基于设备实时状态的物料调度方法及系统与流程

本发明属于微电子领域，涉及半导体加工设备，具体涉及一种基于半导体设备实时状态的物料调度方法及系统。
背景技术：
：随着半导体技术的发展，半导体加工设备越来越复杂。物料(待加工工件)在加工过程中需要在多个不同腔室之间传输，甚至还需在不同工艺进行加工处理。例如，利用分布布拉格反射镜设备加工物料时，如图1所示，物料通常需要在缓冲腔室(图中未示出)、预清洗腔室1、高温脱附去气腔室2和工艺腔室3之间传输，而且物料还可能在工艺腔室3内不同工艺位A、B、C、D之间进行传输。物料在不同腔室之间的传输是通过机械手6实现的，在不同工艺位A、B、C、D之间的传输是通过转动转盘5实现。表1示出两种物料分别在分布布拉格反射镜设备中加工时的步骤和时间参数。由表1可知，由于传输和处理物料时间不同，存在明显的瓶颈资源，这大大降低了设备的加工效率。表1为物料在分布布拉格反射镜设备的加工步骤及时间参数表参数两步工艺三步工艺预清洗腔室200s200s高温脱附腔室90s90s工艺腔室(工艺位A)135s135s工艺腔室(工艺位B)270s135s工艺腔室(工艺位C)---135s机械手取放片时间2s2s转盘旋转45°时间2s2s为此，相关技术人员提出了基于搜索树的枚举方法，其是根据预先设定的物料传输路径以及设备各部件的参数(例如机械手的传片时间)，用搜索树的方式将物料可能的所有移动顺序穷举一遍，最终选择时间最短的那个分支作为物料的移动顺序。然而，当物料的传输路径较为复杂时，搜索树产生的分支较多，在这种情况下，将物料可能的所有移动顺序穷举一遍需要消耗大量的时间，从而计算效率较低，无法满足实时计算的要求。为此，技术人员提出了通过N步分段调度策略，即给定一个搜索范围N，算法模拟N步之内系统模拟调度的结果，并对N步的分支进行评价，然后根据评价结果决定最优的路径分支作为物料的移动顺序调度的序列。虽然这个方案解决了复杂情况下算法的实时性问题，但是，该方法计算出来的结果往往并不是理论上的最优路径，加工所需时间较多，特别是对于结构和物料路径都相对简单的设备，计算结果在产能上很明显不是最优的，从而造成这与客户对设备的产能要求有一定差距。在利用表1所述两种工艺加工25片物料时，理论上的优选路径花费的时间和实际采用N步分段调度花费的时间存在较大的差距，如表2所示。表2为理论最优路径花费的时间与采用N步分段调度实际花费的时间比对表综上所述，如何设计一种在满足实时计算的前提下，能够提高计算准确性的物料调度方法是目前亟待解决的问题。技术实现要素：为解决上述技术问题，本发明提供一种基于设备实时状态的物料调度方法及系统，其能够实时获得物料的优选路径，提高计算准确性，从而提高设备的加工效率。解决上述技术问题的所采用的技术方案是提供一种基于设备实时状态的物料调度方法，其特征在于，包括以下步骤：S1，根据已确定的关键参数，预先获得最优的物料调度规则；S2，判断所有物料是否均已完成指定的传输和工艺任务，若是，则结束调度；若否，则执行步骤S3；S3，根据设备的实时状态信息逐条遍历所述物料调度规则，并根据遍历结果执行所述物料调度规则所对应的操作指令；S4，将所述设备的实时状态信息更新为所述操作指令执行完毕之后所对应的设备状态，返回步骤S2。优选的，所述关键参数，包括：预清洗时间、去气时间、所述物料在各个工艺位进行工艺的时间、机械手的取放片时间以及所述物料自当前工艺位移动至下一工艺位的传输时间。优选的，所述步骤S3进一步包括下列步骤：步骤S31，逐条结合所述设备的实时状态信息中的状态参数，遍历所述物料调度规则，直至获得所有状态参数所对应的操作指令；步骤S32，判断是否遍历全部的物料调度规则，若是，则执行所有状态参数所对应的操作指令；若否，则返回所述步骤S31。优选的，所述步骤S4进一步包括下列步骤：步骤S41，判断所有所述操作指令是否同时执行完毕，若是，则执行步骤S42；若否，则执行步骤S43；步骤S42，将所述设备的实时状态信息更新为所有操作指令执行完毕之后的设备状态，返回所述步骤S2；步骤S43，将所述设备的实时状态信息更新为先执行完毕的操作指令所对应的设备状态，以及正在执行的操作指令所对应的设备状态，返回所述步骤S2。优选的，所述设备包括装载腔室、预清洗腔室、去气腔室和工艺腔室，其中，在所述装载腔室内设置有机械手，用于在所述预清洗腔室、去气腔室和工艺腔室之间传输物料；在所述工艺腔室内、且沿其周向对称分布有多个工艺位，用于彼此独立地加工物料，并且在所述工艺腔室内还设置有转盘和圆盘，所述转盘用于通过旋转将所述物料 传输至相应的圆盘上方；所述圆盘通过升降将所述物料传输至所述工艺位或者转盘上；所述物料调度规则包括：步骤S100，获得所述设备的初始状态信息；步骤S101，更新所述机械手的状态；步骤S102，更新所述圆盘的状态；步骤S103，判断所述装载腔室是否有所述物料，同时判断所述预清洗腔室是否为空，若同时满足，则执行步骤S103-1；若不满足，则执行步骤S104；步骤S104，判断所述预清洗腔室是否加工完毕，若是，则执行步骤S105，若否，则执行步骤S104-1；步骤S105，判断所述去气腔室是否为空，若是，且所述机械手空闲，则执行步骤S106；若否，则执行步骤S105-1；步骤S106，利用所述机械手将所述物料自所述预清洗腔室传输至所述去气腔室，并更新所述预清洗腔室、所述去气腔室和所述机械手的状态；步骤S107，判断是否是结尾输出，若是，则按照结尾加工规则调度物料；若否，则执行步骤S108；所述结尾输出是指所述装载腔室没有所述物料，所述预清洗腔室和所述去气腔室已加工完毕，只有所述圆盘上还有未加工的所述物料；步骤S108，判断是否加工完毕，若是，则结束；若否，则执行步骤S101；步骤S103-1，判断所述机械手是否空闲，若是，则执行步骤S103-2；步骤S103-2，利用所述机械手将所述物料自所述装载腔室传输至所述预清洗腔室，并更新所述机械手和所述预清洗腔室的状态，然后执行步骤S107；步骤S104-1，判断所述去气腔室的工艺是否完毕，若是，且所述机械手空闲，则执行步骤S104-2；步骤S104-2，判断所述圆盘是否可用，若是，则执行步骤S104-3；步骤S104-3，利用所述机械手将物料自所述去气腔室传输至所述 工艺位，并更新所述机械手、所述去气腔室和所述工艺位的状态，然后执行步骤S107；步骤S105-1，判断所述去气腔室是否加工完毕，若是，且所述机械手空闲，则执行步骤S104-2。优选的，所述设备还包括缓存腔室；在所述步骤S104-2中，若所述圆盘不可用，则执行步骤S104-4；步骤S104-4，判断所述缓存腔室是否可用，若是，则执行步骤S104-5；步骤S104-5，所述机械手将物料自所述去气腔室传输至所述缓存腔室，并更新所述机械手、所述缓存腔室、所述去气腔室的状态，然后执行所述步骤S107。优选的，所述结尾加工规则为：判断所述圆盘是否空闲，若是，则转动所述转盘，以将未加工的物料传输至所述圆盘上方；升起所述圆盘，以将所述物料传输至相应的所述工艺位内进行加工。优选的，若所述圆盘空闲，且两个以上的所述工艺位均有未加工的物料，则同时对该未加工的物料进行加工。优选的，在所述步骤S1中，根据已确定的关键参数，基于动态规划理论，获得最优的物料调度规则。作为另一个技术方案，本发明还提供一种基于设备实时状态的物料调度系统，其包括存储单元、判断单元、调度单元、执行单元和更新单元，其中，所述存储单元用于预先存储最优的物料调度规则，所述物料调度规则根据已确定的关键参数获得；所述判断单元用于判断所有物料是否均已完成指定的传输和工艺任务，若是，则向所述调度单元发送有关结束调度的信号；若否，则向所述调度单元发送遍历信号；所述调度单元用于在接收到有关结束调度的信号时，结束调度；在接收到所述遍历信号时，根据设备的实时状态信息逐条遍历所述存储单元中的所述物料调度规则，并根据遍历结果向所述执行单元发送所述物料调度规则所对应的操作指令；所述执行单元用于执行来自所述调度单元的操作指令，并在所述操作指令执行完毕时向所述更新单 元发送信号；所述更新单元用于根据来自所述执行单元的信号将所述设备的实时状态信息更新为所述操作指令执行完毕之后所对应的设备状态，并向所述判断单元发送有关重新判断的信号。优选的，所述关键参数，包括：预清洗时间、去气时间、所述物料在各个工艺位进行工艺的时间、机械手的取放片时间以及所述物料自当前工艺位移动至下一工艺位的传输时间。优选的，所述调度单元包括遍历模块和第一判断模块，其中，所述遍历模块，用于在接收到所述遍历信号时，逐条结合所述设备的实时状态信息中的状态参数，遍历所述物料调度规则，直至获得所有状态参数所对应的操作指令；所述第一判断模块，用于判断所述遍历模块是否遍历全部的物料调度规则，若是，则控制所述遍历模块向所述执行单元发送所有状态参数所对应的操作指令；若否，则控制所述遍历模块继续遍历所述物料调度规则。优选的，所述更新单元包括更新模块和第二判断模块，其中，所述第二判断模块用于根据来自所述执行单元的信号判断所有所述操作指令是否同时执行完毕，若是，则向所述更新模块发送第一信号；若否，则向所述更新模块发送第二信号；所述更新模块用于在接收到来自所述第二判断模块的第一信号时，将所述设备的实时状态信息更新为所有操作指令执行完毕之后的设备状态，并向所述判断单元发送有关重新判断的信号；在接收到来自所述第二判断模块的第二信号时，将所述设备的实时状态信息更新为先执行完毕的操作指令所对应的设备状态，以及正在执行的操作指令所对应的设备状态，并向所述判断单元发送有关重新判断的信号。本发明具有以下有益效果：本发明提供的基于设备实时状态的物料调度方法，其通过预先在线下根据已确定的关键参数，获得最优的物料调度规则，之后在线上调度时，根据设备的实时状态信息逐条遍历该物料调度规则，并根据遍历结果执行物料调度规则所对应的操作指令。这种线下获得物料调度规则，线上结合设备的实时状态信息匹配物料调度规则的方式，不仅可以实时获得物料的优选路径，而且还可以提高计算准确性，从 而可以提高设备的加工效率。本发明提供的基于设备实时状态的物料调度系统，通过借助存储单元预先存储最优的物料调度规则，并借助调度单元在线根据设备的实时状态信息逐条遍历该物料调度规则，并根据遍历结果控制执行单元执行物料调度规则所对应的操作指令，不仅可以实时获得物料的优选路径，而且还可以提高计算准确性，从而可以提高设备的加工效率。附图说明图1为典型的分布布拉格反射镜设备的结构示意图；图2为本发明第一实施例提供的基于设备实时状态的物料调度方法的流程图；图3为本发明第二实施例提供的基于设备实时状态的物料调度方法的流程图；以及图4为本发明第二实施例中物料调度规则的示意图；图5为本发明实施例提供的基于设备实时状态的物料调度系统的原理框图。具体实施方式为使本领域的技术人员更好地理解本发明的技术方案，下面结合附图对本发明提供的基于设备实时状态的物料调度方法及系统进行详细描述。图2为本发明第一实施例提供的基于设备实时状态的物料调度方法的流程图。请参阅图2，该物料调度方法包括以下步骤：S1，根据已确定的关键参数，预先获得最优的物料调度规则；S2，判断所有物料是否均已完成指定的传输和工艺任务，若是，则结束调度；若否，则执行步骤S3；S3，根据设备的实时状态信息逐条遍历物料调度规则，并根据遍历结果执行物料调度规则所对应的操作指令；S4，将设备的实时状态信息更新为操作指令执行完毕之后所对应 的设备状态，返回步骤S2。步骤S1是在线下进行的，且在该步骤S1中，物料调度规则是指在整个工艺过程中物料的传送顺序。在实际应用中，由于传输和加工物料的时间不同，因而存在明显的瓶颈资源，而且设备往往又是同时对多片物料同时进行连续加工，因此，如何安排物料的传送顺序，以及工艺腔室中每个工艺位进行工艺的起始时间等等(即，设定最优的物料调度规则)是提高设备产能的重要因素。此外，上述物料调度规则是根据已确定的关键参数而制定，该关键参数具体包括：预清洗时间、去气时间、物料在各个工艺位进行工艺的时间、机械手的取放片时间以及物料自当前工艺位移动至下一工艺位的传输时间等等。优选的，根据上述关键参数，基于动态规划理论(类似数学模型)获得最优的物料调度规则，以达到提高设备产能的目的。在步骤S3中，设备的实时状态信息是指诸如腔室、机械手等的当前工作状态，其包含有多条状态参数，例如腔室是否有物料、腔室是否加工完毕、机械手是否空闲等等。通过预先在线下根据已确定的关键参数，预先获得最优的物料调度规则，之后在线上调度时，根据设备的实时状态信息逐条遍历该物料调度规则，并根据遍历结果执行物料调度规则所对应的操作指令。这种线下获得物料调度规则，线上结合设备的实时状态信息匹配物料调度规则的方式，不仅可以实时获得物料的优选路径，而且还可以提高计算准确性，从而可以提高设备的加工效率。图3为本发明第二实施例提供的基于设备实时状态的物料调度方法的流程图。请参阅图3，该物料调度方法包括以下步骤：S11，根据已确定的关键参数，预先获得最优的物料调度规则；S12，判断所有物料是否均已完成指定的传输和工艺任务，若是，结束调度；否则，执行步骤S13；S13，逐条结合设备的实时状态信息中的状态参数，遍历物料调度规则，直至获得所有状态参数所对应的操作指令；S14，判断是否遍历全部的物料调度规则，若是，则执行步骤S15；若否，则返回步骤S13；S15，执行所有状态参数所对应的操作指令；S16，判断所有操作指令是否同时执行完毕；若是，则执行步骤S17；若否，则执行步骤S18；S17，将设备的实时状态信息更新为所有操作指令执行完毕之后的设备状态，返回步骤S12；S18，将设备的实时状态信息更新为先执行完毕的操作指令所对应的设备状态，以及正在执行的操作指令所对应的设备状态，返回步骤S12。在步骤S13中，设备的实时状态信息包含有多条状态参数，针对每条状态参数遍历物料调度规则，以获得所有状态参数所对应的操作指令。而且，在前一条状态参数遍历物料调度规则完毕，并获得对应的操作指令之后，并不立即执行该操作指令，而仅是存储，待获得了所有状态参数所对应的操作指令之后，再一并执行。由于所有操作指令的执行完毕时间存在两种情况，即，第一种情况是所有操作指令同时执行完毕；第二种情况是所有操作指令中有先执行完毕的操作指令。因此，步骤S16是对上述两种不同的情况进行判断，并对设备的状态进行更新。若是第一种情况，则执行步骤S17；若是第二种情况，则执行步骤S18。下面以图1所示的分布布拉格反射镜设备为例，对本发明实施例中的物料调度规则进行详细描述。具体地，该设备包括装载腔室、预清洗腔室、去气腔室和工艺腔室，其中，在该装载腔室内设置有机械手，用于在预清洗腔室、去气腔室和工艺腔室之间传输物料。在工艺腔室内、且沿其周向对称分布有多个工艺位，用于彼此独立地加工物料，并且在该工艺腔室内还设置有转盘和圆盘，其中，转盘用于通过旋转物料传输至相应的圆盘上方；圆盘通过升降将该物料传输至工艺位内或者转盘上。进一步说，圆盘一一对应地位于各个工艺位的下方。在转盘上设置有沿其周向均匀分布的多个用于承载物料的承载位，机械手在指定的取放片位置将物料传递至该转盘上的各个承载位上。通过旋转转盘，可以使各个承载位一一对应地旋转至各个圆盘的上方，然后通过升起 各个圆盘，而一一对应地托起转盘各个承载位上的物料，并将其传输至工艺位进行工艺，待工艺完毕之后，通过降低圆盘，而使物料重新被传递至转盘上，然后通过旋转转盘将该物料旋转至指定的取放片位置，并由机械手取出。图4为本发明中以分布布拉格反射镜设备为例，计算得到的物料调度规则的示意图。请参阅图4，物料调度规则包括：步骤S100，获得设备的初始状态信息。该设备的初始状态信息包括各个腔室是否存在物料、物料的加工状态(未加工、正在加工和已加工)、机械手的状态(空闲和传输)、转盘的状态(旋转、未旋转)和圆盘的状态(是否空闲)等等。步骤S101，更新机械手的状态。步骤S102，更新所述转盘的状态；步骤S103，判断装载腔室是否有物料，同时判断预清洗腔室是否为空，若同时满足，则执行步骤S103-1；若不满足，则执行步骤S104；步骤S104，判断预清洗腔室是否加工完毕，若是，则执行步骤S105，若否，则执行步骤S104-1；步骤S105，判断去气腔室是否为空，若是，且机械手空闲，则执行步骤S106；若否，则执行步骤S105-1；步骤S106，利用机械手将物料自预清洗腔室传输至去气腔室，并更新预清洗腔室、去气腔室和机械手的状态；步骤S107，判断是否是结尾输出，若是，则按照结尾加工规则调度物料；若否，则执行步骤S108；该结尾输出是指装载腔室没有物料，预清洗腔室和去气腔室已加工完毕，只有圆盘上还有未加工的物料；步骤S108，判断是否加工完毕，若是，则结束；若否，则执行步骤S101；步骤S103-1，判断机械手是否空闲，若是，则执行步骤S103-2；步骤S103-2，利用机械手将物料自装载腔室传输至预清洗腔室，并更新机械手和预清洗腔室的状态，然后执行步骤S107；步骤S104-1，判断去气腔室的工艺是否完毕，若是，且机械手空闲，则执行步骤S104-2；步骤S104-2，判断圆盘是否可用，若是，则执行步骤S104-3；步骤S104-3，利用机械手将物料自去气腔室传输至工艺位，并更新机械手、去气腔室和工艺位的状态，然后执行步骤S107；步骤S105-1，判断去气腔室是否加工完毕，若是，且机械手空闲，则执行步骤S104-2。在步骤S101中，根据机械手的传输起始时间、传输对象和当前时间，判断机械手的传输过程是否结束，并根据判断结果更新机械手的状态。上述械手的传输起始时间和传输对象可以记录在机械手的状态变量中。在步骤S102中，根据物料加工的起始时间、物料加工所需时长和当前时间，判断物料加工是否完毕，并根据判断结果更新圆盘的状态；以及，根据转盘的旋转起始时间、旋转所需时长和当前时间，判断转盘旋转是否完毕，并根据判断结果更新圆盘的状态。进一步说，若圆盘处于空闲状态，即转盘未转动，同时圆盘未在加工位置，在这种情况下，若第一个工艺位中有未加工的物料，则开始加工。若圆盘处于空闲状态，同时转盘上的取放片位置有待加工的物料，在这种情况下，首先旋转转盘，以使将该物料旋转至第一个工艺位的下方，并利用圆盘将该物料升起至该第一个工艺位内；然后，判断在转盘旋转完毕之后，转盘上位于第二个工艺位下方的承载位上是否有待加工的物料，若有，则利用圆盘将该物料升起至该第二个工艺位内，并且第一个工艺位和第二个工艺位同时进行加工，且加工时间取两个工艺位的加工时间中最长的一个。若没有，则只有第一个工艺位进行加工。若圆盘处于空闲状态，同时转盘上第一个承载位(即取放片位置)上有已加工完毕的物料，则利用机械手将该物料取出，并更新机械手的状态和圆盘的状态。在步骤S107中，结尾加工规则可以为：判断圆盘是否空闲，若是，则转动转盘，以将未加工的物料传输至圆盘上方；升起该圆盘，以将物料传输至该圆盘上方的工艺位内进行加工。进一步说，若圆盘处于空闲状态，同时在转盘上位于第二个工艺位下方的承载位上有待加工或者已加工完毕的物料，则旋转转盘。若第一个工艺位和第二工艺位 内均有待加工的物料，则二者同时进行加工，且加工时间取两个工艺位的加工时间中最长的一个。若只有第二个工艺位内有待加工的物料，则开始加工，加工时间即为第二个工艺位的工艺时间。针对其他情况，只要转盘上还有物料，则旋转转盘；若转盘上没有物料，则表示加工完毕，停止程序。需要说明的是，本实施例是以两个工艺位的加工方式为例，但是本发明并不局限于此，在实际应用中，三个以上工艺位的加工方式与两个工艺位相类似。优选的，若设备还包括缓存腔室，则物料调度规则还包括：在上述步骤S104-2中，若圆盘不可用，则执行步骤S104-4；步骤S104-4，判断缓存腔室是否可用，若是，则执行步骤S104-5；步骤S104-5，机械手将物料自去气腔室传输至缓存腔室，并更新机械手、缓存腔室、去气腔室的状态，然后执行步骤S107。以上为基于分布布拉格反射镜设备，通过线下计算得到的物料调度规则。将上述物料调度规则导入设备的控制系统，该系统根据设备的实时状态信息逐条遍历物料调度规则，并根据遍历结果执行物料调度规则所对应的操作指令，直至判断所有物料是否均已完成指定的传输和工艺任务。这种线下获得物料调度规则，线上结合设备的实时状态信息匹配物料调度规则的方式，不仅可以实时获得物料的优选路径，而且还可以提高计算准确性，从而可以提高设备的加工效率。相应于本发明的基于设备实时状态的物料调度方法，本发明还提供一种基于设备实时状态的物料调度系统，图5为本发明实施例提供的基于设备实时状态的物料调度系统的原理框图。请参阅图5，物料调度系统包括存储单元100、判断单元200、调度单元300、执行单元400和更新单元500，其中，存储单元100用于预先存储最优的物料调度规则，该物料调度规则的制定是在线下进行的，并根据已确定的关键参数获得，然后存入存储单元100中。物料调度规则和关键参数在上述物料调度方法中已有了详细描述，在此不再赘述。判断单元200用于判断所有物料是否均已完成指定的传输和工艺任务，若是，则向调度单元300发送有关结束调度的信号；若否，则向调度单元300发送遍历信号。调度单元300用于在接收到有关结束 调度的信号时，结束调度；在接收到遍历信号时，根据设备的实时状态信息逐条遍历存储单元100中的物料调度规则，并根据遍历结果向执行单元400发送物料调度规则所对应的操作指令。执行单元400用于执行来自调度单元300的操作指令，并在该操作指令执行完毕时向更新单元500发送信号。更新单元500用于根据来自执行单元400的信号将设备的实时状态信息更新为操作指令执行完毕之后所对应的设备状态，并向判断单元200发送有关重新判断的信号。通过借助存储单元100预先存储最优的物料调度规则，并借助调度单元300在线根据设备的实时状态信息逐条遍历该物料调度规则，并根据遍历结果控制执行单元400执行物料调度规则所对应的操作指令，不仅可以实时获得物料的优选路径，而且还可以提高计算准确性，从而可以提高设备的加工效率。优选的，调度单元300进一步包括遍历模块301和第一判断模块302，其中，遍历模块301用于在接收到来自判断单元200的遍历信号时，逐条结合设备的实时状态信息中的状态参数，遍历物料调度规则，直至获得所有状态参数所对应的操作指令。第一判断模块302用于判断遍历模块301是否遍历全部的物料调度规则，若是，则控制遍历模块301向执行单元400发送所有状态参数所对应的操作指令；若否，则控制遍历模块301继续遍历物料调度规则。设备的实时状态信息包含有多条状态参数，遍历模块301针对每条状态参数遍历物料调度规则，以获得所有状态参数所对应的操作指令。而且，在前一条状态参数遍历物料调度规则完毕，并获得对应的操作指令之后，遍历模块301并不立即向执行单元发送物料调度规则所对应的操作指令，而是将其存储在存储单元中。然后，利用第一判断模块302判断遍历模块301是否遍历全部的物料调度规则，待获得了所有状态参数所对应的操作指令之后，再同时向执行单元400所有操作指令。另外，由于所有操作指令的执行完毕时间存在两种情况，即，第一种情况是所有操作指令同时执行完毕；第二种情况是所有操作指令中有先执行完毕的操作指令。因此，更新单元500进一步包括更新模 块502和第二判断模块501，其中，第二判断模块501用于根据来自执行单元400的信号判断所有操作指令是否同时执行完毕，若是，则向更新模块502发送第一信号；若否，则向更新模块502发送第二信号。更新模块502用于在接收到来自第二判断模块501的第一信号时，将设备的实时状态信息更新为所有操作指令执行完毕之后的设备状态，并向判断单元200发送有关重新判断的信号。更新模块502在接收到来自第二判断模块501的第二信号时，将设备的实时状态信息更新为先执行完毕的操作指令所对应的设备状态，以及正在执行的操作指令所对应的设备状态，并向判断单元200发送有关重新判断的信号。由上可知，利用第二判断模块501对上述两种不同的情况进行判断，并利用更新模块502针对这两种情况对设备的状态进行更新。可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。当前第1页1 2 3