技术总结
本发明提供一种阵列基板的制作方法及制得的阵列基板,通过在第一钝化层上形成包覆第一通孔的导电连接层,从而在后续的平坦层的退火过程中,由于平坦层与第一通孔处的源/漏极之间设有导电连接层,不能够相接触,因此不会发生反应,有利于提高阵列基板的电学性能,实现信号导通;同时该方法工艺简单,生产良率极高。本发明制得的阵列基板,信号传导畅通,具有良好的电学性能。
技术研发人员:甘启明;王勐;
受保护的技术使用者:深圳市华星光电技术有限公司;
文档号码:201610114955
技术研发日:2016.03.01
技术公布日:2016.07.06