一种环形通道式激光腔的制作方法

文档序号:7237812阅读:214来源:国知局
专利名称:一种环形通道式激光腔的制作方法
技术领域
本发明涉及一种采用放电激励工作制式的脉冲气体激光器激光腔。
技术背景采用放电激励工作制式的脉冲气体激光器,激光腔工作在密闭(真空或压力)条件下, 要求腔内的工作气体循环流动且快速通过放电区,并对因放电及循环流动作功而使温度升高 的气体实施冷却以保持工作稳定。因此在激光腔结构中除了有产生激光的放电激励源和放电 腔外,还需有使工作气体循环流动的风机、导流装置及冷却的换热器。目前一种典型结构筒 式激光腔包括壳体,气体导流装置,换热器,放电激励源,放电腔,风机;这种激光腔中间 是空的,放电激励源在腔壁外,结构的空间利用率低,外形体积大;壳体(包括端盖)作为 真空或压力容器,其特征尺寸直径(圆形)或边长(方形)很大,为保证结构强度和稳定性 的要求其重量也很大;风机和换热器装在腔内,其装配和拆卸时涉及腔内外很多相关联的结 构零部件,维护和维修都非常不便。这种结构的激光器不利于工程应用特别是作为机动越野 平台使用。发明内容本发明要解决的技术问题是提供一种体积小、重量轻、维护和维修方便、实用性和机动 性强的环形通道式激光腔。本发明的环形通道式激光腔包括气体导流装置,换热器,放电激励源,放电腔,风机; 所述的气体导流装置、换热器、放电激励源、放电腔、风机组成气体循环流道,该气体循环 流道直接作为密闭激光腔;所述的放电激励源放置在气体循环流道中间。本发明气体导流装置、换热器、放电激励源、放电腔、风机组成的气体循环流道直接作 为密闭激光腔,并将放电激励源放置在气体循环流道中间,取缔了背景技术中描述的原筒式 激光腔壳体(包括端盖),提高了空间利用率,结构更紧凑且趋于模块化;在保持原筒式激 光腔的所有功能特性前提下,降低了激光腔的体积和重量,提高了维修性,使激光器整机小型化、轻量化,提高了实用性和机动性。所述的气体导流装置内部采用支板分隔成多个并行通道,并外设相应加强筋,结构设计 可以采用厚度较小的板材,使激光腔整体重量较轻。所述的气体导流装置与换热器、放电腔、风机之间采用法兰加密封圈的联接结构,密封 性能可靠,并易于单个部件的装配和拆卸,使激光腔具有良好的维护和维修性能。经测算,本发明的环形通道式激光腔与背景技术中描述的原筒式激光腔相比,占空体积 可减少40%以上,重量可减少50%以上,从而使激光器整机体积和重量都可减小30%以上, 其实用性与机动性都大为增加。


图l是背景技术的筒式激光腔结构示意图。图中ll是壳体,12、 14、 17、 19气体导流 装置,13、 18换热器,15放电激励源,16放电腔,110风机。图2是本发明的环形通道式激光腔结构示意图,图中22、 24、 27、 29气体导流装置, 23、 28换热器,25放电激励源,26放电腔,210风机。
具体实施方式
如图1所示,是背景技术描述的筒式激光腔的激光轴横截面示意图,其中11是激光腔 壳体(图示为圆筒形的,还有方筒形的),12、 14、 17、 19是通道截面为矩形的气体导流装 置,13、 18是箱式结构的管翅式或板翅式换热器,15是箱式结构的放电激励源,16是通道 截面为矩形的放电腔,110是单台或多台并联的轴流风机或离心风机;壳体(包括端盖)作 为真空或压力容器;放电激励源在壳体外;气体导流装置、风机、换热器装在壳体内。如图2所示,本发明的环形通道式激光腔包括气体导流装置22、 24、 27、 29,换热器 23、 28,放电激励源25,放电腔26,风机210。所述的气体导流装置22、 24、 27、 29是通 道截面为矩形的密闭流道腔,由金属材料制成,其内部采用支板分隔成多个并行通道,并外 设相应加强筋;换热器23、 28是箱式结构的管翅式或板翅式换热器;放电激励源25是箱式 结构的放电激励源,放电腔26是通道截面为矩形的放电腔,放电激励源25和放电腔26由 金属材料与电子元器件制成;风机210是单台或多台并联的轴流风机或离心风机。气体导流装置22、 24、 27、 29,换热器23、 28,放电激励源25,放电腔26,风机210组成气体循环 流道,该气体循环流道直接作为密闭激光腔。所述的放电激励源25放置在气体循环流道中 间。所述的气体导流装置22、 24、 27、 29与换热器23和28、放电腔26、风机210之间采 用法兰加密封圈的联接结构。本发明各部件所形成的环形通道按密闭结构进行设计,受力状态依据具体的脉冲激光器 工作压力要求进行真空容器或压力容器设计,即各气体导流装置、换热器外壳、风机外壳、 放电激励源外壳和放电腔体都是密封结构部件。下部的放电腔与气体导流装置采用相应的支 撑结构安装在一个底座上;上部的风机与气体导流装置间即可采用直接联接方式,也可采用 能对误差和变形进行补偿的软联接方式(如中间加设金属波纹管);为支撑风机重量还应加 设风机支架,风机支架即可支撑在底座上也可支撑在放电激励源上。激光器工作时启动风机运转,风机驱动腔内的工作气体按一定方向进行循环流动,风机 可按工作要求采用单一固定转速或多个不同转速运转,后者需要采用变频器控制。腔内气体 因放电和循环流动作功其温度将会升高,在流过换热器(内部通有冷却液)时得到冷却使温 度下降,在达到热平衡状态后以很小波动幅度的温度值进入放电腔。
权利要求
1、一种环形通道式激光腔,包括气体导流装置,换热器,放电激励源,放电腔,风机,其特征在于所述的气体导流装置(22、24、27、29)、换热器(23、28)、放电激励源(25)、放电腔(26)、风机(210)组成气体循环流道,该气体循环流道直接作为密闭激光腔;所述的放电激励源(25)放置在气体循环流道中间。
2、 根据权利要求1所述的环形通道式激光腔,其特征在于气体导流装置(22、 24、 27、 29)内部采用支板分隔成多个并行通道,并外设相应加强筋。
3、 根据权利要求1所述的环形通道式激光腔,其特征在于所述的气体导流装置(22、 24、 27、 29)与换热器(23、 28)、放电腔(26)、风机(210)之间采用法兰加密封圈的联 接结构。
全文摘要
本发明涉及一种环形通道式激光腔,包括气体导流装置,换热器,放电激励源,放电腔,风机;所述的气体导流装置、换热器、放电激励源、放电腔、风机组成气体循环流道,该气体循环流道直接作为密闭激光腔;所述的放电激励源放置在气体循环流道中间。本发明空间利用率高,结构更紧凑且趋于模块化;在保持原筒式激光腔的所有功能特性前提下,降低了激光腔的体积和重量,提高了维修性,使激光器整机小型化、轻量化,提高了实用性和机动性。
文档编号H01S3/083GK101222111SQ200710193518
公开日2008年7月16日 申请日期2007年12月11日 优先权日2007年12月11日
发明者李世明, 杨贵龙, 邵春雷 申请人:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
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