具有增强的伽玛辐射灵敏度的固态辐射探测器的制造方法
【专利摘要】一种碳化硅肖特基二极管固态辐射探测器，其具有放置在肖特基接触部上并与其间隔开的例如铂的电子施主层，以贡献从铂层到探测器有源区域的高能量的康普顿和光电电子，从而增强来自入射伽玛辐射的带电粒子的聚集。
【专利说明】具有增强的伽玛辐射灵敏度的固态辐射探测器 相关申请的交叉引用
[0001] 本申请按照35U.S.C. § 119(e)要求于2012年4月25日提交的、名称为"具有增 强的伽玛辐射的碳化硅辐射探测器"的临时申请序列号No. 61/637,的4的优先权。
【技术领域】
[0002] 本发明涉及辐射探测器，以及更具体来说，涉及具有改进的伽玛辐射灵敏度的固 态辐射探测器。
【背景技术】
[0003] 传统中子探测器典型地包含作为电离室（ionization chambers)或比例计数器 (proportional counters)工作的器件，这两种器件都使用中子活性气体如BF3或He。一 旦吸收中子，这样的气体就释放高能反应粒子。这些粒子在周围气体中产生电离，该电离被 适当偏置的电极探测到。其他的探测器用例如 6Li、1QB或235U的固态中子活性材料涂覆电离 室的壁。这些材料也会吸收中子并释放产生电离的粒子。
[0004] 最近以来，已经应用探测横跨半导体结的电子-空穴对的固态中子探测器。电 子-空穴对由膜内的作为中子吸收的结果而形成的反应粒子或结合到探测器内的中子活 性材料的掺杂物产生。也已知使用碳化硅（SiC)肖特基二极管作为固态辐射探测器来测量 带电粒子的电离辐射可以提供优于其他类型辐射探测器（例如离子室GeLi探测器等）的 优点，特别是在高温环境和高伽玛辐射环境中。由于碳化硅探测器非常小，因此它们能够安 装或插入到其他探测器类型不能配置的地方。虽然目前的碳化硅探测器的实施例会产生与 入射伽玛辐射成比例的信号，但是相对于对带电粒子撞击到器件有源区域上的响应，这个 信号响应非常小。
[0005]存在这样的应用，在该应用中，伽玛辐射场的强度和能量谱在高温或限制访问区 域中很重要。这种情形的不例是表征在福岛现场（Fukushima site)的被损坏的反应堆周 围和内部的辐射场所需要的辐射监控（surveillance)。本发明提供改进的碳化硅辐射探测 器设计，能够实现与肖特基二极管固态辐射探测器相关的当前所有优点，这包含增强探测 器的探测能力的修正，并且表征来自核能发电中最重要的放射性同位素的入射伽玛辐射的 能量。
【发明内容】
[0006]伽玛辐射灵敏度的改善是通过利用具有有源半导体区域和位于有源半导体区域 的至少一部分上的肖特基接触部的肖特基二极管来实现。与入射伽玛辐射反应的康普顿 (Compton)与光电子源材料层与源材料的源原子周围的电子相互作用来产生高能量的康普 顿（Compton)和光电电子以贯穿有源区，康普顿（ Compton)和光电子源材料层以距离可控 可变的间隔而被支撑在肖特基接触部上，该间隔通过具有可忽略的电导率的低的有效原子 序数的流体（如空气）来填充，该间隔介于源材料和肖特基接触部表面之间。根据需要调 整流体间隔的组成和从肖特基接触部表面起的源层的距离，以实现用于所寻求探测的特殊 伽玛辐射能量的探测器有源区域内的最大电荷沉积速率。辐射探测器和测量领域的技术人 员使用的这个探测器将使得用户能够确定特殊放射性同位素的分配和相对量，如核反应堆 中裂变份额（fission fragment)所特有的同位素。
[0007] 优选地，康普顿（Compton)和光电子源材料选自铂或原子序数类似于或高于怕的 其他源材料，这些材料将产生会贯穿进探测器的有源区域并产生电离的电子。希望的是：肖 特基接触部位于包含碳化硅的有源区域上，以及康普顿（Compton)和光电子源材料层以及 在间隔中使用的材料的厚度通过使用伽玛辐射传输方法来确定，，以最大化导向将在探测 器的有源区域累积能量的肖特基接触部的光电子数，关于该伽玛辐射传输方法，例如有那 些可用于代码封装 MCNP(Los Alamos 国家安全局（Los Alamos National Security)、LLC、 Los Alamos 国家实验室（Los Alamos National Laboratory))。
[0008] 在一个实施例中，固态辐射探测器具有在给定时间内沉积在有源半导体区域上的 电荷，该电荷与入射到康普顿（Compton)和电子源材料层上的伽玛辐射能量成比例，并且 探测器的输出表示入射到探测器上的伽玛辐射的能量和强度这两者。优选地，源层之间的 间隔和间隔层的厚度控制探测器对所探测的入射辐射能量的灵敏度。优选地，间隔层的厚 度可调节以改变探测器的灵敏度。
【专利附图】
【附图说明】
[0009] 当结合附图来阅读下面优选实施例的说明时，能够获得对本发明的更进一步理 解，其中：
[0010] 图1是现有技术的碳化硅肖特基二极管辐射探测器的示意性表示；以及
[0011]图2是将铂层添加到肖特基接触部之上以增强探测器的耗尽层区域中伽玛辐射 生成的电子沉积的碳化硅肖特基二极管辐射探测器的示意性表示。
【具体实施方式】
[0012]如前面提到的，很久以来就知道使用碳化硅肖特基二极管作为固态辐射探测器来 测量带电粒子的电离辐射可以提供优于其他类型辐射探测器的优点，特别是在高温下和高 伽玛辐射环境中。此外，由于碳化硅探测器非常小，它们能够安装在或插入在其他探测器类 型不能配置的地方。虽然目前的碳化硅探测器的实施例会产生与入射伽玛辐射成比例的信 号，但是相对于对带电粒子撞击到器件有源区域上的响应，这个信号响应非常小。
[0013]示范性的现有技术的肖特基辐射探测器10在图1中示意性示出。背面欧姆接触 部12形成在碳化硅导电衬底14的一侧。碳化硅导电衬底丨4大约300微米厚，并在其相反 端部由大约3-100微米厚的碳化硅外延层16覆盖。碳化硅外延层16形成探测器的有源区 域，并在其相反端部由肖特基接触部1S覆盖，肖特基接触部18可由例如铂或金的任意的高 导电金属形成。反向偏压在有源区域I 6耗尽n，并且电离辐射在耗尽区域产生电子-空穴 对。电荷在横跨接触部而施加的电压的影响下聚集。
[0014]根据本发明的一个实施例，伽玛辐射灵敏度的增强可以通过熟练地利用在图1中 示出的现有技术的肖特基二极管辐射探测器上而获得，通过施加例如铂或其它合适的高原 子施主材料的康普顿（Compton)和光电子源材料薄层，该康普顿 （c〇mpt〇n)和光电子源材 料薄层将响应于入射的伽玛辐射，释放会贯穿有源区域的电子并且有助于有源区域14中 带电粒子的聚集。如图2中示出，康普顿（Compton)和光电子源材料20薄层（例如钼）被 放置在肖特基接触部18上的有源区域的外表面上。肖特基接触部和所添加的源层20间 的距离可调节，并且在电子施主层20和肖特基接触部I 8间优选包含具有低的有效原子序 数和可忽略导电率的流体24,如在1个大气压下、相对湿度在7〇° F(21°C )下小于或等于 20 %的性质的空气。肖特基接触部18和所添加的源层20间的距离可调节，并且可基于用 户想探测的伽玛辐射的能量范围来选择源层所用的材料和厚度。增加可调节的电子施主层 (由围绕层24的套叠套筒（telescoping sleeve)象征性地表示），例如可调节厚度和与肖 特基接触部的距离，这使得伽玛辐射与施主材料中源原子周围的电子相互反应，从而在施 主层内产生贯穿进碳化硅器件的有源区域的高能量康普顿（Compton)和光电电子。介于铂 层和肖特基接触部间的流体24的厚度控制施主电子的能量，以使得它们在有源区域中聚 集。这些特征将在探测器的有源区域产生高得多的带电沉积，而没有施主层20所贡献的高 能量康普顿（Compton)和光电电子是可能的。在固定时间量内沉积的电荷将与入射在层20 上的伽玛辐射的能量成比例，这样伽玛辐射的能量和伽玛辐射的强度这两者就能够根据对 来自碳化桂器件的电输出的合适分析来确定。
[0015] 这样，下面要求保护的器件（根据图2所描述的一个实施例22)将具有标准碳化 硅辐射探测器所有的优点，并且对被用户定义的伽玛辐射的光谱和能量更加地灵敏。相对 于目前的设计，这将使得这个装置的使用范围增加。这个器件在以下方面将更加有用，即对 在核能量设备中在正常操作期间和在意外事故情形之后引起最大关注的辐射的探测。这个 探测器将使得用户将所感兴趣的或所关注的特殊同位素释放的伽玛能量设为目标。这些器 件可能具有的小尺寸使得它们对于其中探测器必须通过小空间被插入到环境不友好或身 体不友好的环境中的应用来说是理想的。这个探测器设计通过在燃料处于乏燃料池或其他 更持久的保存位置的同时使得特殊裂变产物同位素伽玛辐射的强度可被测量，将增强执行 乏燃料监控以及对乏燃料的其他后续操作监控的能力。这将使得能够确定包含在燃料内和 事故后的环境周围的特殊核材料的量。
[0016]虽然已经详细描述了本发明的具体实施例，但是本领域技术人员将理解的是：可 以根据说明书的整个教导而进行对于这些细节的各种变形和替换。相应地，所公开的具体 实施方式仅意在说明而并非意在作为对本发明范围的限制，本发明范围由所附权利要求的 所有范围及它的任意等价物和所有等价物给出。
【权利要求】
1. 一种固态辐射探测器（22)，包含： 肖特基二极管（10)，具有有源半导体区域（16)和位于所述有源半导体区域的至少一 部分上的肖特基接触部（18); 康普顿和光电子源材料层（20)，与入射伽玛射线反应，以与源材料的源原子周围的电 子相互作用而产生贯穿进入肖特基二极管的有源区域（16)的高能量康普顿和光电电子， 所述康普顿和光电子源材料层被支撑在肖特基接触部（18)上；以及 流体层（24)，介于所述肖特基接触部（18)与所述康普顿和光电子源材料层（20)之间。
2. 权利要求1的固态辐射探测器（22)，其中康普顿和光电子源材料（20)选自怕或原 子序数基本上等于或大于铂的其他材料。
3. 权利要求2的固态辐射探测器（22)，其中所述康普顿和光电子源材料是铂。
4. 权利要求1的固态辐射探测器（22)，其中所述肖特基接触部（18)是放置在包含碳 化硅的所述有源区域（16)顶部上的层。
5. 权利要求1的固态辐射探测器（22)，其中所述康普顿和光电子源材料层（20)的厚 度用伽玛辐射传输方法来确定，以增强来自所需的入射伽玛辐射能量的光电子数，来将它 们的能量沉积在所述肖特基二级管（10)的有源区域（16)中。
6. 权利要求1的固态辐射探测器（22)，其中所述流体层（24)的厚度是用户可调的。
7. 权利要求1的固态辐射探测器（22)，其中在给定时间内沉积在所述有源半导体区域 (16)上的电荷与入射在所述康普顿和光电子源材料层（20)上的伽玛辐射能量成比例，并 且包含表示伽玛辐射能量和伽玛辐射强度这两者的电输出。
8. 权利要求1的固态辐射探测器（22)，其中位于光电子施主层（20)和肖特基接触部 (18)间的间隔内的流体（24)包含空气或有效原子序数和导电率基本上等于或小于空气的 其他材料。
9. 权利要求1的固态辐射·探测器（22)，其中间隔内的'流体（24)的厚1度控制探测器对· 所探测的辐射能量的灵敏度。
10. 权利要求9的固态辐射探测器（22)，其中位于光电子施主层（20)和肖特基接触部 (18)间的间隔内的流体（24)的厚度可调节，以改变探测器的灵敏度。
【文档编号】H01L31/0216GK104221157SQ201380019497
【公开日】2014年12月17日 申请日期:2013年4月5日 优先权日:2012年4月25日
【发明者】M·D·海尔贝尔, M·M·瓦尔特, R·W·弗拉曼宁 申请人:西屋电气有限责任公司