专利名称：一种2μm半导体激光器高耦合效率单模光纤准直器的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种半导体激光器高耦合效率单模光纤准直器，特别是一种用于2μm半导体激光器高效率耦合的单模光纤准直器。
背景技术：
随着激光技术的发展，采用掺铥和掺钬的固体激光器的工作波长在2μm附近，这比工作波长在1μm附近的Nd:YAG激光器对人眼的伤害阈值要高，二极管泵浦固体激光器是最近十几年来发展的热点，其主要特点是系统无需制冷，泵浦能量耦合效率高，稳定性强，光束质量好，寿命长，结构紧凑。而2μm左右的二极管泵浦固体激光器是相干激光雷达的最佳匹配，为了提高对小尺度涡流扰动测量的分辨率和分析精度，促进了2μm相干激光雷达的发展。目前，美国、英国、德国、法国、荷兰、爱尔兰、日本等国都致力于2μm固体激光器、探测器、光学系统及其性能测试和测量地球大气、地球风场等应用方面的研究。
所以，2μm全光纤相干激光多普勒测风雷达已成为目前的研究热点之一，无论是星载、机载，还是车载相干激光多普勒测风雷达越来越注重小型化的要求。因此，雷达设计师公认的实现小型化的办法就是利用光纤来代替自由空间中的光路，用小型化光纤器件来代替自由空间的光学器件及其调整机构。同时，利用光纤可以克服自由空间光路中环境干扰和一些分光器件带来的非线性误差，2μm相干激光多普勒测风雷达全光纤化和小型化的要求也无例外，其系统中主要使用的光纤器件就是单模光纤准直器，这种器件通常应用在光学器件封装单模输出、光源-单模光纤耦合、单模光纤-光电二极管耦合、光隔离器等光纤器件以及其它领域等，其具有双窗口工作波长范围宽、低插入损耗、梯度折射率透镜封装坚固尺寸小巧等特点，因此，这种器件可以实现2μm相干激光多普勒测风雷达全光纤化和小型化。
单模光纤准直器采用低成本的梯度折射率透镜制作，产品具有低插入损耗，低后向反射的特性，采用标准的G652单模光纤封装，输出光束直径大约0.5mm。广泛应用于激光二极管，光电二极管探测器，声光调制器等光学器件相配合的系统中。光纤准直器可以成对使用，用来把光耦合进/出其它光学器件。因此，光纤准直器是其它器件光纤耦合封装的理想器件。
光纤准直器的工作原理如图1所示，光纤准直器的准直光束直径(Collimated Beam Diameter，简称BD)和全发散角(Full Divergence Angle，简称DA)，与透镜的焦距长度(f)，光纤的纤芯直径(a)，以及光纤的数值孔径(NA)有关。公式如下 BD(mm)＝2f(mm)NA DA(mrad)＝a(μm)/f(mm) 其中，NA光纤的数值孔径；a光纤的芯径；BD光束直径；DA发散角度；f透镜的焦距。
但是，由于此2μm的波段属于国际公认的特种激光波段，其透过率高的耦合透镜材料比较少并且加工困难，虽然国内外在可见光和近红外波段单模光纤耦合技术已经非常成熟，特别是国外该波段光纤准直器{特别是在通信波段的产品}早已商品化了，但对于2μm波段的激光到单模光纤准直器至今尚未见报道。
目前，国内外科研工作者所研发的2μm全光纤相干激光多普勒测风雷达系统中激光器均采用种子源注入放大级的方式，而一般种子源均为光束质量良好的半导体激光器，采用普通透镜对半导体激光进行光纤耦合，缺点是透镜和9μm直径纤芯之间的光轴对准调节十分困难，同时由于透镜和光纤纤芯要分别通过光学调整架进行耦合调节，这样使两个光学调整架要保证一定的工作距离，所占据的空间会很大，对于2μm全光纤相干激光多普勒测风雷达小型化要求是十分不利的。
发明内容
因此，基于2μm相干激光多普勒测风雷达全光纤化和小型化的需要，本发明的任务是提供一种2μm单模光纤准直器。
一方面，本发明提供了一种2μm半导体激光器高效率耦合的2μm单模光纤准直器，其特征在于该2μm半导体激光器高效率耦合的2μm单模光纤准直器包括2μm半导体测试光源和高耦合效率单模光纤准直器，还包括光纤连接器和高灵敏度2μm激光功率计。所述高耦合效率单模光纤准直器包括梯度折射率透镜、玻璃套管、金属套管、光纤插针、单模光纤尾纤。其中，单模光纤尾纤穿入并固定在插针中心，将插针表面进行抛光处理后，将梯度折射率透镜和光纤插针一起放入玻璃套管中实现对准，同时金属套管将套在玻璃套管外面，起到保护作用。所述梯度折射率透镜和光纤插针端面采用斜面、球形连接，接触端的中央部分保持球面，端面的其它部分加工成斜面，使端面与光纤轴线的夹角小于90°，这样可以增加接触面积，使光耦合更加紧密。当端面与光纤轴线夹角为8°时，插入损耗小于0.5dB，斜面抛光后反射损耗可达68dB。同时，插针的外组件采用金属或非金属的材料制作，插针与梯度折射率透镜接触的斜面必须进行研磨处理，另一端通常采用弯曲限制构件来支撑光纤或光纤软缆以释放应力。所使用的2μm梯度折射率透镜焦距为1.3mm，长度为7.7mm，半径为1.8mm，聚焦常数为0.2mm-1，耦合效率为26.8％。2μm半导体测试光源在温度控制器的作用下发射激光，在激光光轴方向放置2μm单模光纤准直器对发射的激光进行耦合，2μm单模光纤准直器输出端通过光纤连接器与2μm激光功率计连接，因此，耦合到2μm光纤线芯中的激光功率可以通过2μm激光功率计观察读数。2μm半导体测试光源在温度控制器的作用下发射激光，在激光光轴方向放置2μm单模光纤准直器对发射的激光进行耦合，2μm单模光纤准直器输出端通过光纤连接器与2μm激光功率计连接，因此，耦合到2μm光纤线芯中的激光功率可以通过2μm激光功率计观察读数。
上述的2μm单模光纤准直器中，所述梯度折射率透镜由透明材料制成，所述透明材料包括硅片和氧化物玻璃等。
上述的2μm单模光纤准直器中，所述梯度折射率透镜的入射端面形状一般为球面、平面、椭球面、锥面和楔形面。
进一步地，所述梯度折射率透镜的两个端面镀有增加测试光源发射光束透射效率的增透膜。
上述的2μm单模光纤准直器中，所述玻璃套管由特殊材料的两半合成的、紧固的圆筒形构件制成，所述特殊材料包括K9玻璃、融石英、陶瓷、透明塑料。
上述的2μm单模光纤准直器中，所述金属套管由金属材料制成，所述金属材料包括金、铜、铝、钢等。
另一方面，对设计的2μm单模光纤准直器件，利用专业ZAMEX软件进行了优化。
本发明将2μm单模光纤准直器巧妙地引入半导体激光器到单模光纤耦合的系统中，提出了通过渐变折射率透镜对大发散角人眼安全的2μm激光进行光纤耦合的想法。
采取上述技术方案，可以实现2μm单模光纤准直器的制备，实际测试耦合效率最大可达25.4％，满足了2μm相干激光多普勒测风雷达接收系统对回波进行光纤耦合的要求，实现了接收系统的全光纤化和小型化，成功地解决了光轴对准调节困难和占据空间大的缺陷，此外，本发明同时具有耦合效率高、可操作性强和重复性好的特点，且兼备相对成本低，易于实现的优势，在激光器到光纤耦合领域具有很高的实用价值。
以下，结合附图来详细说明本发明的实施例，其中 图1是单模光纤准直器的工作原理示意图； 图2是自聚焦透镜的聚焦特点示意图； 图3是自聚焦透镜和单模光纤之间耦合效率与各参量之间的关系示意图； 图4是2μm单模光纤准直器的一般结构示意图； 图5是梯度折射率透镜的结构示意图； 图6是光纤插针结构示意图； 图7是玻璃套管结构示意图； 图8是镀金套管结构示意图； 图9是2μm半导体激光器结构示意图； 图10是2μm半导体激光器光纤耦合测试系统结构示意图。
具体实施例方式 一般单模光纤准直器主要是由自聚焦透镜和单模光纤组成，自聚焦棒透镜的折射率呈梯度分布，中心折射率为n0，离轴r处的折射率为 其中n0为轴线折射率，r为自聚焦透镜半径，
为自聚焦透镜的聚焦常数。自聚焦透镜的焦距为 其中z为自聚焦透镜的长度。
由(2)式可知，因为A是波长的函数，所以f也是波长的函数。如图2所示，在给定的波长条件下，如果z过长，则焦点在透镜端面内；反之z过短，则焦点在透镜端面外。因此，透镜的长度误差必然会影响到光束耦合效果，这是造成准直器损耗的主要原因之一。
2μm半导体激光到单模光纤的耦合系统是由单模光纤和1/4节距的自聚焦透镜组成，使用1/4节距的自聚焦透镜目的是便于机加工，又因为1/4节距的自聚焦透镜的焦点在端面上便于耦合调试。它们之间的耦合原理同普通透镜的耦合原理相似，所用自聚焦透镜的长度为 其中P为自聚焦透镜的节距。因为P是在近轴近似条件下，根据子午光纤遵循正弦路径传播而确定的。所以由式(3)计算出的z值不准，带来了耦合时的损耗另外自聚焦透镜的像差也会使耦合效率下降增加器件的损耗。
当自聚焦透镜的长度为1/4节距时，即根据模场耦合理论，光场分布为φ1的高斯光束与φ2的高斯光束的耦合效率为 运用高斯光束传输理论，经进一步推导，可分别得到自聚焦透镜和单模光纤之间在离轴耦合、偏角耦合及间距耦合3种情况下，自聚焦透镜和单模光纤之间的耦合效率。
(1)自聚焦透镜和单模光纤之间离轴耦合为 (2)自聚焦透镜和单模光纤之间偏角耦合为 (3)自聚焦透镜和单模光纤之间距耦合为 其中， 这里，ω0，λ分别为高斯光束的模场半径和波长；d为自聚焦透镜和单模光纤之间的间距；x0为自聚焦透镜和单模光纤之间的轴间间距；θ为自聚焦透镜和单模光纤之间的角度。
图3是自聚焦透镜和单模光纤之间耦合效率与各参量之间的关系示意图。利用MATLAB仿真了自聚焦透镜和单模光纤之间耦合效率与各参量之间的关系如图3所示，其中图3(a)为耦合效率与其轴间距离的关系；图3(b)为耦合效率与其角度的关系；图3(c)为耦合效率与其间距的关系，从图中可以看出耦合效率随各参量的增加而迅速下降，并且可以看出耦合效率对间距耦合相对于另两种耦合来说不敏感。
图4是2μm单模光纤准直器的一般结构示意图。该光纤准直器包括光纤尾纤401、光纤插针402、玻璃套管403、梯度折射率透镜404、金属套管407、和光纤连接器406。根据上面自聚焦透镜的传光原理，针对于1/4节距的自聚焦透镜，对所设计的2μm单模光纤准直器进行了优化设计。当汇聚光从自聚焦透镜一个端面输入时，经过自聚焦透镜后会转变成平行光纤或者汇聚光纤。单模光纤准直器是光纤通信系统和光纤传感系统中的基本光学器件，其用途是对传输的高斯光束进行准直或聚焦，以提高光源与光纤间的耦合效率。这种单模光纤准直器的特点是可以将发散角很大的2μm半导体激光耦合到单模光纤里。
对于2μm半导体激光器来说，如果直接用2μm半导体激光器和单模光纤耦合的话，耦合效率会因为椭圆激光模场和圆对称的光纤模场不匹配而降低。当然，可以通过增大激光器端面和光纤端面的距离来减少模式不匹配带来的损耗。但是，由于激光的高度发散，高斯激光光束的波前在增大工作距离的同时变得更加弯曲，这样会导致弯曲的激光光束波前和平面的光纤光束波前相位失匹。同样导致耦合效率降低。因此，要提高耦合效率，不仅要减少模场半径失配带来的耦合损失，而且要减少相位失配带来的耦合损失。因此，将梯度折射率透镜集成在平端光纤端面，主要利用梯度折射率透镜404的渐变折射率将扩散的光束聚集在光纤芯径处来提高耦合效率，同时增加了工作距离。既克服了模场的不匹配，同时又克服了相位的不匹配带来的损耗。
由于2μm是个国内外公认的特种激光波段，国内外透过率高的透镜材料非常少见，要找到高透过率材料并按要求进行加工，其成本是非常高的。因此，折中考虑所有的因素之后，利用中国西安同维通讯技术有限责任公司加工生产的材料即特殊氧化物玻璃梯度折射率透镜来完成单模光纤准直器的制备，这种材料的特点是在2μm波段透过率高且加工容易。通过理论计算并利用ZEMAX软件进行优化，设计加工了制备准直器所需的自聚焦透镜，其优化设计参数如表1所示。
表1准直器优化后的设计参数
把2μm半导体激光器通过自聚焦透镜和光纤进行耦合，来标定所制备的单模光纤准直器的耦合效率的有效值，耦合测试装置如图10所示。
测试中所用的光纤都是Corning SMF-28单模光纤，2μm光功率计型号为3A-FS，测量范围为60μW～3W，测试中所用的其它仪器参数如表2和表3所示。
表22μm单模半导体激光器参数
表32μm单模光纤参数及测试数据
将2μm单模半导体激光用功率计测出它的输出功率，定为基准，然后将2μm半导体激光器固定在六维调整架上，梯度折射率透镜404和光纤插针402通过套管403固定在二维调整架的压板上不动，在显微镜的监视下，仔细调节六维调整架，使得光纤插针402尾部的光纤连接器406的输出光功率计最大，将最大输出功率与激光器输出功率相比就可计算出最大耦合效率，通过大量的测试得到最大的耦合效率为25.4％，接近于优化后的理论值，测试结果表明了优化结果是正确的。
图5是梯度折射率透镜的结构示意图。该梯度折射率透镜包括激光入射面502和与光纤插针相接触的斜面503。梯度折射率透镜的激光入射面502镀有增加激光器出射激光透射效率的增透膜，梯度折射率透镜和光纤插针端面采用斜面、球形连接，接触端的中央部分保持球面，端面的其它部分加工成斜面503，使端面与光纤轴线的夹角小于90°，这样可以增加接触面积，使光耦合更加紧密。当端面与光纤轴线夹角为8°时，插入损耗小于0.5dB，斜面503抛光后反射损耗可达68dB。所使用的2μm梯度折射率透镜焦距为1.3mm，长度为7.7mm，半径为1.8mm，聚焦常数为0.2mm-1，耦合效率为26.8％。同时，此斜面503也镀有增加激光器出射激光透射效率的增透膜。该梯度折射率透镜由柱状透明材料制成。所述透明材料可以为硅片和氧化物玻璃等。所述的梯度折射率透镜入射面可以为平面，也可以根据具体需要设计成球面、椭球面、锥面和楔形面等，这对于本领域的普通技术人员是很好理解的。
图6是光纤插针的结构示意图。该光纤插针包括光纤线芯保护玻璃棒601、光纤纤芯602、与梯度折射率透镜相接触的端面603、光纤尾纤604和光纤连接器605。所述的光纤插针和梯度折射率透镜端面采用斜面、球形连接，接触端的中央部分保持球面，端面的其它部分加工成斜面，使端面与光纤轴线的夹角小于90，这样可以增加接触面积，使光耦合更加紧密。当端面与光纤轴线夹角为8°时，插入损耗小于0.5dB，斜面抛光后反射损耗可达68dB。同时，插针的外组件采用金属或非金属的材料制作，插针与梯度折射率透镜接触的斜面必须进行研磨处理，另一端通常采用弯曲限制构件来支撑光纤或光纤软缆以释放应力。所述的保护玻璃棒601除了具有固定光纤线芯的作用外，由于其外径的制作是和梯度折射率透镜外径尺寸相匹配的，因此，此保护玻璃棒601还具有便于梯度折射率透镜和光纤线芯耦合调节的功能。所述光纤一般为SMF-28类型的单模光纤。所述的光纤连接器605一般为FC/APC类型，也可以根据需要制作成无连接器、FU-FC/UPC、SU-SC/UPC、SA-SC/APC类型，光纤连接器605光纤线芯一般被陶瓷棒保护，其端面一般也有8°的倾角，依然起到隔离后向散射光，降低插入损耗的作用，使得插入损耗小于0.5dB，斜面抛光后反射损耗可达68dB，为尽量精确地对准光纤，对插针和玻璃套管的加工精度要求很高，这对于本领域的普通技术人员是很好理解的。
图7是玻璃套管的结构示意图。该玻璃套管一般由透明材料制成，所述透明材料为K9玻璃、石英、陶瓷、透明塑料等。图7(a)所示为玻璃套管纵向剖面图，而图7(b)为玻璃套管横向剖面图，包括外表面701和内表面702。所述内表面702的孔径和梯度折射率透镜的直径相匹配，玻璃套管的作用是把梯度折射率透镜和光纤插针固定到自身内部703里边，便于梯度折射率透镜和光纤之间按照一定得工作距离进行耦合调节。因此，对于玻璃套管被表面加工质量的要求相对比较高，这样才能保证激光可以通过梯度折射率透镜高效率地耦合到光纤线芯内部。
图8是镀金套管的结构示意图。该镀金套管一般由金属材料制成，所述的金属材料为金、铜、铝和钢等。图8(a)所示为玻璃套管纵向剖面图，而图8(b)为玻璃套管横向剖面图，包括外表面801和内表面802。所述内表面802的孔径和玻璃套管的外径相匹配，镀金套管的作用是保护玻璃套，使其在受到外力作用时不易破碎。由于此镀金套管主要起到保护内部元件的作用，因此对其加工精度要求较低，可以根据具体需要制作多种孔径的金属套管。
图9是2μm半导体激光器结构示意图。该2μm半导体激光器包括三个管脚，分别为管脚902、管脚903和管脚904，同时还包括半导体激光器的发光面901。所述的半导体激光器的发光面901的作用是使半导体激光器出射的激光沿光轴方向发射，同时发光面901在使用时按照一定要求进行了封装，发光面901上面有一层透明材料制成防尘窗片，所述透明材料为石英、K9玻璃和硅片等。所述三个管脚902、903和904一般为半导体激光器的正极、负极和接地，不同的2μm半导体激光器正极、负极和接地的顺序可能不同。
所述的2μm半导体激光器一般根据管脚顺序，安装在特制的半导体激光器安装架上，此时2μm半导体激光器就可以在温控器的作用下工作，所述温控器有两个输出端口，其中一个输出端为电流输出端，此端口为2μm半导体激光器提供工作电流；另一个输出端为控温端，它精确地控制2μm半导体激光器的工作温度，控温精度一般为0.001°，这样可以保持激光器输出波长稳定，这对本领域的普通技术人员来说是可以理解的。
图10是2μm半导体激光器光纤耦合测试装置结构示意图。该耦合测试装置包括半导体激光器温控器1001、半导体激光器安装架1002、2μm半导体激光器1003、梯度折射率透镜1004、玻璃套管1005、光纤插针1006、高灵敏度激光功率计1007和光纤尾纤1008。所述的半导体激光器1003安装在半导体激光器安装架1002上，而半导体激光器安装架1002与半导体激光器温控器1001相连。所述的梯度折射率透镜1004和光纤插针1006通过玻璃套管1005根据工作距离固定在一起，所述光纤插针的后端的光纤连接器与2μm高灵敏度光功率计相连，而为了进行耦合调节和测试所制备的2μm光纤准直器的耦合性能，通常把玻璃套管固定到二维调整架上，同时把半导体激光器安装架1002固定到一个六维调整架上，放到梯度折射率透镜1004的工作距离处。
在所有器件安装完毕之后，打开半导体激光器温控器1001和2μm高灵敏度激光功率计1007的电源，此时可以通过边观察2μm高灵敏度激光功率计1007的读数，边精细调节2μm半导体激光器1003和梯度折射率透镜1004的位置光系，寻找最大耦合效率的数值和位置。
需要说明的是，在测试之前要先标定和记录2μm半导体激光器1003输出功率随工作电流的变化关系，这样在找到2μm高灵敏度激光功率计1007最大读数位置时，就能够计算2μm单模光纤准直器的最大耦合效率。
最后需要强调的是，所设计的一套单模光纤准直器通过测试标定了耦合效率的有效值，测试结果表明，自聚焦透镜优化设计结果是可行和可靠的，这对下一步2μm单模光纤准直器封装及产品化有重要的指导意义，为2μm相干激光多普勒测风雷达的小型化研制奠定了基础。
当然，根据实际应用中的需要，本发明的2μm单模光纤准直器还可以用于光纤激光器和固体激光器的耦合，由于两种激光器输出激光的光束质量非常好，所以两种激光器的耦合效率将会比大发散角的半导体激光器的耦合效率更高，用ZEMAX软件优化后可知两种激光器耦合效率一般都在80％以上。最后应说明的是，以上各附图中的实施例仅用以说明本发明的单模光纤准直器的结构和技术方案，但非限制。尽管参照实施例对本发明进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，对本发明的技术方案进行修改或者等同替换，都不脱离本发明技术方案的精神和范围，其均应涵盖在本发明的权利要求范围当中。
权利要求
1.一种2μm半导体激光器高效率耦合的2μm单模光纤准直器，其特征在于该2μm半导体激光器高效率耦合的2μm单模光纤准直器包括2μm半导体测试光源和高耦合效率单模光纤准直器，还包括光纤连接器和高灵敏度2μm激光功率计，所述高耦合效率单模光纤准直器包括梯度折射率透镜、玻璃套管、金属套管、光纤插针和单模光纤尾纤。其中，单模光纤尾纤穿入并固定在插针中心，将插针表面进行抛光处理后，将梯度折射率透镜和光纤插针一起放入玻璃套管中实现对准，同时金属套管将套在玻璃套管外面，起到保护作用。所述梯度折射率透镜和光纤插针端面采用斜面、球形连接，接触端的中央部分保持球面，端面的其它部分加工成斜面，使端面与光纤轴线的夹角小于90°，这样可以增加接触面积，使光耦合更加紧密。当端面与光纤轴线夹角为8°时，插入损耗小于0.5dB，斜面抛光后反射损耗可达68dB，极好地隔离了后向散射光对激光器影响。同时，插针的外组件采用金属或非金属的材料制作，插针与梯度折射率透镜接触的斜面必须进行研磨处理，另一端通常采用弯曲限制构件来支撑光纤或光纤软缆以释放应力。所使用的2μm梯度折射率透镜焦距为1.3mm，长度为7.7mm，半径为1.8mm，聚焦常数为0.2mm-1，耦合效率为26.8％。2μm半导体测试光源在温度控制器的作用下发射激光，在激光光轴方向放置2μm单模光纤准直器对发射的激光进行耦合，2μm单模光纤准直器输出端通过光纤连接器与2μm激光功率计连接，因此，耦合到2μm光纤线芯中的激光功率可以通过2μm激光功率计观察读数。
2.根据权利要求1所述的2μm单模光纤准直器系统，其特征在于，所述梯度折射率透镜由透明材料制成。
3.根据权利要求2所述的2μm单模光纤准直器系统，其特征在于，所述透明材料包括硅、氧化物玻璃。
4.根据权利要求2所述的2μm单模光纤准直器系统，其特征在于，所述梯度折射率透镜的入射端面形状为球面、平面、椭球面、锥面和楔形面。
5.根据权利要求2所述的2μm单模光纤准直器系统，其特征在于，所述梯度折射率透镜的两端面镀有增加测试光源发射光束透射效率的增透膜。
6.根据权利要求1所述的2μm单模光纤准直器系统，其特征在于，所述玻璃套管由特殊材料制成的两半合成的、紧固的圆筒形构件。
7.根据权利要求6所述的2μm单模光纤准直器系统，其特征在于，所述特殊材料包括K9玻璃、融石英、陶瓷、透明塑料。
8.根据权利要求1所述的2μm单模光纤准直器系统，其特征在于，所述金属套管由金属材料制成。
9.根据权利要求8所述的2μm单模光纤准直器系统，其特征在于，所述金属材料包括金、铜、铝、钢等。
全文摘要
一种用于2μm半导体激光器高效率耦合的2μm单模光纤准直器系统，根据自聚焦透镜的传光原理，针对于1/4节距的自聚焦透镜，对所设计的2μm单模光纤耦合器进行了优化设计。其系统由2μm测试光源、高耦合效率单模光纤准直器、光纤连接器和2μm高灵敏度激光功率计构成，此器件同时可用于平行光光纤耦合，满足了2μm相干激光多普勒测风雷达接收系统对回波进行光纤耦合的要求，可以实现接收系统的全光纤化和小型化，成功地解决了光轴对准调节困难和占据空间大的缺陷，本发明具有耦合效率高、可操作性强和重复性好的特点，且兼备相对成本低，易于实现的优势，在激光器到光纤耦合领域具有很高的实用价值。
文档编号H01S5/06GK101826700SQ200910217408
公开日2010年9月8日 申请日期2009年12月24日 优先权日2009年12月24日
发明者王春晖, 李彦超 申请人:哈尔滨工业大学