专利名称：双轴驱动机构和模片结合器以及模片结合器的运转方法
技术领域：
本发明涉及包含升降轴的双轴驱动机构和使用该双轴驱动机构的模片结合器以及模片结合器的运转方法，尤其涉及含有可靠性高的升降轴的双轴驱动机构和使用该双轴驱动机构的可靠性高的模片结合器以及模片结合器的运转方法。
背景技术：
在一种半导体制造装置中具有将半导体芯片(模片)结合在引线框等的基板上的模片结合器。在模片结合器中，用结合头对模片进行真空吸附、以高速上升、水平移动、下降再安装在基板上。该情况下，进行上升、下降的是升降(Z)驱动轴。
现在，对模片结合器的高精度、高速化的要求提高，特别地，作为结合的心脏部的结合头的高速化的要求提高。作为现有的结合头的驱动方法，有用伺服电动机驱动滚珠螺杆的专利文献I中记载的方法。专利文献I :特开2004-263825号公报但是，在用伺服电动机驱动滚珠螺杆的方法中存在高速化的限度。于是，开始研究适于高速化的由直线电动机进行的驱动。如果只使用直线电动机驱动，则在升降轴在失去电源时简单地用手动来动作时，如图4(b)所示，因情况不同担心作为处理部的结合头落到引线框等的基板(处理对象)上，结合头破损，且基板即产品也会破损。
发明内容
因此，本发明的目的是提供在失去电源时防止直线电动机的升降轴落下，且含有可靠性高的升降轴的双轴驱动机构和使用该双轴驱动机构的可靠性高的模片结合器以及模片结合器的运转方法。本发明为实现上述目的而至少具有以下特征。本发明的第一特征在于，一种双轴驱动机构，具有处理部；双轴驱动轴，该双轴驱动轴具备第一直线电动机部和第二直线电动机部，上述第一直线电动机部具备使上述处理部沿第一直线导轨升降的第一可动部和第一固定部，上述第二直线电动机部具备使上述处理部在与上述升降方向垂直的水平方向上移动的第二可动部和第二固定部；主电源，对上述双轴驱动轴供给电源；和防止升降轴落下构件，在上述主电源的电源失去时防止上述第一可动部落下。此外，本发明的第二特征在于，上述双轴驱动轴具有借助于上述第一直线导轨连接上述第一可动部并直接或间接地连接上述第二可动部的连接部；使上述第一可动部、上述第二可动部和上述连接部成为一体并在上述水平方向上移动的第二直线导轨；和将上述第一固定部和上述第二固定部在上述水平方向上以预定的长度互相平行地进行固定的支撑体。再有，本发明的第三特征在于，上述双轴驱动轴具有第三直线导轨，该第三直线导轨将上述第一直线电动机部固定在上述第二可动部上，且导引上述第一直线电动机部的上述水平方向的移动。另外，本发明的第四特征在于，上述防止升降轴落下构件具有设于与上述第一可动部一同移动的第一可动体部上的止动件、和在上述电源失去时将上述止动件在预定的位置进行支撑的支撑驱动部。还有，本发明的第五特征在于，将上述支撑驱动部设于上述第一固定部或上述第二固定部的两端侧或者其附近的固定部件上。此外，本发明的第六特征在于，上述支撑驱动部是具备因电源的有无而突出的杆部的螺旋管或者具备气缸杆的气缸。再有，本发明的第七特征在于，在上述预定的位置支撑的支撑动作是利用与上述主电源分体设置的其它电源来进行的。
另外，本发明的第八特征在于，具有在上述电源失去时用与上述主电源分体设置的其它电源使第一可动部上升或在该状态下维持该第一可动部的控制构件。还有，本发明的第九特征在于，是一种模片结合器，具备第一至第八特征记载的双轴驱动机构，并通过上述处理部对基板进行处理。此外，本发明的第十特征在于，上述处理部是将模片从晶片拾取且向基板结合的结合头或向上述基板涂敷模片粘接剂的针。还有，本发明的第十一特征在于，一种模片结合器的运转方法，具有如下步骤具有主电源、通过上述主电源的供给来用直线电动机使结合头升降以吸附模片，在基板上安装上述模片的步骤；和在上述主电源失去时防止上述结合头落下的防止落下步骤。根据本发明，可提供在失去电源时可防止直线电动机的升降轴落下，且含有可靠性高的升降轴的双轴驱动机构和使用该双轴驱动机构的可靠性高的模片结合器以及模片结合器的运转方法。
图I是从上方观察作为本发明第一实施方式的模片结合器的概念图。图2是表示作为第一实施例的ZY驱动轴的基本构成和防止升降轴落下构件的第一实施例的图，且是ZY驱动轴的结合头所在的图I所示位置处的A-A剖视图。图3是从B方向观察图2所示的ZY驱动轴的向视图。图4是表示失去电源时的结合头的状态的图。图5是从上方观察作为本发明第二实施方式的模片结合器的概念图。图6是表示ZY驱动轴的第二实施例的基本构成和防止升降轴落下构件的第二实施例的图。图7是表示防止升降轴落下构件的第二实施例的失去电源时的状态的图。图8是表示设置防止升降轴落下构件的第一、第二实施例的螺旋管的另一位置的图。图9是表示防止升降轴落下构件的第三实施例的图。图10是表示防止升降轴落下构件的第四实施例的图。图11是表示防止升降轴落下构件的第四实施例的失去电源时的状态的图。
图12是表示防止升降轴落下构件的第五实施例的图。附图标记说明I-晶片供给部；2_工件供给、输送部；3_模片结合部；10-模片结合器；32_结合头部；35_结合头；40、40A-Y驱动轴；41-Y轴可动部；42_Υ轴固定部；43_Υ轴直线导轨；44-Υ轴导轨；45-Υ轴可动部固定部；47_固定电磁铁部；50、50Α_Ζ驱动轴；51_Ζ轴可动部；52-Ζ轴固定部；53-Ζ轴直线导轨；54_连接部；55_保持体；57_固定电磁铁部；60、60Α、60Β :ΖΥ驱动轴；61-连接部；62-支撑体;70_Χ驱动轴;80、 80A、80B、80C、80D、80E :防止升降轴落下构件；81_止动件；82_推压螺线管；82a-推杆；84_拉伸螺线管；84a_拉杆；85_弹簧；86_工作杆；181-中空盒；182_弹性体；184_形状记忆合金；185_制动棒；186_弹簧；187-电磁铁；188_电磁铁；189_导棒；281_工作棒。
具体实施例方式下面参照附图来说明本发明的实施方式。图I是从上方观察作为本发明第一实施方式的模片结合器10的概念图。模片结合器大体具有晶片供给部I、工件供给、输送部2、模片结合器部3、电源部9和控制这些部件的控制部7。晶片供给部I具有晶片盒升降机11和拾取装置12。晶片盒升降机11具有填充晶片环的晶片盒(未图示)，将晶片环依次向拾取装置12供给。拾取装置12使晶片环移动以能从晶片环拾取期望的模片。工件供给、输送部2具有堆料装载器21、框进料器22和卸载器23，将工件(引线框等的基板)向箭头方向输送。堆料装载器21将粘接有模片的工件向框进料器22供给。框进料器22将工件经由框进料器22上的两个处理位置向卸载器23输送。卸载器23保管输送的工件。模片结合部3具有预制部(模片糊料涂覆装置)31和结合头部32。预制部31在由框进料器22输送的工件例如引线框上用针涂敷模片粘接剂。结合头部32从拾取装置12拾取模片并上升，将模片水平移动到框进料器22上的结合点。而且，结合头部32在结合点使模片下降，在涂敷了模片粘接剂的工件上结合模片。结合头部32具有使结合头35 (参照图2)在Z (高度)方向上升降且在Y方向上水平移动的ZY驱动轴60、和使结合头在X方向上水平移动的X驱动轴70。ZY驱动轴60具有在Y方向上即、使结合头在晶片环支架12内的拾取位置和结合点之间往复的Y驱动轴40、和为了将模片从晶片拾取或向基板结合而使该模片升降的Z驱动轴50。X驱动轴70使ZY驱动轴60整体在作为输送工件的方向的X方向上移动。X驱动轴70可米用用伺服电动机驱动滚珠螺杆的构成，也可采用由在ZY驱动轴60的构成中说明的直线电动机驱动的构成。电源部9具有在通常的安装处理中使用的主电源91和根据情况而在后面详述的防止升降轴落下所需的与主电源不同的其它电源例如电池92。图2、图3是表示作为第一实施例的ZY驱动轴60的基本构成和防止升降轴落下构件的第一实施例的图。图2是在ZY驱动轴60前端结合头35所位于的图I所示的位置处的A-A剖视图。图3是从B方向观察图2所示的ZY驱动轴60的方向图。首先，使用附图来说明包含作为本发明特征的升降轴的ZY驱动轴60的第一实施例。作为第一实施例的ZY驱动轴60具有Y驱动轴40、Z驱动轴50、将Y驱动轴40的Y轴可动部41和Z驱动轴50的Z轴可动部51连接的连接部61、作为处理部的结合头35、在失去电源时防止结合头35落下的防止升降轴落下构件80、和支撑其整体的横L形的支撑体62。再有，为了便于理解以下的说明，固定在支撑体62的部分用斜线表示，Y轴可动部41、X轴可动部51和与连接部61成为一体地移动的部分用空白表示。此外，支撑体62具有上部支撑体62a、侧部支撑体62b和下部支撑体62c。Y驱动轴40具有具有N极和S极的电磁铁在Y方向上交替地排列多个的上下固定电磁铁部47u、47d(下面在没有指定整体或位置时简称为47)的反-形的Y轴固定部42 ；具有在上述排列方向上至少一组的N极和S极的电磁铁且插入到反-形的凹部中并在凹部内移动的Y轴可动部41 ;支撑Y轴可动部41的连接部61 ;和固定在连接部61上且具备设于与下部的支撑体62c之间的Y轴直线导轨43的Y轴导引部44。Y轴固定部42在图I的虚线表示的Y驱动轴40的大体整个区域范围内设置以使Y轴可动部41能在预定的范围移动。此外，Y轴直线导轨43具有在Y方向上延伸的两个直线导轨43a和在直线导轨上移动 的直线滑动体43b。Z驱动轴50与Y驱动轴40同样，具有具有N极和S极的电磁铁在Z方向上交替地排列多个的左右的固定电磁铁部57h、57m(参照图4，下面在没有指定整体或位置时简称为57)的倒U形的Z轴固定部52 ;在上部具有在Z轴固定部52的排列方向上至少一组的N极和S极的电磁铁且插入倒U形的凹部中并在凹部内移动的Z轴可动部51 ；以及在Z轴可动部51和连接部61之间具有与Y轴直线导轨43同样的结构的Z轴直线导轨53。Z轴直线导轨53具有固定在连接部61上且在Z方向上延伸的两个直线导轨53a和固定在Z轴可动部51上且在直线导轨上移动的直线滑动体53b。Z轴可动部51借助于连接部61与Y轴可动部41连接，如果Y轴可动部41在Y方向上水平移动，则Z轴可动部51也一起在Y方向上水平移动。而且，需要至少在移动目的地的预定的位置例如结合区域以及拾取区域设置N极和S极的电磁铁，以便Z轴可动部51 (结合头35)能够进行升降。再有，将与Z轴可动部51成为一体地升降的部分称为Z轴可动体部。其次，使用图2、图3和图4来说明作为本实施方式一个特征的防止升降轴落下构件80的第一实施例。图4表示失去电源时的结合头35的状态，图4(a)表示设置防止升降轴落下构件80的情况，图4(b)表示没有设置防止升降轴落下构件80时的情况。第一实施例的防止升降轴落下构件80具有固定在使结合头35升降的直线滑动体53b上的止动件81 ;如图3所示地固定在连接部61上且在失去电源时推杆82a的突出部变长并支撑止动件81的作为支撑驱动部的推压螺线管82 ;和图I所示的其它电源92。在具有这种构成的防止升降轴落下构件80中，在失去电源时控制部7检测主电源91的丧失，在用电容器等维持电源期间，将其它电源91连接到推压螺线管82上，供给电源。
其结果，如图4 (a)所示，推压螺线管82工作，推杆82a突出，支撑止动件81，能防止结合头36向基板P落下。根据以上说明的本实施方式的防止升降轴落下构件80的第一实施例，在主电源91的电源失去时，用其它电源使推压螺线管工作，能防止具有直线电动机的升降轴的结合头落下。其结果，能够防止结合头和/或基板的破损。此外，根据以上说明的本实施方式的ZY驱动轴60的第一实施例，在大体整个区域设置Z轴固定部52，但作为重量体的Z轴固定部52自身不移动，因此对于Y方向的移动的载荷大幅减小，不增大水平驱动轴的转矩便可实现升降轴的高速化。其次，图5表示的是从上方观察作为本发明第二实施方式的模片结合器IOA的概念图。第二实施方式的模片结合器IOA与第一实施方式的模片结合器10的不同处在于ZY驱动轴和防止升降轴落下构件不同。其他方面基本上与第一实施方式相同。在第二实施方式中，基本上具有与第一实施方式相同的构成或功能的部分标注相同标记。作为第二实施例的ZY驱动轴60Α与第一实施例的ZY驱动轴60相比，Z驱动轴·50Α基本不同。在第一实施例的ZY驱动轴60中，作为升降轴的Z驱动轴50的Z轴固定部52与Y轴固定部42同样，在移动范围的整个区域设置，Z轴可动部51与Y轴可动部41成为一体地移动。另一方面，就作为第二实施例的Z驱动轴50Α而言，在图5的箭头C所示的方向，Z轴固定部52Α和Z轴可动部51Α成为一体，与Y轴可动部41Α移动。形成作为第二实施例的Y驱动轴40Α的Y轴固定部42Α和Y轴可动部41Α的形状、Z驱动轴50Α对Y驱动轴40Α的连接方向等与第一实施例不同，但基本的构成功能相同。图6是表示ZY驱动轴的第二实施例的基本构成和防止升降轴落下构件的第二实施例的图。图6(a)是在图5中结合头35所位于的位置处从箭头D的方向观察ZY驱动轴60Α的向视图。图6(b)是从上部的方向观察图6(a)所示的ZY驱动轴60Α的向视图。再有，在图6(b)中，省略图6 (a)所示的支撑体62和Y轴直线导轨43。此外，在图6中省略图2、图3中的固定电磁铁部47、57。作为第二实施例的ZY驱动轴60A，具有Y驱动轴40Α ；Ζ驱动轴50Α ;作为处理部的结合头35 ;在失去电源时防止结合头35落下的防止升降轴落下构件80Α ;和支撑其整体的支撑体62。Y驱动轴40Α与第一实施例同样，具有固定在支撑体62上且在纸面跟前具有开口部42a的口形的Y轴固定部42A ;和从开口部42a插入到Y轴固定部42的凹部中并在凹部内移动的Y轴可动部41A。Y轴固定部42A在图5的虚线表示的Y驱动轴40A的大体整个区域范围内设置，以便Y轴可动部41A能在预定的范围移动。Z驱动轴50A与Y驱动轴40A同样，具有反2形的Z轴固定部52A ;插入反-形的凹部中并在凹部内移动的Z轴可动部51A ;将Z轴可动部51A和结合头35连接的连接部54 ;与Z轴可动部51A的升降相符地导引结合头35的升降的Z轴直线导轨53 ;将其整体固定并进行保持的保持体55 ；以及与Y轴可动部41A的Y方向的水平移动相符地导引保持体55即Z驱动轴50A整体的水平移动的Y轴直线导轨43。Z轴直线导轨53具有固定在保持体55上的直线导轨53a ;和固定在连接部54上且在直线导轨上升降的直线滑动体53b。此外，Y轴直线导轨43具有固定在支撑体62上的直线导轨43a ;和在直线导轨43a上水平移动的直线滑动体43b。再有，与ZY驱动轴的第一实施例60同样，将与Z轴可动部51A成为一体地移动的部分称为Z轴可动体。其次，对作为本实施方式一个特征的防止升降轴落下构件的第二实施例80A进行说明。防止升降轴落下构件80A防止升降轴落下构件80A具有固定在连接部54上的止动件81 ;固定在保持体55的底部且从主电源供给电源并总是使拉杆84a拉伸的拉伸螺线管84 ;固定在保持体55的底部55a的弹簧85 ;以及将一端与拉杆84a连接、将另一端与弹簧85连接的工作杆86。在本实施例中，支撑驱动部具有拉伸螺线管84、弹簧85和工作杆86。再有，分别地，拉伸螺线管84固定在保持体55的底部55a，工作杆86的支点86a固定在Y轴可动部52。在具有这种构成的防止升降轴落下构件80A中，如图7所示，在失去电源时，则拉伸螺线管84的拉杆84a成为自由，拉杆84a由于弹簧85作用而突出，支撑止动件81，可防止结合头35向基板落下。本实施例的情况下，不需要其它电源。再有，在图7中，省略Y驱动轴40A和支撑体62。根据以上说明的防止升降轴落下构件的第二实施例，在主电源91的电源失去时，即使没有其它电源，也可使拉伸螺线管工作，防止具有直线电动机的升降轴的结合头落下。其结果，在防止升降轴落下构件的第二实施例中也可防止结合头和/或基板的破损。在以上说明的第一和第二实施例中，将推压螺线管82和拉伸螺线管84配置在止动件81的下部，但如图8所示，也可横向地固定配置在作为第二实施例的Z轴驱动部52和保持体55上(图8(a))，或者，也可朝向固定配置(图8(b))。在图8中，虚线表示没有失 去电源的安装处理中的通常的状态，实线表示失去电源时。图8(a)中，在失去电源时推压螺线管82的推杆82a突出，支撑止动件81。图8 (b)中，在失去电源时吸引拉伸螺线管84的拉杆84a，支撑止动件81。图8的情况下，皆需要其它电源。此外，止动件81的位置也不限于图2、图6所示的位置，只要是与结合头35 —同升降的部位则哪里都行。关于止动件的位置，在其他实施例中也同样。再有，不限于螺旋管，只要能确保必要的响应性，则也可以是气缸。其次，使用图9来说明作为本实施方式一个特征的防止升降轴落下构件的第三实施例80B。图9 (a)表示设于第二实施例的ZY驱动轴60A的防止升降轴落下构件的第三实施例80B。图9(b)是表示没有失去电源时的防止升降轴落下构件80B的状态，图9(c)是表示失去电源时的防止升降轴落下构件80B的状态。再有，在图9(a)中，也省略了 Y驱动轴40A和支撑体62。防止升降轴落下构件80B具有具备一端固定在Z轴固定部52上且具备在另一端侧使内侧周围开口的环状中空部的中空盒181 ;至少在环状中空部设置的难燃性的弹性体(例如橡胶)182 ;在弹性体182的外周设置的形状记忆合金184 ;和设于结合头35的上侧的作为突起部的制动棒185。再有，作为突起部，还可代替制动棒而使用在结合头35的前端设置的吸附管嘴35a。形状记忆合金184以如下方式进行记忆，即、在主电源91供给且在形状记忆合金中流动电流时，如图9(b)所示保持使弹性体182从制动棒185离开的状态。另一方面，在失去电源，没有电流流动时，则如图9(c)所示，形状记忆合金184进行记忆以使其直径缩小。其结果，在失去电源时，则形状记忆合金184压缩弹性体183，弹性体182对制动棒185施加制动，防止结合头36的落下。在本实施例中，不需要其它电源92。再有，在形状记忆合金184中相反地记忆的情况下，需要其它电源92。
在以上说明的第三实施例的防止升降轴落下构件80B中，可得到与第一、第二实施例同样的效果。其次，使用图10来说明作为本实施方式一个特征的防止升降轴落下构件的第四实施例80C。图10是表示第二实施例的Z驱动轴50A和设于Z驱动轴50A上的第三实施例的防止升降轴落下构件80C的图。图10(a)是在图5中结合头35所位于的位置处从箭头D的方向观察ZY驱动轴60A的向视图，是表示没有失去电源的通常状态的图。图10(b)是从上部的方向观察图10(a)所示的ZY驱动轴60A的向视图。图11是表示失去电源时的防止升降轴落下构件80C的状态的图。第四实施例的防止升降轴落下构件80C具有支撑驱动部和止动件81，支撑驱动部具备弹簧186、电磁铁187、一端侧固定在弹簧186上且另一端侧由电磁铁187吸附的作为工作部的工作板188 ;以及与Z轴固定部52 —同导引工作板188的升降的导棒189。 电磁铁187在供给主电源91且在形状记忆合金中流动电流时，如图10(a)所示，工作板188由电磁铁187吸附，保持压缩弹簧186已压缩的状态。另一方面，在失去电源，没有电流流动时，则如图11所示，工作板188释放，弹簧186伸长。其结果，工作板188支撑连接部54，可防止结合头35的落下。在以上说明的第四实施例的防止升降轴落下构件80B中，可得到与第一至第三实施例同样的效果。其次，使用图12来说明作为本实施方式一个特征的防止升降轴落下构件的第五实施例80D。图12是代替图6所示的第二实施例的防止升降轴落下构件80A而在ZY驱动轴60A设置第五实施例的防止升降轴落下构件80D的图。图12(a)是表示没有失去电源时的通常状态的图，图12(b)是表示失去电源时的状态的图。防止升降轴落下构件80D在图5所示的E、F的位置处固定在Y轴固定部或支撑体62或其附近的固定部件上。防止升降轴落下构件80D具有在表示防止升降轴落下构件的第一实施例80的失去电源时推杆82a的突出部伸长的设于E、F处的两个推压螺线管82 ；在两个推杆82a的前端固定两端的作为工作部的工作棒281 ；以及在与连接部54相反侧的结合头35的侧部固定的止动件81。在本实施例中，支撑驱动部具有两个推压螺线管82和工作棒281。如图12(b)所示，防止升降轴落下构件80D与防止升降轴落下构件80同样，在失去电源时两个推杆82a突出，将工作棒281推起，支撑止动件61，防止结合头35落下。如上所述，第五实施例的防止升降轴落下构件80D与第一至第四实施例不同，并不是设于Z驱动部40、40A，而是设于Y轴固定部或支撑体62或者其附近的固定部件。此夕卜，工作棒281的工作方法也可使用第二至第四实施例所示的方法。根据以上说明的第五实施例的防止升降轴落下构件80D，在Z驱动部40、40A没有设置防止升降轴落下构件，因此可使Z驱动部成为简单的结构。此外，根据以上说明的第五实施例的防止升降轴落下构件80D，与此前的实施例同样，可防止结合头35落下。最后，说明作为本实施方式一个特征的防止升降轴落下构件的第六实施例80E。第六实施例的防止升降轴落下构件80E，在失去电源时，控制部9利用其它电源92来控制例如图2所示的固定电磁铁部57，使结合头35 (Z轴可动部52)上升或在该状态下维持，将结合头35保持在预定的位置。根据防止升降轴落下构件的第六实施例，不设置其它电源92以外的新机构，可防止结合头35落下。在以上的说明中，以用结合头来作为进行处理的处理部的实例进行说明。基本上，可适用于需要具有升降轴的双轴驱动机构的处理部。例如，可适用于在模片结合器中在基板上涂敷模片粘接剂的针头。虽然如上述对本发明的实施方式进行说明，但本领域技术人员可根据上述说明来实施各种替换例、修正或变形，本发明在不脱离其主旨的范围内包括上述各种替换例、修正 或变形。
权利要求
1.一种双轴驱动机构，其特征在于， 具有处理部; 双轴驱动轴，该双轴驱动轴具备第一直线电动机部和第二直线电动机部，上述第一直线电动机部具备使上述处理部沿第一直线导轨升降的第一可动部和第一固定部，上述第二直线电动机部具备使上述处理部在与上述升降方向垂直的水平方向上移动的第二可动部和第二固定部； 主电源，对上述双轴驱动轴供给电源；和 防止升降轴落下构件，在上述主电源的电源失去时防止上述第一可动部落下。
2.根据权利要求I所述的双轴驱动机构，其特征在于， 上述双轴驱动轴具有借助于上述第一直线导轨连接上述第一可动部并直接或间接地连接上述第二可动部的连接部；使上述第一可动部、上述第二可动部和上述连接部成为一体并在上述水平方向上移动的第二直线导轨；和将上述第一固定部和上述第二固定部在上述水平方向上以预定的长度互相平行地进行固定的支撑体。
3.根据权利要求I所述的双轴驱动机构，其特征在于， 上述双轴驱动轴具有第三直线导轨，该第三直线导轨将上述第一直线电动机部固定在上述第二可动部上，且导引上述第一直线电动机部的上述水平方向的移动。
4.根据权利要求2或3所述的双轴驱动机构，其特征在于， 上述防止升降轴落下构件具有设于与上述第一可动部一同移动的第一可动体部上的止动件、和在上述电源失去时将上述止动件在预定的位置进行支撑的支撑驱动部。
5.根据权利要求4所述的双轴驱动机构，其特征在于， 将上述支撑驱动部设于上述第一固定部或上述第二固定部的两端侧或者其附近的固定部件上。
6.根据权利要求5所述的双轴驱动机构，其特征在于， 上述支撑驱动部是具备因电源的有无而突出的杆部的螺旋管或者具备气缸杆的气缸。
7.根据权利要求5所述的双轴驱动机构，其特征在于， 上述支撑驱动部具有包围上述处理部所具有的或设于上述处理部的突起部地设置的弹性体；和使上述弹性体收缩的构件。
8.根据权利要求7所述的双轴驱动机构，其特征在于， 在上述预定的位置支撑的支撑动作是利用与上述主电源分体设置的其它电源来进行的。
9.根据权利要求5所述的双轴驱动机构，其特征在于， 上述支撑驱动部具有具备在上述无电源时能突出的杆的螺旋管；弹簧；和连接上述杆和上述弹簧并以支点为中心跷跷板般地旋转且在上述电源失去时利用上述弹簧使上述杆突出的工作部。
10.根据权利要求5所述的双轴驱动机构，其特征在于， 上述支撑驱动部具有具备利用与上述主电源分体设置的其它电源能突出的杆的螺旋管；电磁铁；和通过上述主电源的供给而被上述电磁铁吸附与上述杆连接的动作部。
11.根据权利要求I所述的双轴驱动机构，其特征在于， 具有在上述电源失去时用与上述主电源分体设置的其它电源使第一可动部上升或在该状态下维持该第一可动部的控制构件。
12.—种模片结合器,其特征在于， 具备根据权利要求I至3中任一项所述的双轴驱动机构，并通过上述处理部对基板进行处理。
13.根据权利要求12所述的模片结合器，其特征在于， 上述处理部是将模片从晶片拾取且向上述基板结合的结合头或向上述基板涂敷模片粘接剂的针。
14.一种模片结合器,其特征在于， 具备根据权利要求4所述的双轴驱动机构，通过上述处理部对基板进行处理，上述处理部是将模片从晶片拾取且向上述基板结合的结合头或向上述基板涂敷模片粘接剂的针。
15.—种模片结合器,其特征在于， 具备根据权利要求5所述的双轴驱动机构，通过上述处理部对基板进行处理，上述处理部是将模片从晶片拾取且向上述基板结合的结合头或向上述基板涂敷模片粘接剂的针。
16.—种模片结合器,其特征在于， 具备根据权利要求6所述的双轴驱动机构，通过上述处理部对基板进行处理，上述处理部是将模片从晶片拾取且向上述基板结合的结合头或向上述基板涂敷模片粘接剂的针。
17.—种模片结合器,其特征在于， 具备根据权利要求7所述的双轴驱动机构，通过上述处理部对基板进行处理，上述处理部是将模片从晶片拾取且向上述基板结合的结合头或向上述基板涂敷模片粘接剂的针。
18.—种模片结合器,其特征在于， 具备根据权利要求8所述的双轴驱动机构，通过上述处理部对基板进行处理，上述处理部是将模片从晶片拾取且向上述基板结合的结合头或向上述基板涂敷模片粘接剂的针。
19.一种模片结合器,其特征在于， 具备根据权利要求9所述的双轴驱动机构，通过上述处理部对基板进行处理，上述处理部是将模片从晶片拾取且向上述基板结合的结合头或向上述基板涂敷模片粘接剂的针。
20.—种模片结合器,其特征在于， 具备根据权利要求10所述的双轴驱动机构，通过上述处理部对基板进行处理，上述处理部是将模片从晶片拾取且向上述基板结合的结合头或向上述基板涂敷模片粘接剂的针。
21.—种模片结合器,其特征在于， 具备根据权利要求11所述的双轴驱动机构，通过上述处理部对基板进行处理，上述处理部是将模片从晶片拾取且向上述基板结合的结合头或向上述基板涂敷模片粘接剂的针。
22.—种模片结合器的运转方法，其特征在于， 具有如下步骤 具有主电源、通过上述主电源的供给来用直线电动机使结合头升降以吸附模片，在基板上安装上述模片的步骤；和 在上述主电源失去时防止上述结合头落下的防止落下步骤。
全文摘要
本发明的目的是提供在失去电源时防止直线电动机的升降轴落下且含有可靠性高的升降轴的双轴驱动机构和使用该双轴驱动机构的可靠性高的模片结合器以及模片结合器的运转方法。本发明具有处理部；双轴驱动轴，该双轴驱动轴具备第一直线电动机部、和第二直线电动机部；主电源，向上述双轴驱动轴供给电源；和防止升降轴落下构件，在上述主电源的电源失去时防止上述第一可动部落下，其中，上述第一直线电动机部具备使上述处理部沿第一直线导轨升降的第一可动部和第一固定部，上述第二直线电动机部具备使上述处理部在与上述升降方向垂直的水平方向上移动的第二可动部和第二固定部。
文档编号H01L21/58GK102881614SQ20111027128
公开日2013年1月16日 申请日期2011年9月6日 优先权日2011年7月15日
发明者深泽信吾, 保坂浩二 申请人:株式会社日立高新技术仪器