用于射频应用的结构的制作方法

文档序号:19164962发布日期:2019-11-19 20:17阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种用于射频应用的结构(1、1'、11),包括:

-高电阻率硅的支撑衬底(2),其包括下部和上部(3),对上部进行p型掺杂至深度d;

-硅的介孔俘获层(4),其形成在支撑衬底(2)的经掺杂的上部(3)中;

该结构(1、1'、11)的特征在于,深度d小于1微米,且俘获层(4)的孔隙率在20%与60%之间,用于俘获在支撑衬底(2)中产生的反型载流子。

2.根据权利要求1所述的用于射频应用的结构(1、1'、11),其中,介孔俘获层(4)的孔的直径在2nm与50nm之间。

3.根据在前权利要求中的任一项所述的用于射频应用的结构(1、1'、11),其中,支撑衬底(2)的下部的电阻率大于1000ohm.cm。

4.根据权利要求1所述的用于射频应用的结构(1、1'、11),其中,有源层(5)布置在俘获层(4)上。

5.根据前一项权利要求所述的用于射频应用的结构(1、1'、11),其中,有源层(5)由半导电材料形成。

6.根据权利要求4所述的用于射频应用的结构(1、1'、11),其中,有源层(5)由压电材料形成。

7.根据权利要求4所述的用于射频应用的结构(1、1'、11),其中,有源层(5)包括下列材料中的至少一种:硅、碳化硅、硅锗、铌酸锂、钽酸锂、石英和氮化铝。

8.根据权利要求4所述的用于射频应用的结构(1、1'、11),其中,有源层(5)的厚度在10nm与50μm之间。

9.根据权利要求4所述的用于射频应用的结构(1、1'、11),其中,在俘获层(4)与有源层(5)之间布置介电层(6)。

10.根据前一项权利要求所述的用于射频应用的结构(1、1'、11),其中,介电层(6)包括下列材料中的至少一种:二氧化硅、氮化硅和氧化铝。

11.根据权利要求9所述的用于射频应用的结构(1、1'、11),其中,介电层(6)在10nm与6μm之间。

12.根据权利要求4所述的用于射频应用的结构(1、1'、11),其中,在有源层(5)之上或之中存在至少一个微电子器件(7),该微电子器件(7)为开关电路或天线调谐电路或射频功率放大电路。

13.根据权利要求4所述的用于射频应用的结构(1、1'、11),其中,在有源层(5)之上或之中存在至少一个微电子器件(7),该微电子器件(7)包括多个有源部件以及多个无源部件。

14.根据权利要求4所述的用于射频应用的结构(1、1'、11),其中,在有源层(5)之上或之中存在至少一个微电子器件(7),该微电子器件(7)包括至少一个控制元件和一个mems开关元件,该mems开关元件由具有欧姆接触的微开关或电容性微开关构成。

15.根据权利要求4所述的用于射频应用的结构(1、1'、11),其中,在有源层(5)之上或之中存在至少一个微电子器件(7),该微电子器件(7)为通过体声波传播或表面声波传播而工作的射频滤波器。

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