热电薄膜结构的制作方法与工艺

文档序号:13109282阅读:来源:国知局
技术总结
本发明公开一种热电薄膜结构,其包括热电基材与一对第一类钻碳层。第一类钻碳层配置在热电基材的相对两表面上且具有导电性。

技术研发人员:吕明生;陈泰盛;施智超;
受保护的技术使用者:财团法人工业技术研究院;
文档号码:201610355546
技术研发日:2012.12.26
技术公布日:2016.09.28

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