其可应用于同一集成电路中，此集 成电路执行一计算机程序而控制此元件的操作。在又一实施例中，.此控制 器使用了特定目的逻辑电路以及一泛用目的处理器的组合。在此所述的一实施例的优点包括形成于存储材料与介电化才料间的间 隙，以破坏存储材料设置或重置工作期间，从存储材料到介电材料的热流。这进一步将热能限制在存储材料的主动区域内，进而进善了可靠度以及减 少设置/重置的功率阶级。本发明己参考相变化材料进行了描述。然而，本发明也可使用其它存 储材料，通常也称为可程序化材料。如此应用所述，存储材料为带有电性 属性(例如电阻)的材料，其属性可根据能量的应用而改变；此改变可为 步骤的改变或持续改变或其结合者。可用于本发明其它实施例中的其它可程序化的存储材料包括，掺杂N2的GST、 GexSby、或其它以不同结晶态 转换来决定电阻的物质；PrxCayMn03、 PrSrMnO、 Zr(X或其它利用电脉冲 以改变电阻状态的材料；或其它使用一电脉冲以改变电阻状态的物质； TCNQ、 PCBM、 TCNQ-PCBM、 Cu-TCNQ、 Ag-TCNQ、 C60-TCNQ、以其 它物质掺杂的TCNQ、或任何其它聚合物材料包括有以一电脉冲而控制的 双稳定或多稳定电阻态。可程序化电阻存储材料的其它范例包括GeSbTe、 GeSb、 NiO、 Nb-SrTi03、 Ag-GeTe、 PrCaMnO、 ZnO、 Nb205、 Cr-SrTi03。 虽然本发明以参照上述较佳实施例与范例进行了详细的描述，但所应 理解的是，上述范例仅供说明之用并非用于限制本发明。对于本领域技术 人员而言，对上述范例所作的任何作润饰及修改，而此等润饰及修改又在 本发明的精神及原则之内，均应包含在本发明的保护范围之内。
权利要求
1、一种存储装置，包括一第一电极；一第二电极；一存储材料形成该第一电极与该第二电极间的一电极间电流路径，该存储材料具有一主动区域，可根据热能来改变自身的固态相；一伸缩性材料邻近该存储材料中的该主动区域，该伸缩性材料的特征在于会由于热能而缩小；以及伸缩性材料的一缩小部分形成该存储材料与该伸缩性材料之间的一间隙，该间隙与该主动区域对准。
2、 根据权利要求1所述的存储装置，其特征在于，该存储装置包括 一衬底；该第一电极位于该衬底之上，该第一电极包括由一介电填充层所围绕 的一导电栓塞阵列；一柱状存储材料阵列，由该存储材料形成于该导电栓塞阵列之上； 一柱状导电材料阵列，形成于该柱状存储材料阵列之上；一介电填充材料，形成于该伸縮性材料上，并被平面化以露出该柱状 导电材料阵列；以及该第二电极，形成于该介电填充材料与该柱状导电材料阵列之上。
3、 根据权利要求1或2所述的存储装置，其特征在于，该伸縮性材 料包括多孔介电材料。
4、 根据权利要求1所述的存储装置，其特征在于，该存储材料在该 第一电极与该第二电极之间形成一柱状存储材料，且该间隙在该柱状存储 材料的周围。
5、 根据权利要求1所述的存储装置，其特征在于，该存储材料形成 存储材料的一桥接器位于该第一电极与该第二电极之间。
6、 根据权利要求1所述的存储装置，其特征在于，该存储材料形成 存储材料的一盖体位于该第一电极与该第二电极之间。
7、 根据权利要求1或2所述的存储装置，其特征在于，该存储材料可选择性可逆地在一第一状态与一第二状态之间进行程序化，该第二状态 比该第一状态的电阻值高。
8、 根据权利要求7所述的存储装置，其特征在于，该第一状态包括 一结晶态的主动区域，且该第二状态包括一非晶态的主动区域。
9、 根据权利要求1或2所述的存储装置，其特征在于，该存储材料 包括一硫化物。
10、 根据权利要求1或2所述的存储装置，其特征在于，该存储材料包括一合金，该合金为锗、锑及碲的结合。
11、 根据权利要求1或2所述的存储装置，其特征在于，该存储材料包括一合金，该合金为锗、锑、碲、硒、铟、钛、镓、铋、锡、铜、钯、 铅、银、硫和金中二个或多个材料的结合。
12、 根据权利要求1所述的存储装置，其特征在于，该存储装置更包括一介电填充层，该伸縮性层沉积于该存储材料与该介电填充层之间。
13、 根据权利要求1或2所述的存储装置，其特征在于，该第二电极 为一金属位线。
14、 根据权利要求2或4所述的存储装置，其特征在于，该柱状存储 材料具有比形成该装置所使用的光刻制作工艺的最小光刻特征尺寸还小 的直径。
15、 一种制造存储装置的方法，其特征在于，该方法包括 形成一第一电极；形成存储材料电性耦接该第一电极；形成伸縮性材料接触该存储材料，该伸縮性材料的特征在于会由于热 能而縮小；形成一第二电极；以及施加电流以诱导热能至该存储材料的一主动区域，以及通过利用诱导 该伸縮性材料的縮小，在该存储材料的该主动区域与一部分的该伸縮性材 料之间形成一间隙。
16、 根据权利要求15所述的方法，其特征在于，该电流为在一存储 阵列中的一存储单元的一重置脉冲。
全文摘要
本发明公开了一种存储装置，包括一第一电极；一第二电极；一存储材料形成该第一电极与该第二电极间的一电极间电流路径，该存储材料具有一主动区域，可根据热能来改变自身的固态相；一伸缩性材料邻近该存储材料中的该主动区域，该伸缩性材料的特征在于会由于热能而缩小；以及伸缩性材料的一缩小部分形成该存储材料与该伸缩性材料之间的一间隙，该间隙与该主动区域对准。本发明同时公开了一种制造存储装置的方法。利用本发明，能够正确的将空隙置放于主动区域旁。
文档编号H01L27/24GK101252167SQ20071016245
公开日2008年8月27日 申请日期2007年10月15日 优先权日2007年2月21日
发明者龙翔澜 申请人:旺宏电子股份有限公司