电泳显示设备的制造流水线设备及制造方法

专利名称：电泳显示设备的制造流水线设备及制造方法
技术领域：
本发明涉及电泳显示设备的制造流水线设备和制造方法，更具体地，涉及一种以母基板为单位粘附FPL膜和保护膜从而使整个制造流水线自动化的电泳显示设备的制造流水线设备以及制造方法。
背景技术：
通常，电泳显示设备是利用下述现象的图像显示设备，所述现象即为在施加有电压的一对电极浸入到胶体溶液中时胶体微粒移动到任一极性电极的现象。不使用背光但是具有诸如宽视角、高反射率、低功耗等等这些特征的电泳显示设备因此被广泛地用作诸如电子纸张这样的电子设备。 电泳显示设备具有其中电子墨水层介于两个基板之间这样的结构，并且这两个基板中的至少一个是由透明基板制成的并且另一基板设置有反射板以在入射光被反射的反射模式下显示图像。 图1是用于对典型的电泳显示设备进行说明的横截面视图。实际上，在电泳显示设备中排列有由纵向、横向排列的多条栅极线和数据线所限定并用于接收来自外部的信号的多个像素，但是在该图中，为了便于说明仅示出了一个像素。 如在图1中所例示的，电泳显示设备1包括第一基板20和第二基板30，并且第一基板20是由玻璃等构成的基板，并且第二基板是由诸如柔性PET这样的透明片构成的。
在第一基板20上形成薄膜晶体管和像素电极18，并且通过薄膜晶体管将来自外部的信号施加到像素电极18上。薄膜晶体管包括形成于第一基板20上的栅极10、形成在整个第一基板20上并形成有栅极10的栅极绝缘基板22、形成于栅极绝缘基板22上的半导体层12、以及形成于半导体层12上的源极14和漏极15。在薄膜晶体管上，也即在源极14和漏极15上，形成保护层2。 在保护层24上形成像素电极18，并且像素电极18通过形成于保护层24上的接触孔与薄膜晶体管的漏极15电连接。 在第二基板30上形成由透明导电材料构成的公共电极32和电子墨水层40。电子墨水层40是膜状，其中散布有在聚合物粘合剂中充满电子墨水的多个囊体42，并且散布在囊体42中的电子墨水是由白色微粒(或白墨)44和黑色微粒(或黑墨)46组成的。此时，白色微粒44和黑色微粒46分别具有正、负电荷的特性。换句话说，白色微粒44是带正电的，并且黑色微粒46是带负电的。 公共电极32与第一基板20的像素电极18相面对，并且如果将信号施加到像素电极18上，那么与像素电极18相协作形成电场以将电场施加到电子墨水层40上。结果，囊体42中的白色微粒44和黑色微粒46在电场的作用下移动以便显示图像。
此外，形成允许施加来自外部的公共信号的公共线26，并且在公共线26上配备与第二基板30的公共电极32相接触的Ag点部分，以将通过公共线26输入的公共信号施加到第二基板30的公共电极32。
将具有上述构造的第二基板30粘附到第一基板20并且在第一基板20与第二基板30之间提供密封材料29，从而完成电泳显示设备1。如上所述，将保护膜36粘附到粘附有第一基板20的第二基板30上，从而防止产生水渗透到电子墨水层40中这样的缺点。
图2是用于对根据相关技术的制造电泳显示设备的方法进行说明的流程图，下面将参照附图对相关技术中的制造电泳显示设备的方法进行描述。 如图2所示，首先，在TFT阵列处理中，在形成于母基板上的多个面板区域的每一个上形成多个薄膜晶体管以及各种布线和电极(请参见步骤S101)。此时，薄膜晶体管以及各种布线和电极是通过典型的光刻工艺形成的。 通过切割设备对应于多个面板区域切割如上所述的在多个面板区域上形成有诸如薄膜晶体管(T)这样的各种元件的母基板，以将其划分成多个显示面板(请参见步骤S102)。此后，在所划分的显示面板的每一个中的公共线上点上银点(请参见步骤S103)。
另一方面，在电子墨水层形成流水线装置中，将透明导电材料层叠在与形成于母基板上的多个面板区域的数量相对应的多个透明片上以形成公共电极，此后将电子墨水膜粘附到公共电极上以形成前面板层叠(FPL)膜(请参见步骤S104和S105)。
将如上所述的粘附有电子墨水膜的FPL膜粘附到所划分的显示面板的每一个上，并且将保护膜粘附到FPL膜上，此后对密封材料进行涂敷并且使密封材料固化以密封FPL膜和保护膜，从而完成电泳显示设备(请参见步骤S106和S107)。
然而，上述电泳显示设备具有如下问题。 薄膜晶体管形成于形成有多个面板的大型玻璃或大型金属板上，而电子墨水层40形成于第二基板上，即形成在面板单元中所形成的透明片30上。 因此，根据相关技术的电泳显示设备，当将第二基板30粘附到第一基板20上时，将母基板划分成显示面板单元，此后应在所划分的显示面板的每一个上将第二基板30和保护膜36粘附到第一基板20。因此，将在切割处理中所切割的多个第一基板20存储在存放位置，此后应将第二基板30和保护膜36粘附到所划分的第一基板20的每一个。然而，因为无法实现自动化，因此这种过程需要操作者手动地执行。其结果是，在相关技术的制造电泳显示设备的方法中，存在无法使整个制造处理自动化这样的问题，因为不能够实现存储从母基板切割的多个第一基板20以及对所存储的第一基板20的每一个执行后续处理的过程的自动化。

发明内容
为了解决上述问题提出了本发明，因此本发明的目的是提供一种以母基板为单位来粘附透明膜和保护膜以从而使其整个制造流水线自动化的电泳显示设备的制造流水线设备以及制造方法。 为了实现上述目的，根据本发明的电泳显示设备的制造流水线设备可包括薄膜晶体管阵列流水线装置，用于在形成有多个面板区域的母基板上形成薄膜晶体管；电子墨水流水线装置，用于在透明片上形成公共电极并且粘附电子墨水膜以形成前面板层叠(FPL)膜；粘附流水线装置，用于通过分别从薄膜晶体管阵列流水线装置和电子墨水流水线装置加载母基板和FPL膜而将FPL膜粘附到形成于母基板上的多个面板区域；以及保护膜粘附流水线装置，用于通过从粘附流水线装置加载粘附有FPL膜的母基板而将保护膜粘附到多个面板区域，其中多个面板区域在母基板上排列成M列和N行(M和N均大于或等于2)的矩阵，并且提供N或M个机械手以便以列或行为单位将多个FPL膜和保护膜粘附到形成于母基板上的多个面板区域。 粘附流水线装置可包括粘附台，该粘附台加载有母基板；至少一个照相机，所述至少一个照相机位于粘附台的上部以使母基板与FPL膜对准；以及至少一个机械手，用于将FPL膜加载到粘附于粘附台的母基板上。 此外，根据本发明的电泳显示设备的制造方法可包括如下步骤在形成有多个面板区域的母基板上形成薄膜晶体管；在透明片上形成公共电极并且粘附电子墨水膜以形成前面板层叠(FPL)膜；将FPL膜粘附到形成于母基板上的多个面板区域；以及将保护膜粘附到母基板上的粘附有FPL膜的多个面板区域的每一个上，其中多个面板区域在母基板上排列成M列和N行(M和N均大于或等于2)的矩阵以便以列或行为单位粘附多个FPL膜和保护膜。 根据本发明，以母基板为单位执行FPL膜和保护膜的粘附以使整个制造流水线自动化，从而降低制造成本并且显著地减少制造时间。另外，还可消除操作者的人工作业，从而使其缺陷最小化。


附图并入本申请中构成本申请的一部分，用以对本发明提供进一步的理解。附解了本发明的实施方式并与说明书一起用于解释本发明的原理。在附图中 图1是用于对典型的电泳显示设备进行说明的横截面视图； 图2是用于对根据相关技术的制造电泳显示设备的方法进行说明的流程图； 图3是用于对根据本发明的电泳显示设备的制造方法进行说明的流程图； 图4是用于对其中通过薄膜晶体管阵列处理形成有多个薄膜晶体管的母基板进
行说明的视图； 图5是示意性地对根据本发明的电泳显示设备的制造流水线设备进行说明的框图；以及 图6是根据本发明的透明片粘附台的视图。
具体实施例方式
下面参照附图对根据本发明的电泳显示设备进行详细的描述。
图3是用于对根据本发明的电泳显示设备的制造方法进行说明的流程图。 如在图3中所例示的，首先，在TFT阵列处理中，在形成于由金属所制成的母基
板上的多个面板区域的每一个中形成多个薄膜晶体管以及各种布线和电极(请参见步骤
S201)。此时，透明玻璃基板或金属板可用作母基板。在使用金属板的情况下，金属板自身
的性质具有柔韧性，因此可制造柔性的电泳显示设备。 在图4中，公开了通过TFT阵列处理在母基板的每个面板区域101中形成有多个薄膜晶体管等这样的结构。尽管在附图中在母基板100中形成了两列面板区域IOI，但是根据本发明的母基板100的结构并不限于此。三列或更多面板区域101可排列在本发明的母基板100中，并且这种面板区域101的数目不受到限制。换句话说，一个或多个面板区域101可在母基板100上在列或行方向上排列成矩阵形式。 如在图4中所例示的，显示面板可通过TFT阵列处理在多个面板区域101的每一个中形成。每个面板区域101形成有形成多个像素以实现实际图像的显示区域102、与外部驱动元件相连以将信号施加到显示区域102的衬垫层108、以及用于输入来自外部的公共信号的公共线126。显示区域102形成有纵横排列的用于限定多个像素的多条栅极线103和数据线105、布置在每个像素上并且与栅极线103和数据线105相连的薄膜晶体管(T)、以及布置在每个像素上的像素电极118。 虽然附图中未示出，薄膜晶体管(T)可包括形成在母基板100上的栅极、形成于栅极上的栅极绝缘层、形成于栅极绝缘层上的半导体层、以及形成于半导体层上的源极和漏极。此时，栅极线103是由与薄膜晶体管(T)的栅极的形成相同的工艺形成的，并且数据线105是由与薄膜晶体管(T)的源极和漏极的形成相同的工艺形成的。像素电极118与薄膜晶体管的漏极相连，将通过薄膜晶体管输入的信号施加到像素电极118。此外，公共线126和衬垫层108是由与薄膜晶体管的栅极或源极的形成相同的工艺形成的。
如上所述，在第一母基板(其中在多个多个面板区域中形成有多个薄膜晶体管以及各种布线和电极)上的每个面板区域中的公共线126上点上银(Ag)点(请参见步骤S202)。 另一方面，在电子墨水流水线装置中，将透明导电材料层叠在PET和透明片上以形成公共电极，然后将电子墨水膜粘附到公共电极上以形成前平面层叠(FPL)膜(请参见步骤S203)。随后，分别将由透明片制成的多个FPL膜以及粘附到透明片上的电子墨水膜粘附到形成于母基板上的相应面板区域(请参见步骤S204)。此时，FPL膜设置有粘附层，因此FPL膜通过粘附层粘附到母基板的面板区域。 随后，将多个保护膜分别粘附到粘附有FPL膜的母基板的多个面板区域，然后通过切割设备切割母基板并且将其划分成多个显示面板，从而完成电泳显示设备(请参见步骤S205和S206)。 如上所述，根据本发明，以母基板为单位执行从形成薄膜晶体管到粘附FPL膜和保护膜的所有处理并且在粘附保护膜之后执行母基板的切割，因此，在切割母基板之后无需执行特定单独处理的情况下完成各单独的电泳显示面板，从而使从薄膜晶体管阵列处理至切割处理的多个处理自动化。 图5是用于对实现如图3中所说明的制造方法的、根据本发明的电泳显示设备的制造流水线设备进行说明的视图，并且在该图中例示了自动化的且集成的制造流水线设备。换句话说，图5中所例示的制造流水线设备在所有制造处理期间都不需要操作者的手动作业。 如在图5中所例示的，电泳显示设备160的制造流水线设备可包括清洗流水线装置161，用于通过输入来自TFT阵列流水线装置的母基板清洗在多个面板区域的每一个上形成有多个薄膜晶体管和像素电极等的母基板；粘附流水线装置162，用于通过加载来自清洗流水线装置161的已清洗的母基板并且加载来自电子墨水流水线装置的在透明片上形成有公共电极且粘附有电子墨水膜的FPL膜，将多个FPL膜粘附到形成于母基板上的面板区域；保护膜粘附流水线装置164，用于将保护膜粘附到粘附有从粘附流水线装置162输入的多个FPL膜的母基板中的多个面板区域的多个FPL膜上；以及切割流水线装置166，用于切割粘附有保护膜的母基板并且将其划分成多个单元面板，从而完成电泳显示设备。
虽然图中未示出，但是在每个处理流水线装置中在基本上不同的环境中执行不同 处理。因此，在每个处理流水线装置之间需要用于传送作为处理对象的母基板100的传送 装置，并且在本发明中可使用传送带作为传送装置。传送带通过将从先前处理流水线装置 卸载的母基板100传送到后续处理流水线装置来加载母基板100。这种传送带与制造流水 线设备链接，从而可使得处理连续地进行。 此外，虽然附图中未示出，但是分别在预设时间存储母基板100和FPL膜，从而使 每个处理流水线装置之间同步并且使母基板100与FPL膜同步。 在清洗流水线装置161中清洗已经通过了 TFT处理流水线装置的母基板100。在 TFT阵列流水线装置中，通过利用光致抗蚀剂进行光刻处理来蚀刻金属层和绝缘层，从而形 成薄膜晶体管、各种布线等等。因此，诸如光致抗蚀剂的渣滓、蚀刻的金属的渣滓、蚀刻的绝 缘层的渣滓等等这样的杂质留在通过了 TFT阵列流水线装置的母基板100上。这些杂质在 清洗流水线装置161中被除去。母基板100使用诸如去离子水或空气这样的清洗液。此时， 在使用去离子水的情况下，通过将去离子水散布在母基板100上可除去留在母基板100上 的杂质。另外，在清洗流水线装置161中设置风扇加热器以使清洗了母基板100的去离子 水蒸发，从而防止湿气留在母基板上。 在使用空气的情况下，通过将空气吹到母基板100上可除去留在母基板100上的 杂质。 在TFT阵列流水线装置中在多个面板区域上形成薄膜晶体管以及各种布线，并且 在粘附流水线装置162中分别从清洗流水线装置161和电子墨水流水线装置加载形成有上 述构造的已清洗的母基板和FPL膜。 图6是在粘附流水线装置中所提供的粘附台180的视图。如在图6中所例示的， 将形成有多个面板区域101的母基板100加载到粘附台180上。此时，虽然图中未示出，但 是在待加载有母基板100的区域中形成了与外部真空设备(未示出)相连的多个吸附孔以 便吸附作为待加载母基板100的母基板，从而将母基板100固定到粘附台180上。
此外，在粘附台180的上部提供了照相机190。照相机190按照使FPL膜130总 是粘附在面板区域101的预定位置的方式使母基板100的面板区域101与粘附到面板区域 101的FPL膜130对准。虽然图中未示出，但是为了对准，在母基板100上形成对准标记。
可排列一个或多个照相机190。在提供多个照相机190的情况下，可提供对应于母 基板100上形成的多个面板区域101的数量的照相机190，以使所有面板区域101与相应 FPL膜130对准；或者可提供对应于面板区域101的列数或行数的照相机190，以使面板区 域101的每列或每行与相应FPL膜130对准。此外，在布置有一个照相机190的情况下，以 母基板为单位在面板区域上对准照相机190。换句话说，通过一个照相机190对准多个面板 区域。 如果将母基板100加载并固定到具有上述配置的粘附台180上，那么将粘附到电 子墨水膜上的FPL膜130加载到粘附台180。通过机械手182将FPL膜130加载到母基板 100的相应面板区域101上，然后将FPL膜130放置到通过照相机190所对准的面板区域 101上并且之后将其粘附到面板区域101。 如在图6中所例示的，母基板IOO排列有NXM个面板区域IOI(M和N均大于或等于2)。提供了与面板区域101的总数即NXM相对应的机械手182，因此相应FPL膜130可 同时粘附到所有的面板区域101。然而为了降低成本或提高处理有效性，优选地设置N或M 个机械手182以便以列或行为单位同时将FPL膜130粘附到相应面板区域101。
另一方面，布置在面板区域101的公共线上的Ag点可在TFT阵列流水线装置中形 成，或者可在粘附台180中形成。典型地，通过诸如传送带这样的传送装置将通过了 TFT阵 列流水线装置的母基板传送到粘附流水线装置。因此，在传送处理期间可能有杂质等留在 母基板上。在这种杂质留在Ag点上的情况下，将阻碍第一基板与第二基板之间的电连接， 从而引起故障。 其结果是，当在粘附台180上实现了 Ag点时，因为预先通过清洗流水线装置161 对母基板100进行了清洗，可抑制上述杂质。此外，通过提供于粘附台180上的照相机190 对Ag点区域进行对准以形成Ag点，从而抑制Ag点出故障。 在这里，在将FPL膜130粘附到面板区域101之前，实施在粘附台180上Ag点的 形成。 虽然在附图中未示出，在保护膜粘附流水线装置164中还提供了诸如FPL膜粘附 台180这样的保护膜粘附台。保护膜粘附台与FPL膜粘附台180相类似地配置，由此通过 使用机械手以列或行为单位将多个保护膜粘附到母基板100的排列成NXM矩阵的面板区 域101上(当然，可以单独粘附，也可以同时粘附)。此时，还通过诸如传送带这样的传送装 置将粘附有FPL膜的母基板IOO从粘附流水线装置162传送到保护膜粘附流水线装置164， 然后将其加载到保护膜粘附台。 此外，如图6中所例示的，可将保护膜粘附到粘附台180上。换句话说，在完成将 FPL膜130粘附到粘附台180上之后，通过机械手加载保护膜来粘附保护膜以便将保护膜放 置到母基板100的面板区域101上。 按照这种方式，将FPL膜130和保护膜粘附到粘附台180上，因此不需具有额外的
保护膜粘附台、照相机等等，从而降低了制造成本并且使制造流水线装置简单化。 在切割流水线装置166中，以面板区域101为单位来切割母基板100并且将其划
分成多个单元显示面板。此时，在切割流水线装置166中提供了切割轮并且形成预定切割
线，然后通过压杆施加压力以便对预定切割线进行划分。此外，可使用激光器来熔化母基板
100以切割母基板100。 对于如上所述的划分的单元显示面板而言，通过除气设备除去包含在电子墨水膜 或保护膜之内的气泡，然后通过诸如目测检查或照明检查这样的各种检查来检查是否在单 元显示面板中发现任何疵点。如果在上述检查中没有发现疵点，那么在其外壁区域上涂敷 密封材料，然后将密封材料暴露于固化台上的热量或光中以便使密封材料固化。随后，密封 显示面板并且使其容纳在其下壳或上壳中，从而完成电泳显示设备。 如上所述，以母基板为单位执行诸如形成薄膜晶体管和各种布线、粘附FPL膜、以 及粘附保护膜这样的处理，因为FPL膜和保护膜粘附到形成于母基板上的多个面板区域 上。在相关技术的先对母基板进行切割然后将FPL膜和保护膜粘附到所划分的电泳显示设 备上的制造电泳显示设备的方法中，在母基板上执行薄膜晶体管阵列处理，然后应当分别 对多个所划分的显示面板执行后续处理，因此，应当在将显示面板中的一些传送到后续处 理的同时存储其他的多个划分的显示面板，从而不可能使整个流水线自动化。相反地，根据
9本发明，以母基板为单位执行整个处理，因此，如果完成了一个处理，那么通过诸如传送带 这样的传送装置将相关母基板传送到后续处理流水线装置以执行相关处理，从而可使整个 流水线自动化。其结果是，根据本发明，由于自动化可快速地执行处理，并且因此可由最少 数目的人员管理所述处理。 另一方面，虽然以上述特定的结构描述了粘附台或电泳显示设备，但是根据本发 明的电泳显示设备的制造流水线设备及制造方法并不局限于这种特定结构。例如，本发明 还可适用于具有用于实现彩色的滤色器的电泳显示设备、具有单独反射板的电泳显示设备 等等。此外，还可适用于各种类型的粘附台。换句话说，本发明并不局限于具有特定结构的 制造流水线设备，而是可适用于以母基板为单位执行处理以使其整个制造流水线自动化的 所有制造流水线设备或制造方法。 虽然已经如上所述对本发明的优选实施方式进行了描述，但是所属领域普通技术 人员应当理解，对本发明作出的各种修改以及等效的其他实施方式皆落入本发明的范围。
因此，应该注意的是本发明的范围不应局限于这些具体实施方式
，在不脱离本发 明的精神并且在所附权利要求的范围之内所作出的各种修改和改进也包含在本发明的范 围之内。
权利要求
一种电泳显示设备的制造流水线设备，包括薄膜晶体管阵列流水线装置，用于在具有多个面板区域的母基板上形成薄膜晶体管；电子墨水流水线装置，用于在透明片上形成公共电极并且将电子墨水膜粘附到该公共电极以形成前面板层叠(FPL)膜；粘附流水线装置，用于通过分别从所述薄膜晶体管阵列流水线装置和电子墨水流水线装置加载母基板和FPL膜而将所述FPL膜粘附到所述母基板上的多个面板区域；以及保护膜粘附流水线装置，用于通过从所述粘附流水线装置加载粘附有FPL膜的母基板而将保护膜粘附到所述多个面板区域，其中所述多个面板区域在该母基板上排列成M列和N行的矩阵，并且提供N或M个机械手以便以列或行为单位将多个FPL膜和保护膜粘附到形成于该母基板上的所述多个面板区域，其中M和N均大于或等于2。
2. 根据权利要求1所述的电泳显示设备的制造流水线设备，其中所述粘附流水线装置 包括粘附台，在该粘附台上加载母基板；至少一个照相机，所述至少一个照相机位于所述粘附台的上部以使该母基板与FPL膜 对准；以及至少一个机械手，用于将FPL膜加载到粘附于该粘附台的母基板上。
3. 根据权利要求1所述的电泳显示设备的制造流水线设备，其中所述保护膜粘附流水 线装置包括粘附台，在该粘附台上加载母基板；至少一个照相机，所述至少一个照相机位于该粘附台的上部以使该母基板与FPL膜对 准；以及至少一个机械手，用于将FPL膜加载到粘附于粘附台的母基板上。
4. 根据权利要求2所述的电泳显示设备的制造流水线设备，其中在该粘附台上将该保 护膜粘附到母基板上。
5. 根据权利要求2所述的电泳显示设备的制造流水线设备，其中提供N或M个照相机 以执行对形成于母基板上的多个面板区域的对准。
6. 根据权利要求1所述的电泳显示设备的制造流水线设备，还包括传送带，该传送带布置在每个处理流水线装置之间以将母基板传送到后续的处理流水 线装置。
7. 根据权利要求1所述的电泳显示设备的制造流水线设备，还包括缓冲器，该缓冲器布置在每个处理流水线装置之间以使一处理流水线装置与后续的处 理流水线装置同步。
8. 根据权利要求1所述的电泳显示设备的制造流水线设备，还包括切割流水线装置，用于切割从所述保护膜粘附流水线装置加载的母基板并且将该母基板划分成电泳显示面板单元。
9. 一种电泳显示设备的制造方法，包括如下步骤 在具有多个面板区域的母基板上形成薄膜晶体管；在透明片上形成公共电极并且将电子墨水膜粘附到该公共电极上以形成前面板层叠(FPL)膜;将FPL膜粘附到形成于母基板上的所述多个面板区域的每一个；以及将保护膜粘附到该母基板上的粘附有该FPL膜的所述多个面板区域的每一个，其中所述多个面板区域在该母基板上排列成M列和N行的矩阵以便以列或行为单位粘附多个FPL膜和保护膜，其中M和N均大于或等于2。
10. 根据权利要求9所述的电泳显示设备的制造方法，还包括如下步骤对形成有所述薄膜晶体管的母基板进行清洗；以及除去粘附有保护膜的母基板中的气泡。
11. 根据权利要求9所述的电泳显示设备的制造方法，还包括如下步骤在粘附透明片之前在该母基板的所述多个面板区域的每一个中形成Ag点。
12. 根据权利要求9所述的电泳显示设备的制造方法，还包括如下步骤对所划分的电泳显示设备进行检查；在所划分的电泳显示设备上涂敷密封材料；以及使所划分的电泳显示设备上的密封材料固化。
全文摘要
本发明提供电泳显示设备的制造流水线设备及制造方法。该方法包括在具有多个面板区域的母基板上形成薄膜晶体管；在透明片上形成公共电极并且将电子墨水膜粘附到该公共电极上以形成前面板层叠(FPL)膜；将FPL膜粘附到形成于母基板上的所述多个面板区域的每一个；以及将保护膜粘附到该母基板上的粘附有该FPL膜的所述多个面板区域的每一个，其中所述多个面板区域在该母基板上排列成M列和N行的矩阵以便以列或行为单位粘附多个FPL膜和保护膜，其中M和N均大于或等于2。在粘附FRL膜和保护膜之后可以执行母基板的切割。本发明通过以母基板为单位粘附FPL膜和保护膜而使整个制造流水线自动化。
文档编号H01L21/82GK101750835SQ20091025355
公开日2010年6月23日 申请日期2009年12月8日 优先权日2008年12月9日
发明者李昌焄 申请人:乐金显示有限公司