专利名称：用于太阳能电池片扩散工艺炉口引流和收集废液的接液盘的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及ー种接液盘，尤其是ー种用于太阳能电池片扩散エ艺炉ロ引流和收集废液的接液盘。
背景技术：
太阳能电池是ー种将光能直接转化为电能的器件，其基本原理是利用PN结的光生伏特效应将光能转化成电能，由于其清洁、无污染，取之不尽，用之不竭，逐渐成为ー种重要的发电方式，近年来备受瞩目。其中，晶体硅太阳能电池占有绝大部分的份额。目前，在晶体硅太阳能电池的生产过程中，用于制作PN结的扩散制结エ序是太阳能电池的关键エ序之一。该エ序要求严格的エ艺卫生，需要有严格的洁净度，因此扩散完的反应产物要严格控制，从而增强太阳能电池转换效率的稳定性。现有的晶体硅太阳能电池扩散エ艺均采用水平卧式扩散炉，扩散炉内配有水平卧式石英舟承载硅片，生产时需要人工向石英舟槽内插入硅片。石英舟插好硅片后，放在悬臂浆上，自动运行エ艺就可以进入石英管中进行扩散エ艺。扩散完成后悬臂桨会退出来，由于エ艺炉管中会发生化学反应，主要产物为偏磷酸，偏磷酸液体会沿石英炉管ロ流出，桨也会带偏磷酸出来滴在炉门ロ的鉄板上，时间长了就会造成鉄板被腐蚀穿，废会滴到下边管子的硅片上，造成下面的管子在进舟或出舟时的片子被污染。由于是高温环境以及生产产量等原因，清理废液时要花费时间降温操作，不然很容易被烫伤，还要打开炉门桨要退出来，维护周期不太好控制。并且此废液处于扩散间的洁净区，因此对硅片容易造成污染，从而影响片子效率。
发明内容本实用新型的目的是为了解决上述技术的不足而设计的ー种导流效果好、可效减少污染的用于太阳能电池片扩散エ艺炉ロ引流和收集废液的接液盘。本实用新型所设计的用于太阳能电池片扩散エ艺炉ロ引流和收集废液的接液盘，包括盘体，该盘体尾端设有两只支脚将盘体支撑呈倾斜状，盘体前部呈梯形状且端部设有开ロ ；该盘体材质为石英。作为优选所述盘体的倾斜角度在10到20度之间；所述支脚为高7CM的实心柱结构； 所述盘体壁厚2匪，面积为0. Im2 ；所述开ロ的宽度为10CM。本实用新型所得的用于太阳能电池片扩散エ艺炉ロ引流和收集废液的接液盘，与现有技术相比具有的优点是I、本实用新型可以将废液引流出去，缩短维护的时间，具有比较现实的意义。2、本实用新型面积相对较大，能将废液基本全部接住，流到外面去，避免废液滴到硅片上，造成硅片的污染，现有的接液盘是平放的，没有引流，大部分废液会滴到鉄板上堆积，造成铁板腐蚀。3、本实用新型结构简单，便于制备，成本较低，且具有良好的可操作性、实用性，适于推广应用。
图I是实施例I俯视图；图2是实施例I侧视图；图中盘体I、支脚2、开ロ 3。
具体实施方式
下面通过实施例结合附图对本实用新型作进ー步的描述。实施例I :如图1、2所示，本实施例所描述的用于太阳能电池片扩散エ艺炉ロ引流和收集废液的接液盘，包括盘体1，该盘体I尾端设有两只支脚2将盘体I支撑呈倾斜状，盘体I前部呈梯形状且端部设有开ロ 3 ;该盘体I材质为石英。其中所述盘体I的倾斜角度在15度；所述支脚2为高7CM的实心柱结构；所述盘体I壁厚2匪，面积为0. Im2 ；所述开ロ 3的宽度为10CM。此石英接液盘放置在48所扩散炉的炉ロ，放置时将炉ロ的锈蚀物等异物清理干净，将接液盘水平放置有开ロ 3的部分和设备侧面的废液ロ对准，由于接液盘的面积，使基本能覆盖炉ロ的鉄板，且接液盘有斜度，最低点有一个引流ロ，エ艺产生的废液可以沿引流ロ流到炉ロ侧面的管道里，避免废液滴在鉄板上，造成鉄板的腐蚀，影响设备的使用寿命，其他3个管子的废液可按此方法同时流到此管道，3个管子接液盘的废液流经则面的管道汇集后，最后流到设备下边的总的不锈钢接液盘中，而此不锈钢盘在扩散间的灰区设备底部，在灰区清理废液不会对片子造成太大影响，然后再在此不锈钢接液盘中加一个合适的烧杯，由于烧杯是透明的可以随时观察废液的多少，设备人员做点检也比较方便，并及时清理，维护的时间大大缩短，且不会影响生产。本实用新型所得的用于太阳能电池片扩散エ艺炉ロ引流和收集废液的接液盘，与现有技术相比具有的优点是I、本实用新型可以将废液引流出去，缩短维护的时间，具有比较现实的意义。2、本实用新型面积相对较大，能将废液基本全部接住，流到外面去，避免废液滴到硅片上，造成硅片的污染，现有的接液盘是平放的，没有引流，大部分废液会滴到鉄板上堆积，造成铁板腐蚀。3、本实用新型结构简单，便于制备，成本较低，且具有良好的可操作性、实用性，适于推广应用。
权利要求1.一种用于太阳能电池片扩散エ艺炉ロ引流和收集废液的接液盘，包括盘体，其特征是该盘体尾端设有两只支脚将盘体支撑呈倾斜状，盘体前部呈梯形状且端部设有开ロ ；该盘体材质为石英。
2.根据权利要求I所述的用于太阳能电池片扩散エ艺炉ロ引流和收集废液的接液盘，其特征是所述盘体的倾斜角度在10到20度之间。
3.根据权利要求I所述的用于太阳能电池片扩散エ艺炉ロ引流和收集废液的接液盘，其特征是所述支脚为高7CM的实心柱结构。
4.根据权利要求I或2或3所述的用于太阳能电池片扩散エ艺炉ロ引流和收集废液的接液盘，其特征是所述盘体壁厚2MM，面积为0. lm2。
5.根据权利要求4所述的用于太阳能电池片扩散エ艺炉ロ引流和收集废液的接液盘，其特征是所述开ロ的宽度为10CM。
专利摘要本实用新型公开的用于太阳能电池片扩散工艺炉口引流和收集废液的接液盘，包括盘体，该盘体尾端设有两只支脚将盘体支撑呈倾斜状，盘体前部呈梯形状且端部设有开口；该盘体材质为石英。本实用新型所得的用于太阳能电池片扩散工艺炉口引流和收集废液的接液盘，与现有技术相比具有的优点是1、可以将废液引流出去，缩短维护的时间，具有比较现实的意义。2、面积相对较大，能将废液基本全部接住，流到外面去，避免废液滴到硅片上，造成硅片的污染，现有的接液盘是平放的，没有引流，大部分废液会滴到铁板上堆积，造成铁板腐蚀。3、结构简单，便于制备，成本较低，且具有良好的可操作性、实用性，适于推广应用。
文档编号H01L31/18GK202359236SQ20112046463
公开日2012年8月1日 申请日期2011年11月21日 优先权日2011年11月21日
发明者于良成, 任威, 崔鹏超, 廖任超, 詹功炜, 陈高潮 申请人:浙江正国太阳能科技有限公司