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热电薄膜结构的制作方法与工艺
文档序号:13109282
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来源:国知局
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热电薄膜结构的制作方法与工艺
技术总结
本发明公开一种热电薄膜结构,其包括热电基材与一对第一类钻碳层。第一类钻碳层配置在热电基材的相对两表面上且具有导电性。
技术研发人员:
吕明生;陈泰盛;施智超;
受保护的技术使用者:
财团法人工业技术研究院;
文档号码:
201610355546
技术研发日:
2012.12.26
技术公布日:
2016.09.28
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