一种硅片清洗废水回收再利用系统的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种硅片清洗废水回收再利用系统，包括回收装置、预清洗机、化胶槽、超声波水槽和过滤网，所述回收装置通过管道分别与预清洗机、化胶槽、超声波水槽和过滤网连接；所述回收装置包括用于向储水罐抽送硅片清洗后废水的抽水泵、储水罐和分配水泵，所述抽水泵、储水罐和分配水泵通过管道依次连接。本实用新型将清洗硅片后的废水重新收集后用于其他清洗环节，节约了用水的同时，也减少了其他清洗环节前水加温的成本，不仅提高了设备工作效率，也降低了电能的消耗，为车间降低了生产成本。
【专利说明】 一种硅片清洗废水回收再利用系统
【技术领域】
[0001]本实用涉及一种废水回收再利用系统，特别是，涉及一种硅片清洗废水回收再利用系统。
【背景技术】
[0002]硅片清洗机水浪费是很严重的，每台清洗机单耗水量为3m3/h，每台清洗机每天排放的废水约为72吨。硅片车间需要用水较多的项目大致分为三类:清洗硅片、清洗硅块、清洗设备及工装。其中清洗硅片为最后一道工序，需要的水洁净度较高，清洗硅块要求使用水的洁净度较低，清洗设备及工装主要包括过滤网的冲洗、超声波水槽、化胶槽以及预清洗设备，对水质要求不高。而且，清洗硅片后废水温度在30°C左右，正符合生产中其他清洗环节对水温的要求，直接排放造成水资源的浪费。
实用新型内容
[0003]为了克服现有技术的不足，本实用新型的目的在于提供一种硅片清洗废水回收再利用系统，将清洗硅片后的废水重新收集后用于其他清洗环节，节约了用水的同时，也减少了其他清洗环节前水加温的成本，不仅提高了设备工作效率，也降低了电能的消耗，为车间降低了生产成本。
[0004]为解决上述问题，本实用新型所采用的技术方案如下:
[0005]一种硅片清洗废水回收再利用系统，包括回收装置、预清洗机、化胶槽、超声波水槽和过滤网，所述回收装置通过管道分别与预清洗机、化胶槽、超声波水槽和过滤网连接；所述回收装置包括用于向储水罐抽送硅片清洗后废水的抽水泵、储水罐和分配水泵，所述抽水泵、储水罐和分配水泵通过管道依次连接。
[0006]优选的，所述回收装置还包括过滤器，所述过滤器设置在抽水泵前端的管道上。
[0007]优选的，所述回收装置还包括液位传感器，所述液位传感器设置在储水罐上部。
[0008]优选的，所述回收装置还包括时间继电器，所述时间继电器与液位传感器串联。
[0009]优选的，所述预清洗机、化胶槽、超声波水槽和过滤网上分别设置有控制分配水泵开闭的传感器。
[0010]相比现有技术，本实用新型的有益效果在于:
[0011]1、本实用新型将清洗硅片后的废水重新收集后用于其他清洗环节，节约了用水的同时，也减少了其他清洗环节前水加温的成本，不仅提高了设备工作效率，也降低了电能的消耗，为车间降低了生产成本；
[0012]2、本实用新型回收废水的同时对废水进行过滤,减少了废水中杂质对后续工序的影响，保证了后续工序的正常进行；
[0013]3、本实用新型将液位传感器和时间继电器串联，有效保证储水罐内水位的同时，减少了注水时水位波动对液位传感器的影响，使得废水回收装置更稳定；
[0014]4、本实用新型通过传感器控制分配水泵的开闭，实现了废水利用的自动化，大大提高了工作效率。
【专利附图】
【附图说明】
[0015]图1为本实用新型中硅片清洗废水回收再利用系统结构示意图；
[0016]其中，I为回收装置，101为抽水泵，102为储水罐，103为分配水泵，104为过滤器，105为液位传感器，106为时间继电器，2为预清洗机，3为化胶槽，4为超声波水槽，5为过滤网。
【具体实施方式】
[0017]下面结合附图和【具体实施方式】对本实用新型作进一步详细说明。
[0018]如图1所示，为硅片清洗废水回收再利用系统，包括回收装置1、预清洗机2、化胶槽3、超声波水槽4和过滤网5，回收装置I通过管道分别与预清洗机2、化胶槽3、超声波水槽4和过滤网5连接；回收装置I包括用于向储水罐102抽送硅片清洗后废水的抽水泵101、储水罐102和分配水泵103，抽水泵101、储水罐102和分配水泵103通过管道依次连接。回收装置还包括过滤器104，过滤器104设置在抽水泵101前端的管道上。回收装置I还包括液位传感器105，液位传感器105设置在储水罐102上部。所述回收装置I还包括时间继电器106，时间继电器106通过电路与液位传感器105串联，通过时间继电器的缓冲，实现了储水罐进水的连续性，避免水波对液位传感器的影响。
[0019]在一个具体实施例中，硅片清洗废水回收再利用系统的预清洗机2、化胶槽2、超声波水槽4和过滤网5上分别设置有传感器，通过传感器感应控制分配水泵的开闭，从而实现各工序的自动化控制。
[0020]使用时，抽水泵101从硅片清洗后排水的废水沟中抽取经过过滤器104过滤的废水至储水罐102，然后根据人为观察或者传感器信号，将废水经过分配水泵103分配到预清洗机2、化胶槽3、超声波水槽4和过滤网5。系统运作过程中，液位传感器105和时间继电器106相互配合，保证储水罐102内水位，达到一定高度时抽水泵101停止运行。
[0021]对本领域的技术人员来说，可根据以上描述的技术方案以及构思，做出其它各种相应的改变以及形变，而所有的这些改变以及形变都应该属于本实用新型权利要求的保护范围之内。
【权利要求】
1.一种硅片清洗废水回收再利用系统，其特征在于，包括回收装置(I)、预清洗机(2)、化胶槽(3)、超声波水槽(4)和过滤网(5)，所述回收装置(I)通过管道分别与预清洗机(2)、化胶槽(3)、超声波水槽(4)和过滤网连接(5);所述回收装置(I)包括用于向储水罐(102)抽送硅片清洗后废水的抽水泵(101)、储水罐(102)和分配水泵(103)，所述抽水泵(101)、储水罐(102)和分配水泵(103)通过管道依次连接。
2.如权利要求1所述的硅片清洗废水回收再利用系统，其特征在于，所述回收装置(I)还包括过滤器(104)，所述过滤器(104)设置在抽水泵(101)前端的管道上。
3.如权利要求1所述的硅片清洗废水回收再利用系统，其特征在于，所述回收装置(I)还包括液位传感器(105)，所述液位传感器(105)设置在储水罐(102)上部。
4.如权利要求3所述的硅片清洗废水回收再利用系统，其特征在于，所述回收装置(I)还包括时间继电器(106)，所述时间继电器(106)与液位传感器(105)串联。
5.如权利要求1-4任一项所述的硅片清洗废水回收再利用系统，其特征在于，所述预清洗机(2)、化胶槽(3)、超声波水槽(4)和过滤网(5)上分别设置有控制分配水泵(103)开闭的传感器。
【文档编号】H01L21/67GK204074597SQ201420509640
【公开日】2015年1月7日 申请日期:2014年9月5日 优先权日:2014年9月5日
【发明者】张建, 狄红祥, 靳达兴 申请人:中卫市银阳新能源有限公司