专利名称：分割机构的制作方法
技术领域：
本发明涉及半导体生产制造设备领域，更具体地说，涉及一种B盘分割机构。
背景技术：
传统的B盘分割机构采用凸轮机构来实现同步运动方式，如图1和图2所示的B 盘分割机构，包括心轴101、分割盘面102、入力转轴103、真空罩104和真空舱座105，心轴 101与分割盘面和真空罩104相连，真空舱座105与真空罩104相连，马达传动机构通过入 力转轴103驱动凸轮机构106转动，凸轮机构106带动心轴101作间歇运动，分割盘面102 在心轴101带动下做分度动作，完成所需要的工位。真空罩104配合真空舱座105做真空 切换，保证材料在分割盘面102上能够稳定。分割动作时，入力转轴103由皮带传动机构 带动分割盘面102、心轴101、真空罩104同步分割及真空切换运动。通过皮带传动来驱动 凸轮机构的传动方式，其累积误差大；由于皮带传动容易产生打滑造成分割精度不易控制； 分割分度时由于是通过凸轮机构传动摩擦力增大易产生速度的下降和到位停止时间的加 长，在稳定性、效能、维护等方面局限性很大。传动部位易造成磨损还会发生马达过载而导 致B盘分割不到位的现象。
发明内容
有鉴于此，本发明提供一种分割机构，该分割机构具有传动误差小，分割精度高的 优点。为实现上述目的，本发明提供如下技术方案一种分割机构，包括用于放置材料的B盘分割面；—端与所述B盘分割面相连的分割固定轴；与所述分割固定轴另一端相连的真空控制装置，所述真空控制装置用于控制所述 材料吸附在所述B盘分割面上；与所述真空控制装置相互配合的马达固定座；安装在所述马达固定座下方，其输出轴与所述真空控制装置主轴相连的马达，所 述马达上安装有编码器，所述编码器用于检测材料是否置于所述B盘分割面上。优选地，在上述分割机构中，所述B盘分割面上设置均勻分布在圆心的扇形通孔。优选地，在上述分割机构中，所述扇形通孔的个数为十二个。优选地，在上述分割机构中，所述相邻的扇形通孔之间还设置有长条孔。优选地，在上述分割机构中，还设置有支架，所述支架安装在所述马达固定座上。优选地，在上述分割机构中，所述支架通过螺栓安装在所述马达固定座上。优选地，在上述分割机构中，所述支架下方还安装有底座。优选地，在上述分割机构中，所述底座上还设置有安装孔。优选地，在上述分割机构中，所述编码器为光电编码器。
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从上述技术方案可以看出，本发明中通过马达直接带动B盘分割面和真空控制装 置进行分割动作，所以累积误差小，传动精确。马达的控制动作是通过其内设的编码器实现 的，所以位置的检测更为准确。
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现 有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本 发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以 根据这些附图获得其他的附图。图1为现有技术中分割机构的立体图；图2为现有技术中分割机构的主视图；图3为本发明实施例提供的分割机构的立体图；图4为本发明实施例提供的分割机构的主视图；图5为本发明实施例提供的分割机构的俯视图。
具体实施例方式下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完 整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于 本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他 实施例，都属于本发明保护的范围。为了减小分割机构的传动误差，提高分割精度，本发明提供一种分割机构。请参照图3至图5，其中，图3为分割机构的立体图，图4为分割机构的主视图，图 5为分割机构的俯视图。在上述附图中，201为B盘分割面，202为分割固定轴，203为真空控制装置，204为 马达固定座，205为马达，206为支架，207为底座。附图公开的分割装置包括B盘分割面201、分割固定轴202、真空控制装置203、马 达固定座204和马达205。分割固定轴202 —端与B盘分割面201相连，另一端与真空控制装置203相连；马达固定座上安装有真空控制装置203，马达固定座下面安装有马达205 ；真空控制装置配合马达固定座可以吸附B盘分割面201上的材料；马达205上安装有编码器，编码器在检测到有材料输送到B盘分割面201时，就会 停止继续吸附材料，并将材料输送到下一工序。编码器(encoder)是将信号(如比特流)或数据进行编制、转换为可用以通讯、传 输和存储的信号形式的设备。编码器把角位移或直线位移转换成电信号，前者成为码盘，后 者称码尺。按照读出方式编码器可以分为接触式和非接触式两种。接触式采用电刷输出， 一电刷接触导电区或绝缘区来表示代码的状态是“ 1”还是“0” ；非接触式的接受敏感元件 是光敏元件或磁敏元件，采用光敏元件时以透光区和不透光区来表示代码的状态是“ 1”还 是“0”，通过“1”和“0”的二进制编码来将采集来的物理信号转换为机器码可读取的电信号 用以通讯、传输和储存。
从上述技术方案可以看出，本发明中通过马达直接带动B盘分割面和真空控制装 置进行分割动作，所以累积误差小，传动精确。马达的控制动作是通过其内设的编码器实现 的，所以位置的检测更为准确。在本实施例中优选的编码器为光电编码器，光电编码器是由光栅盘和光电检测装 置组成。光栅盘是在一定直径的圆板上等分地开通若干个长方形孔。由于光电码盘与马 达同轴，马达旋转时，光栅盘与马达同速旋转，经发光二极管等电子元件组成的电检测装置 检测输出若干脉冲信号，通过计算每秒光电编码器输出脉冲的个数就能反映当前马达的转 速。光电编码器提供的两路脉冲信号可判断出电机的旋转方向，经过上述光电编码器的安 装可以控制电机的旋转速度和旋转方向。如图5所示，B盘分割面201，上设置有均勻分布在圆心的扇形通孔211，便于精度 的控制。优选的，扇形通孔211的个数为十二个。且在相邻的扇形通孔211上开设有长条 孔212，长条孔212的设置可以减少B盘分割面201的质量，因此B盘分割面201的质量惯 性较小，在控制其停止比较容易实现。另外，该分割机构还设置有支架206，所述支架206安装在所述马达固定座204上， 用于支撑支架206以上的部件。且为了更换方便，支架206式通过螺栓安装在马达固定座 204上的，还可以根据不同型号的马达205选择合适的支架206，该支架还可以设置成具有 伸缩性能的结构，通过伸缩运动调节，B盘分割面距离地面的高度，以更好的适应下一工序 所需高度。在上述分割机构在支架206下方还安装有底座，底座上还设置有安装孔，便于底 座的固定。本实施例取消了传统的马达通过皮带传动带动凸轮机构做B盘分个动作，真空仓 座也从原有的多个零件组合，改成真空控制装置与马达固定座为一体的机械机构。在动作 时序上本发明进一步简化动作时序，提升了分割速度与精度简化了分割机构的动作，减少 了机械结构的磨损；可以进一步提升分割速度和降低导皮带传动机构带来的累积误差。同 时整个机械机构比原有的机构设计简单，成本底。本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他 实施例的不同之处，所以描述的比较简单，相关之处参见方法部分说明即可。对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本发明。 对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的 一般原理可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本发明 将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一 致的最宽的范围。
权利要求
一种分割机构，其特征在于，包括用于放置材料的B盘分割面；一端与所述B盘分割面相连的分割固定轴；与所述分割固定轴另一端相连的真空控制装置，所述真空控制装置用于控制所述材料吸附在所述B盘分割面上；与所述真空控制装置相互配合的马达固定座；安装在所述马达固定座下方，其输出轴与所述真空控制装置主轴相连的马达，所述马达上安装有编码器，所述编码器用于检测材料是否置于所述B盘分割面上。
2.根据权利要求1所述的分割机构，其特征在于，所述B盘分割面上设置均勻分布在圆 心的扇形通孔。
3.根据权利要求2所述的分割机构，其特征在于，所述扇形通孔的个数为十二个。
4.根据权利要求3所述的分割机构，其特征在于，所述相邻的扇形通孔之间还设置有 长条孔。
5.根据权利要求4所述的分割机构，其特征在于，还设置有支架，所述支架安装在所述 马达固定座上。
6.根据权利要求5所述的分割机构，其特征在于，所述支架通过螺栓安装在所述马达 固定座上。
7.根据权利要求6所述的分割机构，其特征在于，所述支架下方还安装有底座。
8.根据权利要求7所述的分割机构，其特征在于，所述底座上还设置有安装孔。
9.根据权利要求8所述的分割机构，其特征在于，所述编码器为光电编码器。
全文摘要
本发明实施例公开了一种分割机构，包括用于放置材料的B盘分割面；一端与所述B盘分割面相连的分割固定轴；与所述分割固定轴另一端相连的真空控制装置，所述真空控制装置用于控制所述材料吸附在所述B盘分割面上；与所述真空控制装置相互配合的马达固定座；安装在所述马达固定座下方，其输出轴与所述真空控制装置主轴相连的马达，所述马达上安装有编码器，所述编码器用于检测材料是否置于所述B盘分割面上。从上述技术方案可以看出，本发明中通过马达直接带动B盘分割面和真空控制装置进行分割动作，所以累积误差小，传动精确。马达的控制动作是通过其内设的编码器实现的，所以位置的检测更为准确。
文档编号H01L21/00GK101882568SQ201010219070
公开日2010年11月10日 申请日期2010年7月7日 优先权日2010年7月7日
发明者江建新, 王志华, 陈绍勇 申请人:无锡华晶电子设备制造有限公司