技术总结
本揭示案的实施例大体关于真空处理腔室，这些真空处理腔室具有不同泵送要求且经由单个前级真空管线连接至共享泵送系统。在一个实施例中，真空处理腔室包括耦接至单个高传导前级真空管线的高传导泵送管道及低传导泵送管道。在另一实施例中，多个非平衡腔室组可藉由最终的前级真空管线连接至公共泵送系统。
技术研发人员：A·帕尔;M·J·萨里纳斯;J·A·里;P·B·路透;I·优素福
受保护的技术使用者：应用材料公司
文档号码：201280008689
技术研发日：2012.02.29
技术公布日：2017.05.31