提供深度分辨图像的带电粒子显微镜的制作方法与工艺

技术特征：
1.一种利用带电粒子显微镜检查样本的方法，包括以下步骤：-将样本安置在样本保持器上；-使用粒子-光学柱将至少一个微粒辐射束引导到样本的表面S上，由此产生相互作用，该相互作用导致从样本发出发射辐射；-使用检测器装置检测所述发射辐射的至少一部分，其特征在于以下步骤：-包含所述检测器装置以检测发射辐射中的电子；-将所述检测器装置的输出On记录为所述电子的动能En的函数，从而汇集针对En的多个值的测量结果集合M={（On，En）}；-使用计算机处理设备对测量结果集合M自动地去卷积，并将其空间分解为结果集合R={（Vk，Lk)}，其中空间变量V展示出在以表面S为参考的关联离散深度水平Lk处的值Vk，由此n和k是整数序列的成员，并且空间变量V代表样本的作为在样本体积内的位置的函数的物理性质。2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述检测器装置被包含以同时地检查多个离散的能量值En，使得通过同时地获取测量结果集合M的组成数据对（On，En）而汇集测量结果集合M。3.根据权利要求1所述的方法，其中，所述检测器装置被包含以依次地检查多个离散的能量值En，使得通过依次地获取测量结果集合M的组成数据对（On，En）而汇集测量结果集合M。4.根据权利要求1至3中的任一项所述的方法，其中，所述检测器装置包括选自包括以下各项的组的至少一个检测组件：-偏转场设备，其用于将具有混合能量的输入电子束转换成能量分辨的子束阵列；-选择电力网，其能够被供电至给定电势，从而充当用于在电力网处被引导的电子通量的高通滤波器；-多通道计数器，其采用其中电流被撞击在材料上的电子激励的半导体材料，由此，对这样测量的电流值进行分类和计数。5.根据权利要求1至3中的任一项所述的方法，其中，所述电子选自包括反向散射电子、二次电子及其组合的组。6.根据权利要求1至3中的任一项所述的方法，其中，所述去卷积是借助于选自包括以下各项的组的数学技术执行的：-最小偏差法；-最大熵法；-最大后验法；-线性去卷积法。7.根据权利要求6所述的方法，其中，测量结果集合M的所述去卷积和空间分解是通过在向检测模型施加约束的同时使所述检测模型与测量结果集合M之间的统计偏差最小化来执行的，其中假设所述统计偏差遭受噪声模型。8.根据权利要求7所述的方法，其中，以包括以下步骤的方式自动地处理测量结果集合M:-定义点扩散函数，其对于n的每个值而言具有核值Kn，该核值Kn表示针对电子能量值En的由检测器装置所感知的样本体积中的所述微粒辐射束的性质；-定义成像量，所述成像量对于n的每个值而言具有值Qn，值Qn是Kn和V的多维卷积，使得Qn=Kn*V；-对于n的每个值而言，以计算方式确定On与Qn之间的最小偏差minD(On║Kn*V)其中，在对值Kn施加约束的同时针对V进行求解。9.根据权利要求6所述的方法，其中利用最大熵技术，在最大熵技术中根据选自包括以下各项的组的熵Ent(V(x))定义体素位置x处的空间变量V(x)：-香农熵，;-Burg熵，。10.根据权利要求7-8中的任一项所述的方法，其中，所述噪声模型包括泊松噪声和高斯噪声中的至少一个。11.根据权利要求6所述的方法，其中，在执行所述去卷积时利用正则化项。12.根据权利要求1-3中的任一项所述的方法，其中：-汇集测量结果集合M并将其以数学方式转换成相应的结果集合R的所述步骤被包括在计算切片步骤中；-将所述计算切片步骤与物理切片步骤相组合，由此，使用物理材料去除方法来从样本的原始表面物理地去除一层材料，从而显示出样本的新暴露的表面。13.一种带电粒子显微镜，包括：-样本保持器，其用于保持样本；-粒子-光学柱，其用于将至少一个微粒辐射束引导到样本的表面S上，由此产生相互作用，该相互作用导致从样本发出发射辐射；-检测器装置，其用于检测包括电子的所述发射辐射的至少一部分，其特征在于所述显微镜还包括：-电子存储器，其用于将所述检测器装置的输出On记录为所述电子的动能En的函数，从而汇集针对En的多个值的测量结果集合M={（On，En）}；-计算机处理设备，其用于对测量结果集合M自动地去卷积并将其空间分解为结果集合R={（Vk，Lk)}，其中空间变量V展示出在以表面S为参考的关联离散深度水平Lk处的值Vk，由此n和k是整数序列的成员，并且空间变量V代表样本的作为在样本体积内的位置的函数的物理性质。