去psg机配酸系统的制作方法
【专利摘要】本实用新型涉及一种去PSG机配酸系统，它包括供酸罐（1），供酸罐（1）上引出供酸总管（2），供酸总管（2）上分出四根供酸支管（4），其特征在于供酸支管（4）的末端通往恒压桶（5）的进液口，恒压桶（5）的外侧引出一根恒压检测管（6），恒压检测管（6）上从下至上依次设置有低液位传感器（6.1）、中液位传感器（6.2）、高液位传感器（6.3）以及超高液位传感器（6.4），恒压桶（5）的出液口通过进酸管（7）连接去PSG机（8）上的配酸槽（9）的进液口。本实用新型去PSG机配酸系统具有能够保证去PSG机进酸量准确，保证产品质量的优点。
【专利说明】去PSG机配酸系统
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种去PSG机配酸系统。
【背景技术】
[0002]PSG (Phospho Silicate Glass)是磷娃玻璃的意思,在太阳能电池片的扩散工艺后，硅片表面会形成一层PSG，必须去除。所谓的PSG，通过氢氟酸溶液洗去。一般的去PSG机在使用时需要在其配酸槽内进行配酸。
[0003]由于初期装机时，动力提供给去PSG机，去PSG机配酸系统的供酸总管和供酸支管一样粗细，在配酸时，正常需要加酸3次，前2次因恒压桶内算量足，加酸没有问题，第3次加酸时，可能存在低液位加酸，恒压桶出酸量小于进酸量，导致最后加酸的实际量偏少配酸浓度降低，影响去PSG机的工作质量。
【发明内容】
[0004]本实用新型的目的在于克服上述不足，提供一种能够保证去PSG机进酸量准确，保证产品质量的去PSG机配酸系统。
[0005]本实用新型的目的是这样实现的:
[0006]一种去PSG机配酸系统，它包括供酸罐，供酸罐上引出供酸总管，供酸总管上分出四根供酸支管，供酸支管的末端通往恒压桶的进液口，恒压桶的外侧引出一根恒压检测管，恒压检测管的上端以及下端分别连接恒压桶的上段以及下段，恒压检测管上从下至上依次设置有低液位传感器、中液位传感器、高液位传感器以及超高液位传感器，恒压桶的出液口通过进酸管连接去PSG机上的配酸槽的进液口，所述供酸支管上设置有第一气动阀，所述进酸管上设置有第二气动阀。
[0007]与现有技术相比，本实用新型的有益效果是:
[0008]本实用新型去PSG机配酸系统具有能够保证去PSG机进酸量准确，保证产品质量的优点。
【专利附图】
【附图说明】
[0009]图1为本实用新型去PSG机配酸系统的结构示意图。
[0010]图2为本实用新型去PSG机配酸系统的供酸支管上的结构示意图。
[0011]图3为本实用新型去PSG机配酸系统的恒压桶的结构示意图。
[0012]其中:
[0013]供酸罐I
[0014]供酸总管2
[0015]输送泵3
[0016]供酸支管4
[0017]恒压桶5
[0018]恒压检测管6、低液位传感器6.1、中液位传感器6.2、高液位传感器6.3、超高液位传感器6.4
[0019]进酸管7
[0020]去PSG 机 8
[0021]配酸槽9
[0022]第一气动阀10
[0023]第二气动阀11。。
【具体实施方式】
[0024]参见图f图3，本实用新型涉及的一种去PSG机配酸系统，它包括供酸罐1，供酸罐I上引出供酸总管2，供酸总管2上设置有输送泵3，供酸总管2上分出四根供酸支管4，供酸支管4的末端通往恒压桶5的进液口，恒压桶5的外侧引出一根恒压检测管6，恒压检测管6的上端以及下端分别连接恒压桶5的上段以及下段，恒压检测管6上从下至上依次设置有低液位传感器6.1、中液位传感器6.2、高液位传感器6.3以及超高液位传感器6.4，总计四个液位感应器，恒压桶5的出液口通过进酸管7连接去PSG机8上的配酸槽9的进液口。所述供酸支管4上设置有第一气动阀10，所述进酸管7上设置有第二气动阀11。
[0025]恒压检测管6有四个液位传感器，低液位传感器6.1、中液位传感器6.2、高液位传感器6.3以及超高液位传感器6.4。四个液位感应器的信号传送至PLC，PLC可以控制两个气动阀的开合，将PLC程序修改成恒压桶内酸量必须满足恒压检测管在中液位，才能开启加酸。简单的讲，就是液位低于中液位就打开第一气动阀给恒压桶补酸，到达高液位停止补酸，恒压检测管液位一直停留在中液位和高液位中间。在配酸时，恒压检测管没有到达中液位时，点击加酸按钮，无法开启第二气动阀，直到恒压检测管到达中液位后，点击加酸按钮才有效，此方法杜绝，由恒压检测管内酸量少引起的加酸不足而导致清洗后有小白点异常。
[0026]根据目前去PSG机配酸状况，白点和水纹印率为4.5%，通过本实用新型的改进可以排除因机台加酸不足导致白点和水纹印的不良降到O。
【权利要求】
1.一种去PSG机配酸系统，它包括供酸罐(1)，供酸罐(I)上引出供酸总管(2)，供酸总管(2)上分出四根供酸支管(4)，其特征在于供酸支管(4)的末端通往恒压桶(5)的进液口，恒压桶(5)的外侧引出一根恒压检测管(6)，恒压检测管(6)的上端以及下端分别连接恒压桶(5)的上段以及下段，恒压检测管(6)上从下至上依次设置有低液位传感器(6.1)、中液位传感器(6.2)、高液位传感器(6.3)以及超高液位传感器(6.4)，恒压桶(5 )的出液口通过进酸管(7 )连接去PSG机(8 )上的配酸槽(9 )的进液口，所述供酸支管(4 )上设置有第一气动阀(10 )，所述进酸管(7 )上设置有第二气动阀(11)。
【文档编号】H01L21/67GK203950786SQ201420269990
【公开日】2014年11月19日 申请日期:2014年5月26日 优先权日:2014年5月26日
【发明者】张军虎, 周天贤, 曹允波 申请人:江阴鑫辉太阳能有限公司