专利名称：一种喷淋防污染装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及硅材料的酸或碱处理的设备，尤其涉及一种用于硅材料 酸或碱处理设备中的喷淋防污染装置。
背景技术：
在硅片、硅料与硅芯的处理中，由于涉及酸或碱处理工序,故需要把酸或碱 处理工作区与其它处理(水洗/干燥)工作区分开，以避免酸或碱对后处理工作
区的污染。现有避免酸或石成对后处理工作区的污染的l故法有1、通过酸石威工 段的抽排风系统来避免酸碱气的漂移。这样做要求抽风效果要好，且抽风系 统必须连续工作。2、把设备分成两部分来做，酸洗做一台设备，碱洗做一台 设备；这样做由于两台设备工艺要连着做，就需人为周转，会带来工艺的二 次污染。
实用新型内容
本实用新型为了克服现有避免酸或碱对后处理工作区污染的方法的处理 难度大、工艺难控制的缺陷，提供一种用于硅材料酸或碱处理设备中的喷淋 防污染装置。
为解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案 一种设置在酸碱 处理的设备内的喷淋防污染装置，其包括过渡槽、设于过度槽中部上方的喷 淋机构、设于该喷淋4几构周边的隔板，所述的隔板及过渡槽均与所述的设备 内壁连接，所述过渡槽内部设有传送机构。
其中，所述传送机构为带传动机构，其传送起点与终点分别位于过渡槽 内两端。
所述传送机构上设置有工件篮，传送机构与喷淋机构下端的距离大于工 件篮高度。
所述设备内部的空间被所述的隔板及过渡槽划分成左、右两个独立的工 作区，而过渡槽冲彰夸这两个工作区。
本实用新型在硅材料进行酸或碱处理的设备中，设置一带有传送机构的 过渡槽，通过设于分区处(左、右工作区交界处)上方的喷淋机构所喷淋形成的水帘，把左右两工作区的空气有效地隔断，工件篮的传送由传送机构实 现，这样左右两区的气流就大大的减少互通，起到隔离效果，从而减少酸或 碱气流对后处理工作区的污染。
以下结合附图和实施例对本实用新型做进一步的说明
图1为本实用新型结构示意图。
具体实施方式
如图1所示一种硅材料的酸或碱处理设备中的喷淋防污染装置，其设置 在硅材料的酸或碱处理设备内部需要隔离的区域处。本实用新型的优选实施 例包括横向设置的过渡槽l、纵向设于过度槽中部上方的喷淋机构9、设于 该喷淋机构周边的隔板5,所述的隔板及过渡槽均与所述的设备内壁6紧密连 接。过渡槽内部设有一带传送机构2，其传送起点与终点分别位于过渡槽内左 右两端。传送机构上设置有工件篮3，传送机构与喷淋机构9下端的距离大于 工件篮高度。所述设备是四方框架结构，其内部的空间被所述的隔板5及过 渡槽1划分成两个独立的工作区7、 8。过渡槽l前后侧面的尺寸，若与设备 内腔側壁尺寸正好相匹配，则可将设备内腔侧壁部分直接与过渡槽1连接； 若过渡槽1侧面尺寸比设备内腔侧壁小，那么其空隙部分设置隔板5隔离。 总之确保设备内部空间^皮隔板及过渡槽1隔离成为相互独立的左工作区7和 右工作区8，而过渡槽l横跨两个工作区。
工作时，首先开启喷淋机构9喷淋形成水帘4，然后将工件放入位于传送 带上的工件篮3中，再启动传送机构2将工件篮从一个工作区传送到另一个 工作区。
本实用新型通过喷淋机构所喷淋形成的水帘，把左右两工作区的空气有 效地隔断，工件篮的传送由传送机构实现，这样左右两工作区的气流就大大 的减少互通，起到隔离效果，从而减少酸或碱气流对后处理工作区的污染。
上述为本实用新型优选实施例，凡在此原理上改进，均落入本实用新型 的保护范围。
权利要求1、一种喷淋防污染装置，设置在酸碱处理的设备内，其特征在于包括过渡槽(1)、设于过度槽(1)中部的上方的喷淋机构(9)、设于该喷淋机构周边的隔板(5)，所述的隔板及过渡槽均与所述的设备内壁连接。
2、 根据权利要求1所述的喷淋防污染装置，其特征在于所述过渡槽内 部设有传送机构(2)。
3、 根据权利要求2所述的喷淋防污染装置，其特征在于所述传送机构 为带传动机构，其传送起点与终点分别位于过渡槽内两端。
4、 根据权利要求3所述的喷淋防污染装置，其特征在于所述传送机构 上设置有工件篮(3),传送机构与喷淋机构(9)下端的距离大于工件篮高度。
5、 根据权利要求1所述的喷淋防污染装置，其特征在于所述设备内部 的空间被所述的隔板(5)及过渡槽(1)划分的两个独立的工作区(7、 8)， 而过渡槽(1 )横跨这两个工作区。
专利摘要本实用新型公开了一种用于硅材料进行酸或碱处理设备中的喷淋防污染装置，公司装置设置在酸碱处理的设备内，其包括过渡槽(1)、设于过度槽(1)中部的上方的喷淋机构(9)、设于该喷淋机构周边的隔板(5)，所述的隔板及过渡槽均与所述的设备内壁连接。本实用新型通过喷淋机构所喷淋形成的水帘，把左右两工作区的空气有效地隔断，左右两工作区的气流就大大的减少互通，起到隔离效果，从而减少酸或碱气流对后处理工作区的污染。
文档编号H01L21/00GK201243008SQ200820094929
公开日2009年5月20日 申请日期2008年6月20日 优先权日2008年6月20日
发明者仲 余, 黄进权 申请人:深圳市捷佳创精密设备有限公司