专利名称：RF激励全金属CO<sub>2</sub>波导激光器的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种激光发生器。
背景技术：
目前，国内外中小功率RF激励波导(X)2激光器采用风冷或在谐振腔外镶嵌铜管水冷的方式进行激光器工作物质的散热，由于铜管不能与金属腔体良好的接触，并且接触面积较小，所以会产生一定的热阻，导热效果不理想，对激光器件的工作性能和寿命产生较大的影响。
发明内容本实用新型的发明目的在于提供一种能够有效地将工作气体产生的热量快速传导出腔外，降低和稳定工作气体的温度，改善激光器的工作特性，提高了激光器输出功率和稳定性的RF激励全金属C02波导激光器。本实用新型是这样实现的，包括激光腔体、设置在激光腔体内的电感、连接在电感下面的金属板上电极、连接在金属板上电极下面的金属板(放电区侧挡板)、连接在金属板下面的金属板下电极，金属板包括两块以上的子金属板侧挡板，在子金属板间设置有放电区，激光腔体容腔内的除电感、金属板上电极、金属板、金属板下电极、放电区外的部分为密闭的储气室，储气室内是能放电发出激光的气体，其特别之处在于在储气室的外侧的上下四个角的激光腔体的腔壁内设置有循环水冷却通道，在激光腔体的外侧壁上设置有散热翼片。工作时，一是将激光工作气体的一部分热量通过散热片直接散热出去；二是通过激光器的内部水冷循环系统，有效地将工作气体产生的热量快速吸收散出，达到很高的散热效果， 增大和稳定了激光器的输出功率和工作性能。这里循环水冷却通道呈圆柱形，相应的储气室的外侧的上下四个角的腔壁呈圆弧形，这样，既增大了腔壁吸取工作气体产生的热量的面积，同时，有利于迅速地将热能传递到通道内的冷却水上。这里，带有循环水冷却通道、墙体的激光腔体用金属整体挤压成型而成。金属是铝
I=I 巫 O本实用新型与已有技术相比，由于采用了在储气室的外侧的上下四个角的激光腔体的腔壁内设置有循环水冷却通道，因此，具有能够有效地将工作气体产生的热量快速传导出腔外，降低和稳定工作气体的温度，改善激光器的工作特性，提高了激光器输出功率和稳定性的优点。
图1为本实用新型的结构横剖面示意图；图2为本实用新型的循环水冷却通道的结构示意图。
具体实施方式
现结合附图和实施例对本实用新型做进一步详细描述
3[0013]如图所示，本实用新型包括激光腔体2、设置在激光腔体2内的电感3、连接在电感 3下面的金属板上电极4、连接在金属板上电极4下面的金属板侧挡板7、连接在金属板7下面的金属板下电极5，金属板7包括两块以上的子金属板7a，在子金属板7a间设置有放电区6，激光腔体2容腔内的除电感3、金属板上电极4、金属板7、金属板下电极5、放电区6外的部分为密闭的储气室8，储气室8内是能放电发出激光的气体，其特别之处在于在储气室 8的外侧的上下四个角8a的激光腔体2的腔壁加内设置有带有进口 la、出口 Ib的循环水冷却通道1，在激光腔体2的外侧壁上设置有散热翼片9。循环水冷却通道1截面呈圆柱形，相应的储气室8的外侧的上下四个角8a的腔壁加呈圆弧形.带有循环水冷却通道1、墙体的激光腔体2用金属整体挤压成型而成。金属是铝合金。
权利要求1.RF激励全金属C02波导激光器，包括激光腔体、设置在激光腔体内的电感、连接在电感下面的金属板上电极、连接在金属板上电极下面的金属板、连接在金属板下面的金属板下电极，金属板包括两块以上的子金属板，在子金属板间设置有放电区，激光腔体容腔内的除电感、金属板上电极、金属板侧挡板、金属板下电极、放电区外的部分为密闭的储气室， 储气室内是能放电发出激光的气体，其特征在于在储气室的外侧的上下角的激光腔体的腔壁内设置有循环水冷却通道，在激光腔体的外侧壁上设置有散热翼片。
2.根据权利要求1所述的RF激励全金属C02波导激光器，其特征在于这里循环水冷却通道截面呈圆柱形，相应的储气室的外侧的上下角的腔壁呈圆弧形。
3.根据权利要求1或2所述的RF激励全金属C02波导激光器，其特征在于带有循环水冷却通道、墙体的激光腔体用金属整体挤压成型而成。
4.根据权利要求3所述的RF激励全金属C02波导激光器，其特征在于金属是铝合金。
专利摘要RF激励全金属CO2波导激光器,包括激光腔体、设置在激光腔体内的电感、连接在电感下面的金属板上电极、连接在金属板上电极下面的金属板、连接在金属板下面的金属板下电极，金属板包括两块以上的子金属板，在子金属板间设置有放电区，激光腔体容腔内的除电感、金属板上电极、金属板侧挡板、金属板下电极、放电区外的部分为密闭的储气室，储气室内是能放电发出激光的气体，其特征在于在储气室的外侧的上下角的激光腔体的腔壁内设置有循环水冷却通道，在激光腔体的外侧壁上设置有散热翼片。本实用新型与已有技术相比，具有能够有效地将工作气体产生的热量快速传导出腔外，降低和稳定工作气体的温度，改善激光器的工作特性，提高了激光器输出功率和稳定性的优点。
文档编号H01S3/041GK202084777SQ201120152818
公开日2011年12月21日 申请日期2011年5月13日 优先权日2011年5月13日
发明者刘玉华, 唐令西 申请人:佛山科学技术学院