用于高温应用的耐等离子体腐蚀的薄膜涂层的制作方法

技术总结
诸如基座之类的制品包括热传导材料的主体，所述主体由所述主体表面上方的第一保护层与第二保护层涂覆。第一保护层是热传导陶瓷。第二保护层覆盖第一保护层，并且是可在650℃温度下抵抗破裂的耐等离子体的陶瓷薄膜。

技术研发人员：V·菲鲁兹多尔;B·P·卡农戈;J·Y·孙;M·J·萨里纳斯;J·A·李
受保护的技术使用者：应用材料公司
文档号码：201580017814
技术研发日：2015.04.23
技术公布日：2016.11.16