技术总结
本文呈现基于附近计量目标的光学测量而估计实际装置结构的所关注参数的值的方法及系统。采用高处理量线内计量技术来测量位于实际装置结构附近的计量目标。将从所述计量目标收集的测量数据提供到经训练信号响应计量SRM模型。所述经训练SRM模型基于所述计量目标的所述测量而估计所述实际装置结构的一或多个所关注参数的所述值。所述SRM模型经训练以在由参考计量系统测量的实际装置参数与至少一个附近计量目标的对应光学测量之间建立函数关系。在另一方面中，采用所述经训练SRM来确定使测量装置参数值在规格内的工艺参数的校正。
技术研发人员：A·V·舒杰葛洛夫;T·G·奇乌拉;S·I·潘戴夫;L·波斯拉夫斯基
受保护的技术使用者：科磊股份有限公司
文档号码：201580036717
技术研发日：2015.07.06
技术公布日：2017.05.10