Oled面板减薄装置、减薄系统及减薄方法
【专利摘要】本发明公开了一种OLED面板减薄装置、减薄系统及减薄方法，本发明的OLED面板减薄装置主要包括旋转机架、流体导管及旋转机架腔，旋转机架固定安装于旋转机架腔内，流体导管的端口位于旋转机架中心位置的正上方，其原理是通过旋转机架旋转产生的离心力使刻蚀液由OLED面板的中心向外均匀扩散，进而实现OLED面板的刻蚀和减薄；本发明还公开了基于该OLED面板减薄装置的OLED面板减薄方法，该减薄装置及方法克服了浸泡式减薄中刻蚀液因污染造成减薄品质降低的不足，同时克服了喷淋式减薄中易形成凹点、刻蚀厚度不均等问题。
【专利说明】OLED面板减薄装置、减薄系统及减薄方法
【技术领域】
[0001]本发明属于OLED显示【技术领域】，具体涉及一种OLED面板减薄装置、减薄系统及减
薄方法。
【背景技术】
[0002]平板显示技术的不断发展要求OLED显示屏更轻更薄。受到制造工艺的限制，OLED基板玻璃的厚度已经无法做到更薄，因此，目前的减薄技术一般是待OLED面板完成封装后再进行刻蚀减薄。常用的刻蚀减薄技术主要分为浸泡式减薄和喷淋式减薄，浸泡式减薄是指将多张完成封装的OLED面板同时置于刻蚀液中浸泡一定时间达到减薄的方法，其不足在于OLED面板的刻蚀物易造成刻蚀液的污染，被污染的刻蚀液会降低后面刻蚀的OLED面板的减薄品质；喷淋式减薄是指采用均匀流动的刻蚀液对OLED面板进行减薄，这种方法克服了因刻蚀液污染造成的减薄质量下降，但是该方法中受喷头位置和OLED面板尺寸的影响，被刻蚀的OLED面板易产生凹点且面板很难达到厚度均匀的效果。此外，浸泡式减薄和喷淋式减薄均只适用于小尺寸OLED面板的减薄，当OLED面板推进到大尺寸后，这两种技术方案较难与前后工艺进行衔接且较难实现自动化。
【发明内容】
[0003]本发明的目的在于克服现有技术中的上述问题，提供一种适用于大尺寸OLED面板且自动化程度高的减薄装置及减薄系统。
[0004]为解决上述技术问题，本发明采用以下技术方案:
[0005]一种OLED面板减薄装置，包括旋转机架、流体导管及旋转机架腔，旋转机架固定安装于旋转机架腔内，流体导管的端口位于旋转机架中心位置的正上方。
[0006]进一步地，所述旋转机架包括底座和固定连接在底座上、两两夹角相等的四条支撑臂。
[0007]进一步地，所述OLED面板减薄装置还包括护盖，所述护盖与旋转机架腔铰接，所述液体导管固定在护盖的下表面上。
[0008]进一步地，所述OLED面板减薄装置还包括均匀分布于护盖上的热风喷口。
[0009]进一步地，所述护盖的开启与闭合由旋转气缸控制。
[0010]进一步地，所述旋转机架腔的底部设置有排液口。
[0011 ] 进一步地，所述旋转机架由变频电机驱动。
[0012]进一步地，一种基于所述OLED面板减薄装置的OLED面板减薄方法，包括以下步骤:
[0013]S1:将OLED面板放置于OLED面板减薄装置旋转机架的四条支撑臂上；
[0014]S2:闭合护盖并打开排液口 ；
[0015]S3:开启变频电机，进行OLED面板的减薄，具体包括以下两个阶段:
[0016]第一阶段:清洗OLED面板，主要包括以下步骤:31)旋转机架在变频电机驱动下开始加速旋转，进入预设中速状态后保持匀速；32)开启去离子水进行面板清洗，清洗设定时间后关闭去离子水；33)调节变频电机使旋转机架进入预设匀速高速旋转状态，通过高速旋转的方式甩干残留在OLED面板表面的去离子水；第二阶段:刻蚀OLED面板，主要包括以下步骤:34)根据工艺要求，调节变频电机使旋转机架进入预设低速状态；35)开启刻蚀液，在低速状态下使刻蚀液从OLED面板中心向外均匀扩散，达到工艺设定时间后，关闭刻蚀液；36)调节变频电机使旋转机架进入预设中速刻蚀甩干阶段甩干残留在OLED面板表面的刻蚀液；37)打开位于护盖上的热风喷口对刻蚀后的OLED面板进行吹干，与此同时，旋转机架的转速逐步下降至零；
[0017]S4:开启护盖，取出完成减薄的OLED面板。
[0018]进一步地，一种基于所述OLED面板减薄装置的OLED减薄系统，包括若干台并行排列的OLED面板减薄装置、无人搬运车(Automated Guided Vehicle,AGV)、关节机器人、关节机器人轨道和用于放置OLED面板的卡匣，其中，并行排列的OLED面板减薄装置、AGV和机器人轨道平行排列且机器人轨道位于并行排列的OLED面板减薄装置和AGV之间，关节机器人位于关节机器人轨道上并沿关节机器人轨道运动，卡匣放置于AGV上。
[0019]进一步地，所述关节机器人的末端为带有真空吸附盘的叉臂。
[0020]进一步地，一种基于所述OLED面板减薄系统的OLED面板减薄方法，包括以下步骤:
[0021]S1:在每个卡匣内放置若干张OLED面板，将装有OLED面板的卡匣放置于无人搬运车上备用；
[0022]S2:位于第一个OLED面板减薄装置相应位置的关节机器人通过末端设置的带有真空吸附盘的叉臂从位于无人搬运车上的卡匣中抓取一张OLED面板并将该OLED面板放置于第一个OLED面板减薄装置中进行减薄；
[0023]S3:待上一个OLED面板减薄装置的护盖闭合后，关节机器人在机器人轨道前进至下一个OLED面板减薄装置的相应位置，关节机器人通过末端设置的带有真空吸附盘的叉臂从位于无人搬运车上的卡匣中再次抓取一张OLED面板并将该OLED面板放置于相应的OLED面板减薄装置中进行减薄；
[0024]S4:重复S3若干次至所有的OLED面板减薄装置都进入减薄过程，关节机器人返回至第一个OLED面板减薄装置的相应位置；
[0025]S5:待第一个OLED面板减薄装置中的OLED面板完成减薄后，位于第一个OLED面板减薄装置相应位置的关节机器人通过末端设置的带有真空吸附盘的叉臂将减薄后的OLED面板取出并放置于位于无人搬运车上的空的卡匣里；
[0026]S6:关节机器人沿机器人轨道前进至下一个OLED面板减薄装置的相应位置，待OLED面板完成减薄后，关节机器人通过末端设置的带有真空吸附盘的叉臂将刻蚀后的OLED面板取出并放置于位于无人搬运车上的空的卡匣里；
[0027]S7:重复S6若干次，直至取出所有的OLED面板减薄装置中完成减薄的OLED面板，完成一轮自动化减薄过程。
[0028]与现有技术相比，本发明的有益效果是:
[0029](I)本发明的OLED面板减薄装置通过旋转机架旋转产生的离心力使刻蚀液从OLED面板的中心向外均匀扩散，实现OLED面板减薄的目的，克服了浸泡式减薄中刻蚀液被污染的不足，同时，因为刻蚀液的流动受离心力控制，离心力越大，刻蚀液的流速越快，OLED面板受刻蚀作用越均匀，减薄也越均匀，克服了喷淋式减薄中易形成凹点、刻蚀厚度不均等问题；
[0030](2)本发明的OLED面板减薄装置通过护盖的设置保证了减薄过程旋转机架腔内的密闭性，防止了刻蚀过程中飞溅的液体溅出腔外造成环境污染；
[0031](3)本发明的OLED面板减薄装置还通过旋转机架腔底部设置的排液口及时将刻蚀后的刻蚀液排出，防止了其对OLED面板的减薄品质的影响；
[0032](4)本发明的OLED面板减薄装置的旋转机架由变频电机驱动，便于调整和控制旋转机架的转速，进而控制离心力的大小，保证刻蚀的均匀性；
[0033](5 )本发明还提供了 一种基于所述OLED面板减薄装置的OLED减薄系统，该系统利用减薄时间和机器人装卸OLED面板所需时间的不同，采用错时并行运行的方式实现OLED面板的自动化减薄；
[0034](6)本发明的OLED面板减薄装置及基于所述OLED面板减薄装置的OLED面板减薄系统非常适用于大尺寸的OLED面板，且操作简便，便于在业内推广使用。
【专利附图】
【附图说明】
[0035]图1为本发明的OLED面板减薄装置的结构示意图；
[0036]图2为本发明的OLED面板减薄装置完成一次减薄的速度控制图；
[0037]图3为本发明的OLED面板减薄系统的结构示意图。
【具体实施方式】
[0038]为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。
[0039]如图1所示，本实施例中的OLED面板减薄装置包括旋转机架1、流体导管2及旋转机架腔3，旋转机架I固定安装于旋转机架腔3内，流体导管2的端口位于旋转机架I中心位置的正上方，减薄时，将OLED面板固定于旋转机架I上。为了便于放置OLED面板、调节OLED面板的水平度和保证OLED面板的中心与旋转机架I的中心重合，本实施例中的旋转机架I包括底座11和固定连接在底座11上、两两夹角相等的四条支撑臂12。
[0040]为了防止减薄过程中飞溅的液体溅出旋转机架腔3造成环境污染，本实施例中的OLED面板减薄装置还包括护盖4，护盖4与旋转机架腔3铰接，可以实现开启和闭合，为了便于控制和保证减薄过程中旋转机架腔3的密闭性，这里护盖4的开合由旋转气缸控制，为了准确定位流体导管2的位置，将流体导管2固定于护盖4的下表面上。
[0041]为了防止刻蚀过的刻蚀液留在旋转机架腔3内部，降低OLED面板的刻蚀质量，本实施例中的OLED面板减薄装置的旋转机架腔3的底部设置有排液口 31。
[0042]为了加快刻蚀后面板的干燥，提高减薄效率，本实施例中的OLED面板减薄装置还包括均匀分布于护盖4上的热风喷口 41。
[0043]为了便于调整旋转机架I的转速，满足刻蚀过程不同的转速要求，本实施例中的旋转机架I由变频电机驱动。[0044]基于本实施例所述的OLED面板减薄装置的OLED面板减薄方法主要包括以下步骤:
[0045]S1:将OLED面板放置于OLED面板减薄装置旋转机架I的四条支撑臂12上；
[0046]S2:闭合护盖4并打开排液口 31 ；
[0047]S3:开启变频电机，进行OLED面板的减薄，减薄过程中旋转机架I的转速控制如图2所示，减薄过程分为以下两个阶段:
[0048]第一阶段:清洗OLED面板，主要包括以下步骤:31)旋转机架I在变频电机驱动下开始加速旋转，进入预设中速状态a后保持匀速；32)开启去离子水进行面板清洗，清洗设定时间后关闭去离子水；33)调节变频电机使旋转机架I进入预设匀速高速旋转状态b，通过高速旋转的方式甩干残留在OLED面板表面的去离子水；第二阶段:刻蚀OLED面板，主要包括以下步骤:34)根据工艺要求，调节变频电机使旋转机架I进入预设低速状态c ；35)开启刻蚀液，在低速状态下使刻蚀液从OLED面板中心均匀向外扩散，达到工艺设定时间后，关闭刻蚀液；36)调节变频电机使旋转机架I进入预设中速刻蚀甩干阶段d甩干残留在OLED面板表面的刻蚀液；37)打开位于护盖4上的热风喷口 41对刻蚀后的OLED面板进行吹干，与此同时，旋转机架I的转速逐步下降至零；
[0049]S4:开启护盖4，取出完成减薄的OLED面板。
[0050]本实施例还提供了一种基于所述OLED面板减薄装置的OLED减薄系统，如图3所示，该系统包括若干台并行排列的OLED面板减薄装置5、AGV6、关节机器人7、关节机器人轨道71和用于放置OLED面板的卡匣8，其中，并行排列的OLED面板减薄装置5、AGV6和机器人轨道71平行排列且机器人轨道71位于并行排列的OLED面板减薄装置5和AGV6之间，关节机器人7位于关节机器人轨道71上并沿关节机器人轨道71运动，卡匣8放置于AGV6上。
[0051]为了防止装载卸载过程中OLED面板的滑落，这里关节机器人7的末端为带有真空吸附盘的叉臂72。
[0052]基于本实施例所述的OLED面板减薄系统的OLED面板减薄方法主要包括以下步骤:
[0053]S1:在每个卡匣8内放置20张OLED面板，将装有OLED面板的卡匣8放置于AGV6上备用;
[0054]S2:位于第一个OLED面板减薄装置5相应位置的关节机器人7通过其末端设置的带有真空吸附盘的叉臂72从位于AGV6上的卡匣8中抓取一张OLED面板并将该OLED面板放置于第一个OLED面板减薄装置5中进行减薄；
[0055]S3:待上一个OLED面板减薄装置5的护盖4闭合后，关节机器人7在机器人轨道
71前进至下一个OLED面板减薄装置5的相应位置，关节机器人7通过其末端设置的带有真空吸附盘的叉臂72从位于AGV6上的卡匣8中再次抓取一张OLED面板并将该OLED面板放置于相应的OLED面板减薄装置5中进行减薄；
[0056]S4:重复S3若干次至所有的OLED面板减薄装置5都进入减薄过程，关节机器人7返回至第一个OLED面板减薄装置5的相应位置；
[0057]S5:待第一个OLED面板减薄装置5中的OLED面板完成减薄后,位于其相应位置的关节机器人7通过其末端设置的带有真空吸附盘的叉臂72将减薄后的OLED面板取出并放置于位于AGV6上的空的卡匣8里；
[0058]S6:关节机器人7沿机器人轨道71前进至下一个OLED面板减薄装置5的相应位置，待其内的OLED面板完成减薄后，关节机器人7通过其末端设置的带有真空吸附盘的叉臂72将刻蚀后的OLED面板取出并放置于位于AGV6上的空的卡匣8里；
[0059]S7:重复S6若干次，直至取出所有的OLED面板减薄装置5中完成减薄的OLED面板，完成一轮自动化减薄过程。
[0060]上述过程中，由于OLED面板的平均减薄时间为40分钟作用，而关节机器人7装载卸载OLED面板的时间为15秒左右，因此可以采用错时并行运行的方式使用一台关节机器人7对应多台OLED面板减薄装置5，还可以通过进一步地优化设计，充分利用二者的时间差，计算出一台关节机器人7所对应的OLED面板减薄装置5的台数，以进一步提高刻蚀效率。
[0061]本领域的普通技术人员将会意识到，这里所述的实施例是为了帮助读者理解本发明的原理，应被理解为本发明的保护范围并不局限于这样的特别陈述和实施例。本领域的普通技术人员可以根据本发明公开的这些技术启示做出各种不脱离本发明实质的其它各种具体变形和组合，这些变形和组合仍然在本发明的保护范围内。
【权利要求】
1.一种OLED面板减薄装置，其特征在于:包括旋转机架、流体导管及旋转机架腔，旋转机架固定安装于旋转机架腔内，流体导管的端口位于旋转机架中心位置的正上方。
2.根据权利要求1所述的OLED面板减薄装置，其特征在于:所述旋转机架包括底座和固定连接在底座上、两两夹角相等的四条支撑臂。
3.根据权利要求1或2所述的OLED面板减薄装置，其特征在于:还包括护盖，所述护盖与旋转机架腔铰接，所述液体导管固定在护盖的下表面上。
4.根据权利要求3所述的OLED面板减薄装置，其特征在于:还包括均匀分布于护盖上的热风喷口。
5.根据权利要求1所述的OLED面板减薄装置，其特征在于:所述旋转机架腔的底部设置有排液口。
6.根据权利要求1所述的OLED面板减薄装置，其特征在于:所述旋转机架由变频电机驱动。
7.一种基于权利要求1至6任一项权利要求所述的OLED面板减薄装置的OLED面板减薄方法，其特征在于:包括以下步骤: S1:将OLED面板放置于OLED面板减薄装置旋转机架的四条支撑臂上； S2:闭合护盖并打开排液口 ； 53:开启变频电机，进行OLED面板的减薄，具体包括以下两个阶段: 第一阶段:清洗OLED面板，主要包括以下步骤:31)旋转机架在变频电机驱动下开始加速旋转，进入预设中速状态后保持匀速；32)开启去离子水进行面板清洗，清洗设定时间后关闭去离子水；33)调节变频电机使旋转机架进入预设匀速高速旋转状态，通过高速旋转的方式甩干残留在OLED面板表面的去离子水；第二阶段:刻蚀OLED面板，主要包括以下步骤:34)根据工艺要求，调节变频电机使旋转机架进入预设低速状态；35)开启刻蚀液，在低速状态下使刻蚀液从OLED面板中心向外均匀扩散，达到工艺设定时间后，关闭刻蚀液；36)调节变频电机使旋转机架进入预设中速刻蚀甩干阶段甩干残留在OLED面板表面的刻蚀液；37)打开位于护盖上的热风喷口对刻蚀后的OLED面板进行吹干，与此同时，旋转机架的转速逐步下降至零； 54:开启护盖，取出完成减薄的OLED面板。
8.一种基于权利要求1至6任一项权利要求所述的OLED面板减薄装置的OLED减薄系统，其特征在于:包括若干台并行排列的OLED面板减薄装置、无人搬运车、关节机器人、关节机器人轨道和用于放置OLED面板的卡匣，其中，并行排列的OLED面板减薄装置、无人搬运车和机器人轨道平行排列且机器人轨道位于并行排列的OLED面板减薄装置和无人搬运车之间，关节机器人位于关节机器人轨道上并沿关节机器人轨道运动，卡匣放置于无人搬运车上。
9.根据权利要求8所述的OLED减薄系统，其特征在于:所述关节机器人的末端为带有真空吸附盘的叉臂。
10.一种基于权利要求8或9所述的OLED面板减薄系统的OLED面板减薄方法，其特征在于:包括以下步骤: S1:在每个卡匣内放置若干张OLED面板，将装有OLED面板的卡匣放置于无人搬运车上备用;52:位于第一个OLED面板减薄装置相应位置的关节机器人通过末端设置的带有真空吸附盘的叉臂从位于无人搬运车上的卡匣中抓取一张OLED面板并将该OLED面板放置于第一个OLED面板减薄装置中进行减薄； 53:待上一个OLED面板减薄装置的护盖闭合后，关节机器人在机器人轨道前进至下一个OLED面板减薄装置的相应位置，关节机器人通过末端设置的带有真空吸附盘的叉臂从位于无人搬运车上的卡匣中再次抓取一张OLED面板并将该OLED面板放置于相应的OLED面板减薄装置中进行减薄； 54:重复S3若干次至所有的OLED面板减薄装置都进入减薄过程，关节机器人返回至第一个OLED面板减薄装置的相应位置； 55:待第一个OLED面板减薄装置中的OLED面板完成减薄后，位于第一个OLED面板减薄装置相应位置的关节机器人通过末端设置的带有真空吸附盘的叉臂将减薄后的OLED面板取出并放置于位于无人搬运车上的空的卡匣里； 56:关节机器人沿机器人轨道前进至下一个OLED面板减薄装置的相应位置，待OLED面板完成减薄后，关节机器人通过末端设置的带有真空吸附盘的叉臂将刻蚀后的OLED面板取出并放置于位于无人搬运车上的空的卡匣里； 57:重复S6若干次，直至取出所有的OLED面板减薄装置中完成减薄的OLED面板，完成一轮自动化减 薄过程。
【文档编号】H01L27/32GK103456766SQ201310439051
【公开日】2013年12月18日 申请日期:2013年9月24日 优先权日:2013年9月24日
【发明者】向欣, 任海, 黄 俊, 敬启毓, 唐元刚, 何江 申请人:四川虹视显示技术有限公司