专利名称：真空吸盘式对位系统的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种对位系统，尤其涉及一种对非接触的两工件进行对位的真空吸盘式对位系统。
背景技术：
随着人们对能源的需求量日益增大，太阳能电池作为新兴的环保资源，其应用越来越广泛，相应地，太阳能电池制造产业也引起广阔的应用前景而不断发展壮大。太阳电池可以使用玻璃、塑料、陶瓷、石墨，金属片等不同材料当基板来制造，形成可产生电压的薄膜厚度仅需数微米，目前，太阳能电池分为晶体硅太阳能电池和非晶硅太阳能电池。基于晶体硅(单晶硅和多晶硅)的太阳能电池由于发展历史较早且技术比较成熟， 在装机容量一直占据领先地位。尽管技术进步和市场扩大使其成本不断下降，但由于材料和工艺的限制，晶体硅太阳能电池进一步降低成本的空间相当有限，因此第一代太阳能电池很难承担太阳能光伏发电大比例进入人类能源结构并成为基础能源的组成部分的历史使命，而非晶硅太阳能电池益发得到世界各国的重视，技术日臻成熟，光电转换效率和稳定性不断提高，集成型非晶硅太阳能电池的激光切割的使用有效面积达90%以上，目前大面积大量生产的硅薄膜太阳能电池的光电转换效率为5%-8%。非晶娃太阳能电池一般采用等离子增强型化学气相沉积(PECVD, PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition)方法使高纯娃烧等气体分解沉积而成的。此种制作工艺，可以在生产中连续在多个真空沉积室完成，以实现大批量生产。由于沉积分解温度低，且可在玻璃、不锈钢板、陶瓷板、柔性塑料片上沉积薄膜，易于大面积化生产，成本较低。以在玻璃基板上制备的非晶硅基太阳能电池为例，其首先在玻璃(glass)衬底上沉积透明导电膜(TCO)，然后依次用等离子体反应沉积p型、i型、n型三层a-Si，接着再蒸镀金属电极铝(Al)，非晶硅(a-Si)太阳电池是光从玻璃面入射，电池电流从透明导电膜和铝引出，其结构可表示为 glass/TCO/pin/Al。在非晶硅太阳能电池板制备过程中，常需要先对其玻璃基板进行精确对位，之后才能进行相应的操作，传统的做法是利用机械手将玻璃基板及其他物件进行装夹，再利用机械手进行对位，或将玻璃基板直接贴合于需对位的物件上使两者接触以进行对位，上述方式中，对玻璃基板进行接触式对位及进行装夹，可能会对玻璃基板造成污染或损伤，从而影响非晶硅太阳能电池板的生产精度，另外，当需要对应的玻璃基板与其他物件的长宽高都不相同时，采用上述方法进行对位的精度不够高。因此，有必要提供一种可实现对非接触的两工件进行精确对位的装置来解决现有技术的不足。
发明内容
本发明的目的在于提供一种可实现对非接触的两工件进行精确对位的真空吸盘式对位系统。
为实现上述目的，本发明的技术方案为提供一种真空吸盘式对位系统，适用于对非接触的两工件进行对位，其包括对位装置、固定平台装置、旋转平台装置、对位调节装置及底座，所述对位调节装置连接于所述底座上，所述旋转平台装置连接于所述对位调节装置的上方，所述固定平台装置设置于所述旋转平台装置的一侧，并与所述旋转平台装置相对应，所述对位装置设置于所述固定平台装置的上方，且所述固定平台装置、旋转平台装置上均开设有气孔并与抽真空系统连接，其中，所述对位调节装置包括X轴调节机构、Y轴调节机构及Z轴调节机构，所述旋转平台装置滑动地连接于所述X轴调节机构的上端，并可沿X轴方向水平滑动，所述X轴调节机构的下端滑动地连接于所述Y轴调节机构的上端，并可沿Y轴方向水平滑动，所述Y轴调节机构的下端固定于所述Z轴调节机构上，且所述Z轴调节机构活动地连接于所述底座上，并可相对所述底座沿Z轴方向运动。较佳地，所述旋转平台装置包括旋转固定座、旋转调节机构、活动平台及第一真空接头，所述活动平台上开设有气孔，所述第一真空接头安装于所述活动平台的侧部，并与所 述活动平台上开设的气孔相连通，所述活动平台旋转地连接于所述旋转固定座上，所述旋转固定座滑动地连接于所述X轴调节机构的上端，所述旋转调节机构连接于所述旋转固定座的侧部，并与所述活动平台连接，通过抽真空系统将工件吸附于活动平台上，实现工件的固定，避免装夹等给工件带来的损伤。较佳地，所述旋转调节机构包括气性弹簧、第一挡块、第一轴套、第一旋钮及两第一固定支架，两所述第一固定支架间隔地固定于所述旋转固定座的一侧，所述第一挡块连接于所述活动平台上并位于两所述第一固定支架之间，所述第一旋钮穿设于其中一所述第一固定支架上，并与所述第一挡块的一侧连接，所述气性弹簧连接于另一所述第一固定支架上，并与所述第一挡块的另一侧相抵触，所述第一轴套套设于所述第一旋钮外，因此，通过旋转第一旋钮可推动所述第一挡块移动，气性弹簧则顶住第一挡块的另一侧起预紧作用，第一挡块移动从而带动活动平台绕旋转固定座的中心轴转动。较佳地，所述固定平台装置包括固定平台、对位块及第二真空接头，所述固定平台上开设有气孔，所述固定平台设置于所述活动平台的一侧并与所述活动平台相对应，所述对位块设置于所述固定平台上，所述第二真空接头设置于所述固定平台的一侧，并与所述固定平台上开设的气孔相连通，固定平台用于承载工件，且通过抽真空系统将工件吸附于 固定平台上实现对工件的固定。较佳地，所述对位装置包括左CXD镜头、右CXD镜头及显示系统，所述左CXD镜头、右CCD镜头均设置于所述固定平台装置的上方，并均与所述显示系统连接，左CCD镜头、右CXD镜头用于检测两工件上的左右对位光标的对位状态，并通过显示系统显示。较佳地，所述X轴调节机构包括X轴固定座、第二挡块、第二支架、第二轴套、第二旋钮及第一弹簧，所述X轴固定座的上端与所述旋转固定座滑动连接，所述第一弹簧沿X轴的轴向设置于所述X轴固定座与所述旋转固定座之间，所述第二支架固定于所述X轴固定座的一端，所述第二挡块固定于所述旋转固定座上，且所述第二支架、第二挡块位于同一侧并沿X轴方向设置，所述第二旋钮穿设于所述第二支架上并与所述第二挡块连接，所述第二轴套套设于所述第二旋钮外并连接于所述第二旋钮与所述第二支架之间；旋转第二旋钮使其推动第二挡块，从而带动旋转固定座沿X轴方向水平滑动，在此过程中，第一弹簧被压缩并起预紧作用，当向相反的方向旋转第二旋钮时，被压缩的第一弹簧恢复形变并推动旋转固定座沿X轴向相反方向滑动，此时第二旋钮则对第二挡块起限位作用。较佳地，所述X轴固定座的上表面开设有X轴方向的第一滑槽及一长槽，所述长槽的一端设置有第一挡片，且所述第一挡片设置于相对所述第二支架的另一端，所述旋转固定座的下端滑动地卡合于所述第一滑槽内，且所述第一弹簧容置于所述长槽内，所述第一弹簧的一端与所述第一挡片相抵触，所述第一弹簧的另一端与所述旋转固定座相抵触；第二旋钮推动旋转固定座沿X轴滑动的过程中，第一弹簧的一端抵触第一挡片，因此被逐渐压缩，当向相反方向旋转第二旋钮时，被压缩的第一弹簧恢复形变从而推动旋转固定座向相反方向滑动。较佳地，所述Y轴调节机构包括Y轴固定座、第三挡块、第三支架、第三轴套、第三旋钮及第二弹簧，所述Y轴固定座的上端与所述X轴固定座的下端滑动连接，所述第二弹簧沿Y轴的轴向设置于所述Y轴固定座与所述X轴固定座之间，所述第三支架固定于所述Y轴固定座的一端，所述第三挡块固定于所述X轴固定座上，且所述第三支架、第三挡块位于 同一侧并沿Y轴方向设置，所述第三旋钮穿设于所述第三支架上并与所述第三挡块连接，所述第三轴套套设于所述第三旋钮外并连接于所述第三支架与所述第三挡块之间；通过旋转第三旋钮使其推动第三挡块，从而带动X轴固定座沿Y轴方向水平滑动，在此过程中，第二弹簧被压缩并起预紧作用，当向相反的方向旋转第三旋钮时，被压缩的第二弹簧恢复形变并推动X轴固定座沿Y轴向相反方向滑动，此时第三旋钮则对第三挡块起限位作用。较佳地，所述Y轴固定座的上表面开设有Y轴方向的第二滑槽及第二容置槽，所述第二容置槽的一端设置有第二挡片，且所述第二挡片设置于相对所述第三支架的另一端，所述第二弹簧容置于所述第二容置槽内，且所述第二弹簧的一端与所述第二挡片相抵触，所述X轴固定座的下端滑动地卡合于所述第二滑槽内，且所述X轴固定座与所述第二弹簧的另一端相抵触；第三旋钮推动X轴固定座沿Y轴滑动的过程中，第二弹簧的一端抵触第二挡片而被压缩，当向相反方向旋转第三旋钮时，被压缩的第二弹簧恢复形变从而推动X轴固定座向相反方向滑动。较佳地，所述Z轴调节机构包括升降台、齿条、齿轮及高度旋钮，所述升降台与所述Y轴固定座的下表面固定连接，所述齿条固定于所述升降台的侧壁上，所述底座上凸伸出与所述升降台的侧壁相对应的连接板，所述高度旋钮连接于所述连接板上，所述齿轮连接于所述高度旋钮的一端并与所述齿轮相啮合，因此，旋转所述高度旋钮，通过所述齿轮驱动齿条运动，进而使升降台上升，而向相反方向旋转所述高度旋钮时，可带动升降台下降，实现活动平台在Z轴方向的上下调整。与现有技术相比，由于本发明的真空吸盘式对位系统具有C⑶对位装置、固定平台装置、旋转平台装置及位调节装置，且固定平台装置、旋转平台装置上均开设有气孔并与抽真空系统连接，对位调节装置包括X轴调节机构、Y轴调节机构及Z轴调节机构，所述旋转平台装置滑动地连接于所述X轴调节机构的上端，并可沿X轴方向水平滑动，所述X轴调节机构的下端滑动地连接于所述Y轴调节机构的上端，并可沿Y轴方向水平滑动，所述Y轴调节机构的下端固定于所述Z轴调节机构上，且所述Z轴调节机构活动地连接于所述底座上，并可相对所述底座沿Z轴方向运动；因此，通过抽真空系统将工件吸附于固定平台装置、旋转平台装置上，固定工件方便快捷，且不需要装夹，不会损坏工件表面；而对位调节装置可高效地调节X轴、Y轴、Z轴方向的位置，且旋转平台装置可绕Z轴旋转，调节方便快捷，精确实现对不同高度且非接触的两工件进行对位，采用CCD对位装置，对位精度高且操作方便。
图I是本发明真空吸盘式对位系统的结构示意图。图2是本发明真空吸盘式对位系统另一角度的结构示意图。图3是本发明真空吸盘式对位系统又一角度的结构示意图。
图4是本发明真空吸盘式对位系统的局部结构示意图。图5是本发明真空吸盘式对位系统的另一局部结构示意图。图6是本发明真空吸盘式对位系统的右视图。图7是本发明真空吸盘式对位系统的左视图。图8是本发明真空吸盘式对位系统的后视图。
具体实施例方式现在参考附图描述本发明的实施例，附图中类似的元件标号代表类似的元件。如图I、图2所示，本发明所提供的真空吸盘式对位系统1，适用于对非接触的两工件进行精确对位，其包括对位装置10、固定平台装置20、旋转平台装置30、对位调节装置40及底座50，所述对位调节装置40连接于所述底座50上，用于实现X轴、Y轴、Z轴方向的位置调整，所述旋转平台装置30连接于所述对位调节装置40的上方，且旋转平台装置30可用于旋转调整，所述固定平台装置20设置于所述旋转平台装置30的一侧，并与所述旋转平台装置30相对应，所述对位装置10设置于所述固定平台装置20的上方，所述固定平台装置20上均开设有若干气孔211，旋转平台装置30上开设有若干气孔311，固定平台装置20、旋转平台装置30均与抽真空系统连接，其中，对位装置10为CCD对位装置。如图I、图2所示，所述对位调节装置40包括X轴调节机构41、Y轴调节机构42及Z轴调节机构43，所述旋转平台装置30滑动地连接于所述X轴调节机构41的上端，并可沿X轴方向水平滑动，所述X轴调节机构41的下端滑动地连接于所述Y轴调节机构42的上端，并可沿Y轴方向水平滑动，所述Y轴调节机构42的下端固定于所述Z轴调节机构43上，且所述Z轴调节机构43活动地连接于所述底座50上，并可相对所述底座50沿Z轴方向运动。结合图I-图3所示，所述对位装置10包括左CXD镜头11、右CXD镜头12及显示系统(图未示)，所述左C⑶镜头11、右C⑶镜头12均设置于所述固定平台装置20的上方，并均与所述显示系统连接，左C⑶镜头11、右C⑶镜头12用于检测两工件上的左、右对位光标的对位状态，并通过显示系统显示，采用高精度的CCD对位装置10，对位精度高。所述固定平台装置20包括的固定平台21、对位块22及第二真空接头23，所述固定平台21上开设有若干气孔211，所述对位块22设置于所述固定平台21上，并位于固定平台21的一端，所述第二真空接头23设置于所述固定平台21的一侧，第二真空接头23的一端与所述固定平台21上开设的气孔211相连通，第二真空接头23的另一端与抽真空系统连通，所述固定平台21设置于所述活动平台31装置的一侧并与所述活动平台31相对应，固定平台21用于承载工件，且通过真空系统将工件吸附于固定平台21上实现对工件的固定，避免装夹，因此可避免损伤工件表面。
继续结合图I-图3所示，所述旋转平台装置30包括活动平台31、第一真空接头32、旋转固定座33及旋转调节机构34，所述活动平台31上开设有若干气孔311，所述第一真空接头32安装于所述活动平台31的侧部，并与活动平台31上开设的气孔311相连通，第一真空接头32的另一端与抽真空系统连接，通过抽真空系统可将工件吸附于活动平台31上，实现工件的固定，避免装夹等给工件带来的损伤；所述活动平台31旋转地连接于所述旋转固定座33上，活动平台31可绕旋转固定座33的中心轴转动；所述旋转固定座33则滑动地连接于所述X轴调节机构41的上端，且旋转固定座33可沿X轴方向滑动；旋转调节机构34连接于所述旋转固定座33的侧部,并与所述活动平台31连接,通过旋转调节机构34可带动活动平台31旋转。具体地，所述旋转调节机构34包括第一旋钮341、第一轴套342、第一固定支架343a、343b、第一挡块344、气性弹簧345，其中，第一旋钮341具有一长杆。安装时，两所述第一固定支架343a、343b间隔地固定于所述旋转固定座33的一侧面上，所述第一挡块344连接于所述活动平台31上并位于两所述第一固定支架343a、343b之间，所述第一旋钮341的 长杆穿设于第一固定支架343a上，并使其长杆与所述第一挡块344的一侧相连接，所述气性弹簧345连接于另一第一固定支架343b上，并与所述第一挡块344的另一侧相抵触；所述第一轴套342套设于所述第一旋钮341外，且第一轴套342的一端通过其上设置的外螺纹与所述第一支架343a螺纹连接，第一轴套342的另一端则螺纹连接于第一旋钮341上；因此，通过旋转第一旋钮341可使其长杆推动所述第一挡块344移动，在此过程中，气性弹簧345顶住第一挡块344的另一侧起预紧作用，第一挡块344移动从而带动活动平台31绕旋转固定座33的中心轴转动。对位调节装置40用于对活动平台31上的工件在X轴、Y轴、Z轴方向的位置进行调节，下面结合附图对其包括的X轴调节机构41、Y轴调节机构42、Z轴调节机构43的结构进行详细描述。结合图I-图4所示，所述X轴调节机构41包括X轴固定座411、第二旋钮412、第二轴套413、第二支架414、第二挡块415及第一弹簧416，其中，所述第一弹簧416沿X轴的轴向设置于所述X轴固定座411与旋转固定座33之间，且所述X轴固定座411的上端与旋转固定座33滑动连接。具体地，所述X轴固定座411的上表面沿X轴方向开设有第一滑槽411a及一长槽411b，旋转固定座33的下表面上沿X轴方向开设有第一容置槽(图未示)，所述长槽411b的一端设置有第一挡片41 lc，所述第一弹簧416容置于所述第一容置槽内，且第一弹簧416的一端与旋转固定座33相抵触，两者安装后，所述旋转固定座33的下端滑动地卡合于所述第一滑槽411a内，并使所述第一弹簧416的另一端与所述第一挡片411c相抵触。所述第二支架414则固定于所述X轴固定座411的另一侧面，且第二支架414固定于相对所述第一挡片411c的另一端，所述第二挡块415则固定于所述旋转固定座33上，第二挡块415、第二支架414位于同一侧，且第二挡块415设置于第二支架414与第一挡片411c之间。所述第二旋钮412具有一长杆，第二旋钮412的长杆穿设于所述第二支架414上并与第二挡块415连接，第二轴套413则套设于所述第二旋钮412外，且第二轴套413的一端通过外螺纹与第二支架414螺纹连接，另一端则螺纹连接于所述第二旋钮412上；因此，旋转第二旋钮412使其长杆推动第二挡块415，进而推动旋转固定座33沿X轴方向水平滑动，在此过程中，第一弹簧416被压缩并起预紧作用，当向相反的方向旋转第二旋钮412时，被压缩的第一弹簧416恢复形变并推动旋转固定座33沿X轴向相反方向滑动，此过程中，第二旋钮412则对第二挡块415起限位作用。结合图I-图5所示，所述Y轴调节机构42包括Y轴固定座421、第三旋钮422、第三轴套423、第三支架424、第三挡块425及第二弹簧426，所述第二弹簧426沿Y轴方向设置于所述Y轴固定座421与X轴固定座411之间，所述Y轴固定座421的上端与所述X轴固定座411的下端滑动连接。具体地，所述Y轴固定座421的上表面沿Y轴方向开设有第二滑槽421a及第二容置槽421b，所述第二容置槽421b的一端设置有第二挡片421c，所述第二弹簧426容置于所述第二容置槽421b内，且所述第二弹簧426的一端与所述第二挡片421c相抵触；当所述X轴固定座411的下端滑动地卡合于所述第二滑槽421a内后，X轴固定座411与所述第二弹 簧426的另一端相抵触。所述第三支架424固定于所述Y轴固定座421的侧面，且第三支架424固定于相对第二挡片421c的另一端，第三挡块425固定于所述X轴固定座411上，第三支架424、第三挡块425位于同一侧，且第三挡块425设置于第三支架424与第二挡片421c之间，安装完成时，所述第三旋钮422的长杆穿设于所述第三支架424上并与所述第三挡块425连接，所述第三轴套423套设于第三旋钮422外，且第三轴套423的一端通过外螺纹与第三支架424螺纹连接，另一端则螺纹连接于第三旋钮422上；因此，通过旋转第三旋钮422使其长杆推动第三挡块425，从而可推动X轴固定座411沿Y轴方向水平滑动，在此过程中，第二弹簧426被压缩并起预紧作用，当向相反的方向旋转第三旋钮422时，被压缩的第二弹簧426恢复形变并推动X轴固定座411沿Y轴向相反方向滑动，此过程中，第三旋钮422则对第三挡块425起限位作用。继续结合图I-图5所示，所述Z轴调节机构43包括升降台431、齿条432、齿轮433及高度旋钮434，所述升降台431与所述Y轴固定座421的下表面固定连接，所述齿条432固定于所述升降台431的侧壁上，所述底座50上凸伸出与所述升降台431的侧壁相对应的连接板51，所述高度旋钮434连接于所述连接板51上，所述齿轮433连接于所述高度旋钮434的一端并与所述齿轮433相啮合，因此，旋转所述高度旋钮434，可通过所述齿轮433驱动齿条432运动，进而使升降台431上升，而向相反方向旋转所述高度旋钮434时，可带动升降台431下降，实现活动平台31在Z轴方向上的上下调整。下面结合图I-图8所示，对本发明真空吸盘式对位系统I的工作原理及过程进行说明。对两工件进行对位时，尤其对两长宽高均不相同的工件进行对位时，其中一工件放置于固定平台21上，另一工件则放置于活动平台31上，并通过抽真空系统分别将两工件吸附于固定平台21及活动平台31上，采用真空系统将工件吸附固定，避免夹装，因此不会损伤工件表面。对两工件进行对位时，活动平台31上的工件可在X轴、Y轴、Z轴方向进行位置的调整，还可旋转活动平台31以对工件进行旋转调整。具体地，进行旋转调整时，通过旋转第一旋钮341使其长杆推动所述第一挡块344移动，在此过程中，气性弹簧345顶住第一挡块344的另一侧起预紧作用，第一挡块344移动从而带动活动平台31绕旋转固定座33的中心轴转动。而进行X轴方向的调整时，旋转第二旋钮412使其长杆推动第二挡块415，从而推动旋转固定座33沿X轴方向水平滑动，在此过程中，第一弹簧416被压缩并起预紧作用；当向相反的方向旋转第二旋钮412时,被压缩的第一弹簧416恢复形变并推动旋转固定座33沿X轴向相反方向滑动，此过程中，第二旋钮412则对第二挡块415起限位作用；从而完成对活动平台31上的工件进行X轴方向的调整。进行Y轴方向的调整时，通过旋转第三旋钮422使其长杆推动第三挡块425，从而推动X轴固定座411沿Y轴方向水平滑动，在此过程中，第二弹簧426被压缩并起预紧作用；当向相反的方向旋转第三旋钮422时，被压缩的第二弹簧426恢复形变并推动X轴固定座411沿Y轴向相反方向滑动，而此过程中，第三旋钮422对第三挡块425起限位作用，从而完成对活动平台31上的工件进行Y轴方向的调整。进行Z轴方向的调整时，旋转所述高度旋钮434，通过所述齿轮433驱动齿条432 运动，进而可使升降台431上升；向相反方向旋转所述高度旋钮434时，齿轮433驱动齿条432运动，从而带动升降台431下降，实现活动平台31在Z轴方向上的上下调。对活动平台31上的工件分别在X轴、Y轴、Z轴方向进行调整，精确实现不同高度且非接触的两工件的对位，且操作简便。在上述调整的过程中，对位装置10的左C⑶镜头
11、右C⑶镜头12用于检测两工件上的左右对位光标的对位状态，并通过显示系统显示，采用高精度的CCD对位装置10，对位精度高。由于本发明的真空吸盘式对位系统1，其具有C⑶对位装置10、固定平台装置20、旋转平台装置30及对位调节装置40，且固定平台装置20、旋转平台装置30上分别开设有气孔211、311，并均与抽真空系统连接；对位调节装置40包括X轴调节机构41、Y轴调节机构42及Z轴调节机构43，所述旋转平台装置30滑动地连接于所述X轴调节机构41的上端，并可沿X轴方向水平滑动，所述X轴调节机构41的下端滑动地连接于所述Y轴调节机构42的上端，并可沿Y轴方向水平滑动，所述Y轴调节机构42的下端固定于所述Z轴调节机构43上，且所述Z轴调节机构43活动地连接于所述底座50上，并可相对所述底座50沿Z轴方向运动；通过抽真空系统将工件吸附于固定平台装置20、旋转平台装置30上，固定方便快捷，且不需装夹，因此不会损坏工件表面；而对位调节装置40可调节X轴、Y轴、Z轴方向的位置，且旋转平台装置30可绕Z轴旋转，调节方便，精确实现对不同高度且非接触的两工件进行对位，采用CCD对位装置10，对位精度高，操作方便且效率高。本发明真空吸盘式对位系统I不限于对基板进行对位，可根据实际需要，用于相类似的平板物件的对位。以上所揭露的仅为本发明的优选实施例而已，当然不能以此来限定本发明之权利范围，因此依本发明申请专利范围所作的等同变化，仍属本发明所涵盖的范围。
权利要求
1.一种真空吸盘式对位系统，适用于对非接触的两工件进行对位，其特征在于包括对位装置、固定平台装置、旋转平台装置、对位调节装置及底座，所述对位调节装置连接于所述底座上，所述旋转平台装置连接于所述对位调节装置的上方，所述固定平台装置设置于所述旋转平台装置的一侧，并与所述旋转平台装置相对应，所述对位装置设置于所述固定平台装置的上方，且所述固定平台装置、旋转平台装置上均开设有气孔并与抽真空系统连接，其中 所述对位调节装置包括X轴调节机构、Y轴调节机构及Z轴调节机构，所述旋转平台装置滑动地连接于所述X轴调节机构的上端，并可沿X轴方向水平滑动，所述X轴调节机构的下端滑动地连接于所述Y轴调节机构的上端，并可沿Y轴方向水平滑动，所述Y轴调节机构的下端固定于所述Z轴调节机构上，且所述Z轴调节机构活动地连接于所述底座上，并可相对所述底座沿Z轴方向运动。
2.如权利要求I所述的真空吸盘式对位系统，其特征在于所述旋转平台装置包括旋转固定座、旋转调节机构、活动平台及第一真空接头，所述活动平台上开设有气孔，所述第一真空接头安装于所述活动平台的侧部，并与所述活动平台上开设的气孔相连通，所述活动平台旋转地连接于所述旋转固定座上，所述旋转固定座滑动地连接于所述X轴调节机构的上端，所述旋转调节机构连接于所述旋转固定座的侧部，并与所述活动平台连接。
3.如权利要求2所述的真空吸盘式对位系统，其特征在于所述旋转调节机构包括气性弹簧、第一挡块、第一轴套、第一旋钮及两第一固定支架，两所述第一固定支架间隔地固定于所述旋转固定座的一侧，所述第一挡块连接于所述活动平台上并位于两所述第一固定支架之间，所述第一旋钮穿设于其中一所述第一固定支架上，并与所述第一挡块的一侧连接，所述气性弹簧连接于另一所述第一固定支架上，并与所述第一挡块的另一侧相抵触，所述第一轴套套设于所述第一旋钮外。
4.如权利要求2所述的真空吸盘式对位系统，其特征在于所述固定平台装置包括固定平台、对位块及第二真空接头，所述固定平台上开设有气孔，所述固定平台设置于所述活动平台的一侧并与所述活动平台相对应，所述对位块设置于所述固定平台上，所述第二真空接头设置于所述固定平台的一侧，并与所述固定平台上开设的气孔相连通。
5.如权利要求I所述的真空吸盘式对位系统，其特征在于所述对位装置包括左CCD镜头、右CCD镜头及显示系统，所述左CCD镜头、右CCD镜头均设置于所述固定平台装置的上方，并均与所述显示系统连接。
6.如权利要求2所述的真空吸盘式对位系统，其特征在于所述X轴调节机构包括X轴固定座、第二挡块、第二支架、第二轴套、第二旋钮及第一弹簧，所述X轴固定座的上端与所述旋转固定座滑动连接，所述第一弹簧沿X轴的轴向设置于所述X轴固定座与所述旋转固定座之间，所述第二支架固定于所述X轴固定座的一端，所述第二挡块固定于所述旋转固定座上，且所述第二支架、第二挡块位于同一侧并沿X轴方向设置，所述第二旋钮穿设于所述第二支架上并与所述第二挡块连接，所述第二轴套套设于所述第二旋钮外并连接于所述第二旋钮与所述第二支架之间。
7.如权利要求6所述的真空吸盘式对位系统，其特征在于所述X轴固定座的上表面开设有X轴方向的第一滑槽及一长槽，所述长槽的一端设置有第一挡片，且所述第一挡片设置于相对所述第二支架的另一端，所述旋转固定座的下端滑动地卡合于所述第一滑槽内，且所述第一弹簧容置于所述长槽内，所述第一弹簧的一端与所述第一挡片相抵触，所述第一弹簧的另一端与所述旋转固定座相抵触。
8.如权利要求6所述的真空吸盘式对位系统，其特征在于所述Y轴调节机构包括Y轴固定座、第三挡块、第三支架、第三轴套、第三旋钮及第二弹簧，所述Y轴固定座的上端与所述X轴固定座的下端滑动连接，所述第二弹簧沿Y轴的轴向设置于所述Y轴固定座与所述X轴固定座之间，所述第三支架固定于所述Y轴固定座的一端，所述第三挡块固定于所述X轴固定座上，且所述第三支架、第三挡块位于同一侧并沿Y轴方向设置，所述第三旋钮穿设于所述第三支架上并与所述第三挡块连接，所述第三轴套套设于所述第三旋钮外并连接于所述第三支架与所述第三挡块之间。
9.如权利要求8所述的真空吸盘式对位系统，其特征在于所述Y轴固定座的上表面开设有Y轴方向的第二滑槽及第二容置槽，所述第二容置槽的一端设置有第二挡片，且所述第二挡片设置于相对所述第三支架的另一端，所述第二弹簧容置于所述第二容置槽内，且所述第二弹簧的一端与所述第二挡片相抵触，所述X轴固定座的下端滑动地卡合于所述第二滑槽内，且所述X轴固定座与所述第二弹簧的另一端相抵触。
10.如权利要求8所述的真空吸盘式对位系统，其特征在于所述Z轴调节机构包括升降台、齿条、齿轮及高度旋钮，所述升降台与所述Y轴固定座的下表面固定连接，所述齿条固定于所述升降台的侧壁上，所述底座上凸伸出与所述升降台的侧壁相对应的连接板，所述高度旋钮连接于所述连接板上，所述齿轮连接于所述高度旋钮的一端并与所述齿轮相啮口 o
全文摘要
本发明公开一种真空吸盘式对位系统，其固定平台装置、旋转平台装置上均开设有气孔，对位调节装置包括X轴调节机构、Y轴调节机构及Z轴调节机构，旋转平台装置沿X轴方向滑动地连接于X轴调节机构的上端，X轴调节机构的下端沿Y轴方向滑动地连接于Y轴调节机构的上端，Y轴调节机构的下端固定于Z轴调节机构上，Z轴调节机构沿Z轴方向活动地连接于底座上；通过抽真空系统将工件吸附于固定平台装置、旋转平台装置上，固定工件方便快捷，不需装夹避免损坏工件表面；对位调节装置可高效地调节X轴、Y轴、Z轴方向的位置，旋转平台装置可绕Z轴旋转，调节方便快捷，精确实现不同高度且非接触的两工件的对位，采用CCD对位装置，对位精度高且操作方便。
文档编号H01L21/68GK102683505SQ201210154719
公开日2012年9月19日 申请日期2012年5月17日 优先权日2012年5月17日
发明者刘惠森, 杨顺先, 邓小明, 郭业祥 申请人:东莞宏威数码机械有限公司