专利名称：一种硅片干法刻蚀前的整理方法
技术领域：
本发明涉及光伏产业的一种太阳能电池生产过程中对中间产品操作工艺过程的改进，具体是一种硅片干法刻蚀前的整理方法。
背景技术：
在目前单晶硅太阳能电池的生产工艺流程中，硅片在经过制绒和扩散工序后，进入到去除扩散过程中形成的周边PN结这一工序，进行该工序的硅片大都采用等离子干法刻蚀方法来完成的。在对硅片进入刻蚀工序前，将数百张的硅片需要经过人工在工作平台上小心翼翼地来回捋平，直到整理均齐后放置到夹具上，但在放置的过程中硅片又难免会产生移动，此时，操作人员往往不会在意，而是直接拧紧夹具上的螺栓，将夹具上的硅片置入刻蚀机内刻蚀。对于操作人员来说，影响刻蚀效果除了与设定刻蚀时间长短等相关因素有关外， 还与硅片整理的均齐程度有直接关系。一般来说，将数百片的硅片通过人工整理得很均齐是有一定难度的，操作不当还会导致硅片受损，若是整理的均齐程度不一，对硅片的刻蚀效果会出现差异，最终使得电池片的光电转换效率受到影响。
发明内容
本发明提出一种硅片干法刻蚀前的整理方法，涉及到硅片、夹具、支撑架、夹具丝杠加力杆、微型振动器、手柄、按钮、微型振动器PP板和支撑架PP板共9个部件，通过该方法整理后的硅片均齐程度可达到手工整理无法满足的效果。为实现上述目的，本发明的技术方案是一种硅片干法刻蚀前的整理方法，具体包括以下步骤a.将夹具置放在支撑架上。b.取出200片装的一组硅片，按工艺要求将上面的一张硅片翻面，并在上下面各衬垫一张泡沫片后，放入支撑架上的夹具中，使硅片下部互相垂直的两个侧边分别与支撑架PP板的两个直角面接触。c.同上述的操作过程一样，将后面的几组硅片依次放入支撑架上的夹具中。d. 一只手握住微型振动器的手柄，并拿起将微型振动器，将微型振动器PP板对准硅片上部的两个侧边轻轻地放下，使微型振动器PP板与硅片上部的两个侧边接触。e.握住微型振动器手柄的一只手手指启动微型振动器按钮，使微型振动器开始振动，振动力通过微型振动器PP板均勻传递到所有硅片的两个侧边，所有硅片在受到该振动力作用下，四个侧边将与支撑架PP板和微型振动器PP板密切接触。f.在微型振动器开始振动时，另一只手同时握住夹具丝杠加力杆并开始旋动，逐步拧紧丝杠，微型振动器在振动5秒钟后所有硅片将被自动整理得均勻整齐，继而关停微型振动器按钮，随后拧紧夹具丝杠加力杆，并将硅片随夹具从支撑架上取下，待进入刻蚀机进行刻蚀。
本发明中，微型振动器的频率及振幅与手持电动按摩器相同本发明中，支撑架是设置呈水平状的，且支撑架pp板上的两个面与微型振动器PP 板下的两个面各自均呈直角方式设置。本发明中，支撑架是金属材料制作的，支撑架PP板和微型振动器PP板的两个面均分别采用具有柔性的PP有机材料制作，以降低金属材料对硅片的损坏。本发明技术方案的有益效果是具有操作方法简单，易于学习掌握的优点，从上道工序转移过来200片装的一组硅片后，不必放在工作台上采用手工捋齐的方法进行整理， 而是直接放入支撑架上的夹具中按本发明的方法进行整理，从而简化了操作程序，降低了劳动强度，提高了工作效率，也降低了硅片的破损率。同时通过本发明后硅片的均齐程度远远高于手工整理无法满足的效果，对于提高硅片刻蚀的均勻性将十分有利，对影响硅片的光电转换效率也减少了一个方面的因素。
下面结合附图和实例对本发明进一步说明图1是本发明的正面图。图2是图1的A向侧视图。图中标记1、硅片，2、夹具，3、支撑架，4、夹具丝杠加力杆，5、微型振动器，6、手柄，7、按钮，8、 微型振动器PP板，9、支撑架PP板，
具体实施例方式如图1、2所示，本发明中的实施过程是先将夹具2置放在支撑架3上，然后取出从上道扩散工序传递过来200片装的一组硅片1，按工艺要求将上面的一张硅片翻面，并在上下面各衬垫一张泡沫片后，随即放入支撑架3上的夹具2中，使硅片1下部互相垂直的两个侧边分别与支撑架PP板9的两个直角面接触，随后同上述的操作过程一样，将后面的几组硅片1依次放入支撑架3上的夹具2中。一只手握住微型振动器5的手柄6并拿起微型振动器5，将微型振动器pp板8对准夹具2上硅片1上部的两个侧边轻轻地放下，使微型振动器pp板8与硅片1上部的两个侧边接触。握住微型振动器5手柄6的一只手手指启动微型振动器5的按钮7，使微型振动器5开始振动，振动力通过微型振动器pp板8均勻传递到所有硅片1的两个侧边，所有硅片1在受到该振动力作用下，四个侧边将与支撑架PP板8和微型振动器pp板9密切接触。在微型振动器5开始振动时，另一只手同时握住夹具丝杠加力杆4并开始旋动，逐步拧紧丝杠，微型振动器5在振动5秒钟后所有硅片1将被自动整理得均勻整齐，继而关停微型振动器5的按钮7，随后拧紧夹具丝杠加力杆4，并将硅片1随夹具2从支撑架3上取下，待进入刻蚀机进行刻蚀。
权利要求
1.一种硅片干法刻蚀前的整理方法，其特征在于，所述方法涉及到硅片(1)、夹具O)、 支撑架(3)、夹具丝杠加力杆G)、微型振动器(5)、手柄(6)、按钮(7)、微型振动器PP板 ⑶、支撑架PP板(9)共9个部件，并包括以下步骤a.将夹具( 置放在支撑架( 上；b.取出200片装的一组硅片(1)，按工艺要求将上面的一张硅片(1)翻面，并在上下面各衬垫一张泡沫片后，放入支撑架3上的夹具( 中，使硅片(1)下部互相垂直的两个侧边分别与支撑架PP板(9)的两个直角面接触；c.同上述的操作过程一样，将后面的几组硅片(1)依次放入支撑架C3)上的夹具(2)中；d.一只手握住微型振动器( 的手柄(6)，并拿起将微型振动器(5)，将微型振动器pp 板(8)对准硅片(1)上部的两个侧边轻轻地放下，使微型振动器pp板(8)与硅片(1)上部的两个侧边接触；e.握住微型振动器( 手柄(6)的一只手手指启动微型振动器( 按钮(7)，使微型振动器( 开始振动，振动力通过微型振动器PP板(8)均勻传递到所有硅片(1)的两个侧边，所有硅片(1)在受到该振动力作用下，四个侧边将与支撑架PP板(9)和微型振动器PP 板⑶密切接触；f.在微型振动器(5)开始振动时，另一只手同时握住夹具丝杠加力杆(4)并开始旋动， 逐步拧紧丝杠，微型振动器( 在振动5秒钟后所有硅片(1)将被自动整理得均勻整齐，继而关停微型振动器( 按钮(7)，随后拧紧夹具丝杠加力杆G)，并将硅片(1)随夹具(2) 从支撑架( 上取下，待进入刻蚀机进行刻蚀。
2.根据权利要求1所述的一种硅片干法刻蚀前的整理方法，其特征在于，所述微型振动器的频率及振幅与手持电动按摩器相同。
3.根据权利要求1所述的一种硅片干法刻蚀前的整理方法，其特征在于，所述支撑架 (3)是设置呈水平状的，且支撑架pp板(9)上的两个面与微型振动器pp板下的两个面各自均呈直角方式设置。
4.根据权利要求1所述的一种硅片干法刻蚀前的整理方法，其特征在于，所述支撑架 (3)是金属材料制作的，支撑架pp板(9)和微型振动器pp板(8)的两个面均分别采用具有柔性的PP有机材料制作，以降低金属材料对硅片(1)的损坏。
全文摘要
本发明为光伏行业的太阳能电池生产操作过程中对硅片干法刻蚀前整理方法上的改进，主要涉及到硅片、夹具、支撑架、微型振动器、微型振动器pp板和支撑架pp板几个主要部件。方法是从上道工序转过来硅片，直接放入支撑架上的夹具中，后手持微型振动器放在硅片的两个侧边并启动，产生的振动力通过微型振动器pp板传递到所有硅片的两个侧边，随后所有硅片四个侧边将与微型振动器PP板和微型振动器pp板密切接触，5秒钟后所有硅片整理的均匀程度远远高于手工整理无法满足的效果。本发明对于提高硅片刻蚀的均匀性十分有利，对影响硅片的光电转换效率将减少了一个方面的因素。本发明具有操作方法简单易学，降低劳动强度，提高工作效率，降低硅片破损率的优点。
文档编号H01L21/683GK102184881SQ20111008416
公开日2011年9月14日 申请日期2011年4月1日 优先权日2011年4月1日
发明者郑用琦 申请人:百力达太阳能股份有限公司