专利名称：：一种机台工作状态指示装置的制作方法
技术领域：
：本实用新型涉及微电子
技术领域：
，特别是涉及一种用于晶片量测机台状态的指示装置。
背景技术：
：现有晶片(wafer)量测机台在进行晶片量测时，由于操作员无法准确判断机台内的材料是否已经完成量测被送回至晶片盒(cassette),因此容易造成晶片仍在机台内未完成量测时，操作员就将晶片盒从载台上取走，并按照步骤，放入下一批材料。这样就会造成仍在机台内进行量测的晶片回传至晶片盒时，与该批材料的晶片相撞而造成叠片刮伤。另外，还有可能在进行量测的晶片正在放入而未完全放入至晶片盒的同时，操作员将晶片盒取走，而造成晶片的刮伤，甚至造成抓住晶片的机械手变形。
实用新型内容为解决上述现有技术的缺陷，本实用新型的目的是提出一种机台状态的指示装置。为实现上述目的，本实用新型提出的指示装置包括机械手原始位置传感器、机械手真空传感器和量测台真空传感器，其中，还包括摆放传感器、可编程逻辑器件和显示灯；并且上述机械手原始位置传感器、机械手真空传感器、量测台真空传感器、以及晶片预对准摆放传感器与上述可编程逻辑器件的输入端电连接，该可编程逻辑器件的输出端与上述显示灯电连接。所述的机台工作状态指示装置的显示灯为发光二极管。所述晶片预对准摆放传感器为直射式光电传感器。与现有技术相比，由于本实用新型采用指示装置来指示机台的工作状态，使工作人员能更直观地了解到晶片量测正在进行的状态，从而确保在晶片完成量测并被完全放入至晶片盒后，操作人员再将晶片盒取走，有效地避免了因为取走晶片盒时机不当而造成的晶片损坏。图1为适用于本实用新型指示装置的机台的工作流程示意图2为适用于本实用新型指示装置的机台在进行量测时，晶片流程示意图3为本实用新型指示装置的结构示意图4为本实用新型中机械手原始位置传感器电路结构原理图5为本实用新型中机械手真空传感器以及量测台真空传感器电路结构原理图6为本实用新型晶片摆放传感器电路结构原理图。具体实施方式以下结合附图对本实用新型的工作过程作进一步详细说明。本实用新型的指示装置适用于晶片量测机台，该机台是公知技术，这里以KLAP240机台为例进行说明。其自带机械手原始位置传感器、机械手真空传感器和量测台真空传感器，并且上述各传感器的工作电压为15V，因为上述器件及其相互连接关系是公知技术，容易被本领域技术人员理解和实现，因此这里不再做详细描述，也不推荐附图。本实用新型的指示装置还包括预对准摆放传感器，上述四个传感器连接至可编程逻辑控制器(PLC)作为输入，并且该PLC的输出端与显示装置连接，这里以该显示装置是发光二极管为例进行说明。上述可编程逻辑器件的工作方式为输入信号含l的，则输出为l;输入信号全部为O的，则输出为0。并且其可以为任意具有上述功能的PLC，并不限于某一特定型号。这样，在晶片流程中，始终保持有一个传感器传出的结果为1，使指示灯亮起；而在晶片流程之前和结束后，所有传感器的输出均为O，使指示灯熄灭。从而通过指示灯的状态使操作者了解到晶片流程的状态。该指示装置的工作过程如图l所示，晶片流程开始时，指示灯亮起。此时，机械手(handler)开始从原始位置(home)伸出，抓起晶片进行量测，直到量测完毕，机械手将晶片放入晶片盒内，收回至原始位置，晶片流程结束，指示灯熄灭。在指示灯亮起期间，禁止载台(stage)上的晶片盒被移动，这样因为操作员误操作而移动晶片盒的几率就会下降。表1、表2和图2对本实用新型的工作状态指示装置做了进一步的详细说明。连接点连接点状态状态机械手原始位置传感器机械手不在原始位置1机械手在原始位置0机械手真空传感器机械手真空传感器"ON"1机械手真空传感器"OFF"0晶片预对准摆放传感器晶片在预对准上1晶片不在预对准上0量测台真空传感器量测台真空传感器"ON"1量测台真空传感器"OFF"0表1首先参照表1，各传感器的触发状态为机械手原始位置传感器(handlehomesensor)位于机台机械手原始位置，当其状态为1时，表示机械手不在原始位置；相反，当其状态为0时，表示机械手在原始位置上。机械手真空传感器(handlevacuumsensor)用于感测机械手是否抓住晶片，当其状态为1时，机械手真空传感器为开启(on)状态，表明机械手正在抓住晶片；相反，当其状态为0时，机械手真空传感器为关闭(off)状态，表明机械手中没有抓住晶片。晶片预对准摆放传感器(waferinpre-alignerpresentsensor)指示晶片予页对准(pre-aligner)升降台(lifter)上是否摆放(present)了晶片。当其状态为1时，表明晶片在预对准升降台上；否则，当其状态为0时，表明晶片不在预对准升降台上。量测台真空传感器(measurestagevacuumsensor)指示测量台上是否有晶片，当其状5态为1时，量测台真空传感器为开启(on)状态，表明有晶片在量测台上;相反，当其状态为0时，量测台真空传感器为关闭(off)状态，表明量测台上没有晶片。<table>tableseeoriginaldocumentpage6</column></row><table>表2如表2所示，对晶片流程各步骤的相应传感器工作流程进行说明。在机械手闲置(handleridle)状态时，机械手原始位置传感器对其进行感应，状态为0。晶片流程开始，机械手从晶片盒中抓起晶片，此时机械手原始位置传感器感应到机械手从原始位置移出，而变为l状态；并且，机械手真空传感器感应到机械手抓到晶片，而由关闭(0)状态变为开启状态，即变为1。之后，机械手将晶片放入晶片预对准升降台进行预对准，在机械手传送晶片期间，机械手真空传感器保持为1状态。机械手将抓住的晶片放入晶片预对准升降台，晶片预对准摆放传感器感应到晶片被放在预对准升降台上而将其状态由0变化为1;机械手真空传感器感应到机械手放开晶片，而变化其状态为0。晶片预对准摆放传感器在晶片预对准过程中始终保持为1的状态，直到预对准结束机械手抓起晶片，晶片预对准摆放传感器状态变化为0;因为机械手在该过程中反复将晶片吸起再重新放在预对准升降台上，机械手从原始位置反复移进移出，机械手真空传感器和机械手原始位置传感器的状态随机械手的工作状态而改变。机械手抓住晶片从预对准回到原始位置，机械手真空传感器为1，而原始位置传感器感测机械手回到原始位置，将其状态改变为0。接下来，开始进行晶片量测。机械手从原始位置移出，机械手原始位置传感器变为1;机械手将晶片传送并放置在量测台上，机械手真空传感器的由l变为0;晶片被放在量测台的动作触发量测台真空传感器，其状态改变为l。此后在量测过程中，测量台真空传感器始终为开启(即为l)状态；机械手放开晶片后，回到原始位置，相应的机械手真空传感器和原始位置传感器变为o。测量结束后，机械手离开原始位置，将晶片从测量台取走，回传至晶片盒中。机械手原始位置传感器的状态由0改变为1;机械手真空传感器由0变为1;测量台真空传感器由1变为0的关闭状态。机械手传送晶片的过程中，机械手真空传感器的状态始终为1，直至晶片被放入晶片盒，其状态改变为0，并回到原始位置，使机械手原始位置传感器由1变为o。整个晶片流程结束，指示灯熄灭。如图2所示，在上述过程中，各个流程步骤衔接时都会先保持上一个步骤中传感器的状态，以保证整个流程中始终有一个传感器处于活动状态。上述晶片流程各步骤中，每个传感器的状态从表3也可以清楚地看出。7<table>tableseeoriginaldocumentpage8</column></row><table>表3如图3所示，上述四个传感器连接至可编程逻辑控制器(PLC)作为输入，并且该PLC的输出端与指示灯连接。更具体地说，实现该逻辑电路的各传感器电路图如图4、5、6所示。图4为机械手原始位置传感器电路图。当开关闭合时，机械手原始位置传感器给出的讯号为低电平(O)，表明机械手在原始位置；当开关打开时，机械手原始位置传感器给出的讯号为高电平(l)，表明机械手不在原始位置。机械手真空传感器和量测台真空传感器的电路图如图5所示。当开关闭合时，机械手真空传感器或量测台真空传感器给出的讯号为低电平(o)，表明机械手没有抓住任何东西或量测台上没有放置任何东西。相反，当开关打开时，机械手真空传感器或量测台真空传感器给出的讯号为高电平(1)，表明机械手中抓有晶片和量测台上放置有晶片。图6为晶片预对准摆放传感器的电路图。相似的，当开关闭合时，晶片预对准摆放传感器给出的讯号为低电平(O)，表示升降台上没有放置任何东西；否则，表明有晶片被摆放在预对准升降台上。上述四个传感器连接至可编程逻辑器件作为输入，当其中某一个开关打开，输入给可编程逻辑器件一15V的电压，也就是输入为1。这样，在上述过程中始终有至少一个15V的电压输出给可编程逻辑器件，使得可编程逻辑器件输出端的指示灯保持亮起，表明量测正在进行，禁止将晶片盒从载台上取走；当所有开关闭合，即所有的传感器都没有电压输入给可编程逻辑器件，也就是输入都为0，使得可编程逻辑器件输出端的指示灯熄灭，表明量测结束，可以将晶片盒从载台上取走。本实用新型还可有其他实施例，在不背离本实用新型的精神和实质的情况下，所属
技术领域：
的技术人员当可根据本实用新型作出各种相应的改变，但这些相应的改变都应属于本实用新型权利要求的保护范围。权利要求1、一种机台工作状态指示装置，包括指示机械手位置的机械手原始位置传感器，机械手真空传感器，量测台真空传感器，其特征在于，上述机台工作状态指示装置还包括晶片预对准摆放传感器；可编程逻辑器件；显示灯；并且上述机械手原始位置传感器，机械手真空传感器，量测台真空传感器，以及晶片预对准摆放传感器分别与上述可编程逻辑器件的输入端电连接，该可编程逻辑器件的输出端与上述显示灯电连接。2、如权利要求1所述的机台工作状态指示装置，其特征在于，上述显示灯为发光二极管，位于机台外表面。3、如权利要求1所述的机台工作状态指示装置，其特征在于，所述晶片预对准摆放传感器为直射式光电传感器。专利摘要本实用新型提出一种机台工作状态指示装置，包括机械手原始位置传感器，机械手真空传感器，晶片预对准摆放传感器及量测台真空传感器连接至可编程逻辑器件的输入端，并且该可编程逻辑器件的输出端连接至指示装置。本实用新型使工作人员能更直观地了解到晶片量测过程是否结束，决定将晶片盒取走的适当时间，避免误操作造成的晶片刮伤。文档编号H01L21/66GK201374319SQ20092000662公开日2009年12月30日申请日期2009年3月5日优先权日2009年3月5日发明者虞晓亮申请人:和舰科技(苏州)有限公司