一种扩散用石英挡板的制作方法

文档序号:7122211阅读:306来源:国知局
专利名称:一种扩散用石英挡板的制作方法
技术领域
本实用新型涉及一种太阳能电池制作工段夹具技术领域,具体涉及一种扩散用石英挡板,用于太阳能电池制作过程中的扩散工序。
背景技术
晶体硅太阳能电池制作工艺包括制绒、扩散、刻蚀、沉积减反射膜、印刷电极等步骤,扩散步骤一般采用石英舟作为承载工具。在目前太阳能电池扩散过程中,为了提高扩散均匀性、降低不良率,一般会在石英舟两端放置3-5片硅片作为阻挡片,挡片一般12个小时更换一次,这样一天一个炉管用6-10片;而且挡片重复利用,会作为局部磷源使与之靠近的正常片受到污染,这样不但降低了其转化效率,同时还使合格率下降。
发明内容本实用新型的目的就是针对上述存在的缺陷而提供一种扩散用石英挡板,用于太阳能电池制作过程中的扩散工序。该扩散挡板能够提高扩散后硅片方阻均匀性,提高产品质量及合格率,而且操作简单,易于清洗可重复长期使用。本实用新型的一种扩散用石英挡板技术方案为包括两页石英板、连接件和卡勾,两页石英板四角分别由连接件连接,卡勾位于其中一页石英板的外侧面。石英板边长为125 ± Imm或156 ± 1mm。连接件长度为10-20_。石英板的下端设置有一对支脚。本实用新型的有益效果为本实用新型的扩散挡板包括两页石英板、连接件和卡勾,两页石英板四角分别由连接件连接,卡勾位于其中一页石英板的外侧面。卡勾与支脚可将该扩散挡板固定在石英舟上,该扩散挡板可重复利用,不会会作为局部磷源使与之靠近的正常片受到污染,能够提高扩散后硅片方阻均匀性,提高产品质量及合格率,而且操作简单,易于清洗可重复长期使用。


图I所示为本实用新型的扩散挡板结构示意图;图2所示为本实用新型的扩散挡板应用于石英舟上。图中,I.石英板,2.连接件,3.卡勾,4.支脚。
具体实施方式
为了更好地理解本实用新型,下面结合具体实例来详细说明本实用新型的技术方案,但是本实用新型并不局限于此。本实用新型的一种扩散用石英挡板技术方案为包括两页石英板I、连接件2和卡勾3,两页石英板I四角分别由连接件2连接,卡勾3位于其中一页石英板I的外侧面。石英板边长为125 ± Imm或156 ± 1mm。[0018]连接件长度为10-20_。石英板I的下端设置有一对支脚4。该扩散挡板能够提高扩散后硅片方阻均匀性,提高产品质量及合格率,而且操作简单,易于清洗可重复长期使用。
权利要求1.一种扩散用石英挡板,其特征在于,包括两页石英板、连接件和卡勾,两页石英板四 角分别由连接件连接,卡勾位于其中一页石英板的外侧面。
2.根据权利要求1所述的一种扩散用石英挡板,其特征在于,石英板边长为125±lmm 或 156 + 1mnin
3.根据权利要求1所述的一种扩散用石英挡板,其特征在于,连接件长度为10-20_。
4.根据权利要求1所述的一种扩散用石英挡板,其特征在于,石英板的下端设置有一 对支脚。
专利摘要本实用新型涉及一种太阳能电池制作工段夹具,具体涉及一种扩散用石英挡板,包括两页石英板、连接件和卡勾,两页石英板四角分别由连接件连接,卡勾位于其中一页石英板的外侧面。该扩散挡板能够提高扩散后硅片方阻均匀性,提高产品质量及合格率,而且操作简单,易于清洗可重复长期使用。
文档编号H01L31/18GK202772165SQ20122029122
公开日2013年3月6日 申请日期2012年6月20日 优先权日2012年6月20日
发明者任现坤, 张春艳, 姜言森, 张黎明, 刘鹏, 李刚, 徐振华, 程亮, 贾河顺, 李宝理, 王光利, 杜敏, 孙继峰, 马继磊 申请人:山东力诺太阳能电力股份有限公司
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