专利名称：输送晶圆用抓取升降装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种输送晶圆用抓取升降装置。
背景技术：
晶圆生产过程中，需要采用多种工艺进行处理。处理工艺多是在专用设备内进行。如润湿处理，需在润湿槽内进行。电镀需要在电镀槽内进行。而现有技术中，将湿晶圆放入或取出处理装置的一系列工序都需人工操作，一方面会降低生产效率，提高生产成本，另一方面也会因人工操作不当导致晶圆的损坏，降低生产合格率。同时，人工操作所需空间大，空间利用率低。人工操作的另一个弊端是劳动强度大，效率低，无法满足大规模生产的需要。人工操作还会导致工人接触电镀液或润湿液而危害工人身体健康。
实用新型内容本实用新型的目的是为了克服现有技术中的不足，提供一种自动高效的输送晶圆用抓取升降装置。为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案实现:输送晶圆用抓取升降装置，其特征在于，包括抓取装置及升降装置；所述抓取装置与升降装置连接，用于抓取所述晶圆存放槽；所述升降装置可升降地设置，用于带动所述抓取装置进行升降运动。优选地是，还包括用于存放晶圆的晶圆存放槽。优选地是，所述升降装置包括:固定基板；升降驱动装置，所述升降驱动机设置在固定基板上，用于提供升降驱动力；传动装置，所述传动装置用于传递升降驱动力；所述升降驱动装置与所述抓取装置通过传动装置传动连接，升降驱动装置通过传动装置驱动抓取装置升降。优选地是，所述升降装置还包括用于在抓取装置升降时导向的导向装置；所述导向装置与固定基板和抓取装置连接。优选地是，所述导向装置包括导轨和滑块，所述滑块设置于导轨上且可沿导轨升降；所述导轨安装于固定基板上，所述滑块与抓取装置连接和传动装置连接。优选地是，所述导轨数目为两根，滑块为两个；每个导轨上设置一个滑块，两个滑块均与升降基座连接；升降基座与传动装置连接。优选地是，所述升降装置还包括感应限位装置，所述感应限位装置设置在所述固定基板上，用于感应所述抓取装置是否到达指定位置，并在抓取装置到达指定位置后发出电信号。优选地是，所述升降 驱动装置为电机。[0018]优选地是，所述传动装置为传动带、传动链、传动齿轮、丝杆螺母中任意一种。优选地是，所述抓取装置包括两个抓手，所述两个抓手可相向移动或相背移动地设置；所述两个抓手相向移动时夹持所述晶圆存放槽。优选地是，所述抓取装置还包括抓取驱动装置，所述抓取驱动装置与至少一个所述抓手连接，驱动至少一个往复运动。优选地是，所述抓取驱动装置为第一气缸；所述第一气缸设置有第一活塞杆；至少一个所述抓手与所述第一气缸的活塞杆连接。优选地是，所述至少一个抓手设置有夹持槽，所述夹持槽朝向另一个抓手。优选地是，还包括用于存放晶圆的晶圆存放槽；所述夹持槽的侧壁设有第一导向斜面；所述晶体存放槽设有第二导向斜面；所述第一导向斜面与所述第二导向斜面相对应。优选地是，所述晶圆存放槽设有抓取提手，所述抓取提手顶部设有卡位件，所述卡位件沿水平方向突出所述抓取提手顶部。优选地是，所述 抓取提手设置有第二导向斜面。本实用新型中的输送晶圆用抓取升降装置，通过抓取装置及升降装置的结合实现了一系列工序的自动化运行，大大提升了工作效率，节省了人工成本，提高了生产合格率。抓取升降装置，避免了在晶圆运送过程中因人工操作不当导致的晶圆损坏，提高了生产效率及生产合格率，同时也消除了人工操作中工人接触电镀液而危害工人身体健康的可能性；其中，抓取装置较人工操作更加稳定，提高了生产稳定性；升降装置，可以将人工操作所占用的水平空间转换为竖直空间，缩小了生产使用空间，大大提高了生产装置的空间利用率。
图1为本实用新型的输送晶圆用抓取升降装置立体结构示意图。图2为本实用新型中的升降装置立体结构示意图。图3为本实用新型中的抓取装置张开状态立体结构示意图。图4为本实用新型中的抓取装置闭合状态立体结构示意图。图5为本实用新型中的抓取装置抓手立体结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型进行详细的描述:如图1所示，为输送晶圆用抓取升降装置，包括升降装置21及抓取装置22 ;抓取装置22与升降装置21连接，升降装置21做可升降设置，并带动抓取装置22做升降运动。如图1所示，输送晶圆用抓取升降装置还包括晶圆存放槽1，用于存放晶圆，实现晶圆进行批量润湿处理。如图2所示，升降装置21，包括固定基板218、传动装置212及升降驱动装置211 ；升降驱动装置211设置在固定基板218上，用于提供升降驱动力；传动装置212将升降驱动装置211与抓取装置22传动连接，用于带动抓取装置做升降运动。其中，驱动装置211为电机，传动装置212为传动带，传动带一端与电机连接，另一端与设置在固定基板218的定滑轮214连接，通过电机驱动传动带传动。传动装置还可选用传动链、传动齿轮或丝杠螺母起到传动作用。如图2所示，升降装置21还包括导向装置，包括导轨215及滑块219，滑块219设置于导轨215上且可沿导轨215升降；所述导轨215安装于固定基板218上，滑块219与抓取装置22连接并和传动装置212连接。其中导轨215数量为两个，对称设置在固定基板218上，每个导轨215上设置有一个滑块219，且两滑块219均与升降基座213连接，升降基座213通过夹具216与传动装置212连接，当升降驱动装置211驱动传动装置212升降传动时，升降基座213跟随传动装置212 —起做升降运动。如图2所示，升降装置21还包括感应限位装置217，感应限位装置217设置在固定基板218上，并处于升降基座213的下方，用于感应升降基座213是否到达指定位置。其中，感应限位装置为激光测距传感器，其激光发射口与润湿装置3开口边缘水平平齐，在升降基座213做升降运动过程中，实时测量升降基座215与润湿装置3开口边缘的竖直距离，当升降基座213升降至指定位置时，发送电信号至晶圆润湿装置的控制中心，使升降驱动装置211停止驱动，从而避免升降基座213在升降过程中与其他装置发生碰撞，或是脱离导轨 215。如图3所示,为晶圆润湿装置的抓取装置22,包括两个抓手224,两个抓手224可相向移动或相背移动，且相向移动时夹持晶圆存放槽I。如图3所示，抓取装置22还包括抓取驱动装置222 ;抓取驱动装置222与抓手224连接，提供抓手224的张开闭合驱动力。如图3，抓取驱动装置222为第一双作用气缸，并设置有双作用活塞杆223，双作用活塞杆223至少与一个抓手223连接，通过活塞杆223的伸缩带动抓手224做相向移动或相背移动。如图2所示，双作用气缸2 22固定在挂臂221上，挂臂221与升降基座213连接，从而实现抓取装置22跟随升降装置21做升降运动。如图3、图5所示，抓手224设置有夹持槽2242，且两抓手224的夹持槽2242相对设置，抓手224在夹持槽2242侧壁设有第一导向斜面2241 ;晶圆存放槽I设有与第一导向斜面2241对应的第二导向斜面111，保证抓手224在闭合时稳定抓取晶圆存放槽I。如图4所不，晶圆存放槽I设置有抓取提手11，抓取提手11的顶部设有卡位件12,卡位件12沿水平方向突出抓取提手11顶部边缘，当抓手224闭合抓住抓取提手11时，卡位件12边缘被抓手224顶部托起，避免了抓手224与抓取提手11之间产生相对滑动。其中，抓取提手11设有第二导向斜面111。待处理晶圆放置在晶圆存放槽I内，晶圆存放槽放置在输送晶圆用抓取装置下方。将抓手224移动至与晶圆存放槽I的提手11同一高度。启动抓取驱动装置222，两个抓手相向移动，夹持住提手11。抓手224设有第一导向斜面2241，保证在抓取晶圆存放槽I时，能够稳定闭合，保证了输送晶圆的稳定性。抓取装置22抓取晶圆存放槽I后，通过升降装置21带动抓取装置22做下降运动，并通过感应限位器217感应晶圆存放槽是否下降至处理装置内，若到达，感应限位器217发送电信号至处理装置控制中心，命令升降驱动装置停止驱动，这样就避免了晶圆存放槽I在下降过程中与其他装置发生碰撞而造成损坏；晶圆存放槽I安全降至处理装置底部后，抓手224张开脱离抓取提手11，升降装置21带动抓取装置22升至输送晶圆用抓取升降装置顶部。抓取装置22升至输送晶圆用抓取升降装置顶部后，对晶圆进行处理；处理完毕后，升降装置21再次带动抓取装置22下降并抓取晶圆存放槽1，将处理完毕的晶圆提升出处理装置，并通过自动流水线的传输带传输至下一道工序。到此输送晶圆用抓取升降装置的一个工作周期完成，并自动进入下一工作周期。本实用新型 中的实施例仅用于对本实用新型进行说明，并不构成对权利要求范围的限制，本领域内技术人员可以想到的其他实质上等同的替代，均在本实用新型保护范围内。
权利要求1.输送晶圆用抓取升降装置，其特征在于，包括抓取装置及升降装置；所述抓取装置与升降装置连接，用于抓取所述晶圆存放槽；所述升降装置可升降地设置，用于带动所述抓取装置进行升降运动。
2.根据权利要求1所述的输送晶圆用抓取升降装置，其特征在于，还包括用于存放晶圆的晶圆存放槽。
3.根据权利要求2所述的输送晶圆用抓取升降装置，其特征在于，所述升降装置包括: 固定基板； 升降驱动装置，所述升降驱动机设置在固定基板上，用于提供升降驱动力； 传动装置，所述传动装置用于传递升降驱动力； 所述升降驱动装置与所述抓取装置通过传动装置传动连接，升降驱动装置通过传动装置驱动抓取装置升降。
4.根据权利要求3所述的输送晶圆用抓取升降装置，其特征在于，所述升降装置还包括用于在抓取装置升降时导向的导向装置；所述导向装置与固定基板和抓取装置连接。
5.根据权利要求4所述的输送晶圆用抓取升降装置，其特征在于，所述导向装置包括导轨和滑块，所述滑块设置于导轨上且可沿导轨升降；所述导轨安装于固定基板上，所述滑块与抓取装置连接和传动 装置连接。
6.根据权利要求4所述的输送晶圆用抓取升降装置，其特征在于，所述导轨数目为两根，滑块为两个；每个导轨上设置一个滑块，两个滑块均与升降基座连接；升降基座与传动装置连接。
7.根据权利要求3所述的输送晶圆用抓取升降装置，其特征在于，所述升降装置还包括感应限位装置，所述感应限位装置设置在所述固定基板上，用于感应所述抓取装置是否到达指定位置，并在所述抓取装置到达指定位置后发出电信号。
8.根据权利要求3所述的输送晶圆用抓取升降装置，其特征在于，所述升降驱动装置为电机。
9.根据权利要求3所述的输送晶圆用抓取升降装置，其特征在于，所述传动装置为传动带、传动链、传动齿轮、丝杆螺母中任意一种。
10.根据权利要求1所述的输送晶圆用抓取升降装置，其特征在于，所述抓取装置包括两个抓手，所述两个抓手可相向移动或相背移动地设置；所述两个抓手相向移动时夹持所述晶圆存放槽。
11.根据权利要求10所述的输送晶圆用抓取升降装置，其特征在于，所述抓取装置还包括抓取驱动装置，所述抓取驱动装置与至少一个所述抓手连接，驱动至少一个往复运动。
12.根据权利要求11所述的输送晶圆用抓取升降装置，其特征在于，所述抓取驱动装置为第一气缸；所述第一气缸设置有第一活塞杆；至少一个所述抓手与所述第一气缸的活塞杆连接。
13.根据权利要求10所述的输送晶圆用抓取升降装置，其特征在于，所述至少一个抓手设置有夹持槽，所述夹持槽朝向另一个抓手。
14.根据权利要求13所述的输送晶圆用抓取升降装置，其特征在于，还包括用于存放晶圆的晶圆存放槽；所述夹持槽的侧壁设有第一导向斜面；所述晶体存放槽设有第二导向斜面；所述第一导向斜面与所述第二导向斜面相对应。
15.根据权利要求2或14所述的输送晶圆用抓取升降装置，其特征在于，所述晶圆存放槽设有抓取提手，所述抓取提手顶部设有卡位件，所述卡位件沿水平方向突出所述抓取提手顶部。
16.根据权利要求15所述的输送晶圆用抓取升降装置，其特征在于，所述抓取提手设置有第二导向斜 面。
专利摘要本实用新型公开了一种输送晶圆用抓取升降装置，其特征在于，包括抓取装置及升降装置；所述抓取装置与升降装置连接，用于抓取所述晶圆存放槽；所述升降装置可升降地设置，用于带动所述抓取装置进行升降运动。本实用新型中的输送晶圆用抓取升降装置，通过抓取装置及升降装置的结合实现了一系列工序的自动化运行，大大提升了工作效率，节省了人工成本，提高了生产合格率。
文档编号H01L21/677GK203118923SQ201220749818
公开日2013年8月7日 申请日期2012年12月31日 优先权日2012年12月31日
发明者陈概礼, 刘红兵, 程鹏, 黄春杰 申请人:上海新阳半导体材料股份有限公司