专利名称：一种太阳电池清洗设备的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及太阳电池制造领域，特别涉及一种太阳电池清洗设备。
背景技术：
在晶硅太阳电池的制造过程中，包含有清洗、扩散、刻蚀、等离子增强化学气相沉积(即PECVD)镀膜、丝网印刷等多道工序。扩散完成的硅片，经刻蚀上料处通过滚轮传送方式进入到清洗设备中进行湿法刻蚀，通过相应化学品的处理后，再通过传送滚轮传送到清洗设备出口，此时的硅片完成了磷硅玻璃的去除与硅片边缘PN节的刻通。现有技术中太阳电池在完成湿法刻蚀和清洗后，先通过下料人员使用真空吸笔从传送滚轮上吸取硅片且将其插置到承载盒中，然后通过推车等工具移送到镀减反膜等下道工序，下道工序在进行作业时需先通过真空吸笔将承载盒中的硅片吸取出来并插置到石墨舟中。上述将完成刻蚀的硅片转移至石墨舟上的过程存在着以下诸多问题:(I)、造成重复的搬运及插片动作，容易产生报废品；(2)、人力成本和物料成本均较高；(3)、过程复杂生产效率较低；(4)、操作人员从持续转动的主动滚轮上吸取硅片存在着需及时吸取的问题，加重了操作人员的操作强度。因此，如何提供一种太阳电池清洗设备以解决上述多次插片所造成的效率较低和人员和物料成本较高的问题，并降低操作人员的工作强度，已成为业界亟待解决的技术问题。
实用新型内容本实用新型的目的是要提供一种太阳电池清洗设备，通过所述清洗设备可提高效率，降低人力和物料成本，并降低操作人员的工作强度。为实现上述目的，本实用新型提供一种太阳电池清洗设备，包括用于将完成清洗的硅片传送出来且分别位于设备内侧和外侧的内主动滚轮和外主动滚轮，所述清洗设备还包括从动滚轮和作业台，所述从动滚轮通过多条传送带连接在外主动滚轮上且在外主动滚轮的带动下转动，所述从动滚轮的设置位置高于所述外主动滚轮，所述传送带将外主动滚轮传送过来的硅片传送至作业台。在一较佳实施例中,所述作业台比所述从动滚轮顶部低O 5mm,所述作业台的边缘邻接所述从动滚轮。在一较佳实施例中，所述太阳电池清洗设备为刻蚀机台，其用于去除扩散后硅片上的磷硅玻璃和边缘的PN结。在一较佳实施例中，所述石墨舟设置在作业台上，通过操作人员或机械臂将传送带上或作业台上的硅片插设到石墨舟内。在一较佳 实施例中，所述外主动滚轮和从动滚轮上对应开设有凹槽，所述传送带设置在对应的凹槽中。[0012]在一较佳实施例中，所述传送带的设置数量确保每片硅片在传送带上传送时，至少通过两条传送带传送，所述太阳电池为125mmX 125mm或156mmX 156mm的太阳电池。与现有技术中先将刻蚀清洗后的硅片插置到承载盒中运送到镀减反膜工序再将承载盒中的硅片转移至石墨舟中相比，本实用新型的太阳电池清洗设备在其传送刻蚀清洗完的硅片的外主动滚轮边缘设置高于其的从动滚轮，并通过传送带将外主动滚轮和从动滚轮连接，另在从动滚轮边缘设置作业台，硅片可直接传送到作业台上，石墨舟设置在作业台上，操作人员可直接将传送至作业台上或传送带的硅片插制于石墨舟中，从而有效提高了作业效率，降低人力和物料成本，并降低了操作人员的作业强度。
图1为本实用新型的太阳电池清洗设备的组成结构示意图。
具体实施方式
下面结合具体实施例及附图来详细说明本实用新型的目的及功效。参见图1，本实用新型的太阳电池清洗设备 具有内主动滚轮10、外主动滚轮12、从动滚轮2、传送带3和作业台4。在本实施例中，所述太阳电池清洗设备为刻蚀机台，其用于去除扩散后硅片上的磷硅玻璃和边缘的PN结。以下对本实用新型的太阳电池清洗设备的主要构件进行详细说明。所述内主动滚轮10和外主动滚轮12用于将完成清洗的硅片5传送出来且分别位于设备的内侧和外侧 '，所述从动滚轮2通过所述传送带3连接在外主动滚轮12上且在其带动下转动，所述外主动滚轮12和从动滚轮2上对应开设有凹槽120和20，所述传送带3设置在对应的凹槽120和20中。所述从动滚轮2的设置位置高于所述外主动滚轮12，所述传送带3将外主动滚轮12传送过来的硅片5传送至作业台4。所述传送带3的设置数量确保每片娃片5在传送带3上传送时,至少通过两条传送带传送,所述太阳电池为125_X 125mm或156mmX 156mm的太阳电池。所述作业台4比所述从动滚轮2顶部低O 5mm,所述作业台4的边缘邻接所述从动滚轮2。所述石墨舟6设置在作业台4上，通过操作人员或机械臂将传送带3上或作业台4上的娃片5插设到石墨舟6内。为详细说明本实用新型的作用与功效，以在本实用新型的太阳电池清洗设备中去除125_X 125mm的硅片5上的磷硅玻璃和边缘PN结，后续再将所述硅片5设置在石墨舟6中进行后续PECVD工艺镀氮化硅膜为例进行说明，当将硅片5设置在太阳电池清洗设备中时，通过滚轮传送方式将硅片5传输至清洗槽中，且通过硝酸和氢氟酸的混合溶液去除扩散后硅片5上的磷硅玻璃和边缘的PN结，之后通过内主动滚轮10将完成清洗且干燥的硅片5传送出来并传送至外传送滚轮12和传送带3上，操作人员可通过真空吸笔直接从传送带3上吸取硅片5，较佳的可等到硅片5通过传送带3传送到作业台4上后再吸取硅片5并将其放置到作业台4上的石墨舟6的对应位置。综上所述，本实用新型的太阳电池清洗设备包括用于将完成清洗的硅片5传送出来且分别位于设备内侧和外侧的内主动滚轮10和外主动滚轮12，所述清洗设备还包括从动滚轮2和作业台4，所述从动滚轮2通过多条传送带3连接在外主动滚轮12上且在外主动滚轮12的带动下转动，所述从动滚轮2的设置位置高于所述外主动滚轮12，所述传送带3将外主动滚轮12传送过来的硅片5传送至作业台4，石墨舟6设置在作业台4上，操作人员可直接将传送至作业台4上或传送带3的硅片5插制于石墨舟6中，从而有效提高了作业效率，降低人力和物料成本，并`降低了操作人员的作业强度。
权利要求1.一种太阳电池清洗设备，包括用于将完成清洗的硅片传送出来且分别位于设备内侧和外侧的内主动滚轮和外主动滚轮，其特征在于，所述清洗设备还包括从动滚轮和作业台，所述从动滚轮通过多条传送带连接在外主动滚轮上且在外主动滚轮的带动下转动，所述从动滚轮的设置位置高于所述外主动滚轮，所述传送带将外主动滚轮传送过来的硅片传送至作业台。
2.根据权利要求1所述的太阳电池清洗设备，其特征在于，所述作业台比所述从动滚轮顶部低O 5mm,所述作业台的边缘邻接所述从动滚轮。
3.根据权利要求1所述的太阳电池清洗设备，其特征在于，所述太阳电池清洗设备为刻蚀机台，其用于去除扩散后硅片上的磷硅玻璃和边缘的PN结。
4.根据权利要求1所述的太阳电池清洗设备，其特征在于，所述石墨舟设置在作业台上，通过操作人员或机械臂将传送带上或作业台上的硅片插设到石墨舟内。
5.根据权利要求1所述的太阳电池清洗设备，其特征在于，所述外主动滚轮和从动滚轮上对应开设有凹槽， 所述传送带设置在对应的凹槽中。
6.根据权利要求1所述的太阳电池清洗设备，其特征在于，所述传送带的设置数量确保每片娃片在传送带上传送时，至少通过两条传送带传送，所述太阳电池为125mmX 125mm或156mmX 156mm 的太阳电池。
专利摘要本实用新型提供一种太阳电池清洗设备。现有技术先将刻蚀清洗后的硅片插置到承载盒中运送到镀减反膜工序再将承载盒中的硅片转移至石墨舟中，存在重复插取硅片的问题，从而导致作业效率低、碎片率高和操作人员作业强度高等诸多问题。本实用新型的太阳电池清洗设备包括用于将完成清洗的硅片传送出来且分别位于设备内侧和外侧的内主动滚轮和外主动滚轮，还包括从动滚轮和作业台，所述从动滚轮通过多条传送带连接在外主动滚轮上且在外主动滚轮的带动下转动，所述从动滚轮的设置位置高于所述外主动滚轮，所述传送带将外主动滚轮传送过来的硅片传送至作业台。本实用新型可有效提高作业效率，降低人力和物料成本，并有效降低操作人员的作业强度。
文档编号H01L31/18GK203134842SQ20132004251
公开日2013年8月14日 申请日期2013年1月23日 优先权日2013年1月23日
发明者沈永胜, 操江流 申请人:尚德太阳能电力有限公司, 无锡尚德太阳能电力有限公司